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微波多芯片模块技术 被引量:1
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作者 孙再吉 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第9期42-48,共7页
论述了微波多芯片模块(M M C M)技术的发展历史、应用领域及工艺进展。着重从芯片互连、基板材料及封装设计等方面讨论了该技术的发展前景,并对我国微电子和 MMCM封装技术提出几点建议。
关键词 微波多芯片模块 微波高密度互连 倒装芯片 集成电路
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