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多腔耦合微波表面波PECVD法沉积DLC薄膜研究
被引量：
3
1
作者
赵曼曼
桑利军
+3 位作者
周美丽
杨丽珍
刘忠伟
陈强
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第3期368-372,共5页
报道了利用多腔耦合微波表面波等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法制备类金刚石(DLC)薄膜。通过发射光谱(OES)测量,对Ar等离子体中的各种放电参数以及全部四个腔室内放电的均匀性作出评估。采用表面轮廓仪测量了薄膜的厚度;薄膜的...
报道了利用多腔耦合微波表面波等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法制备类金刚石(DLC)薄膜。通过发射光谱(OES)测量,对Ar等离子体中的各种放电参数以及全部四个腔室内放电的均匀性作出评估。采用表面轮廓仪测量了薄膜的厚度;薄膜的表面形貌、组成结构通过原子力显微镜(AFM)、激光拉曼光谱和X射线衍射光谱(XPS)进行了表征。在12.5μm厚度的有机薄膜聚酯(PET)表面沉积一定厚度DLC后,通过测量水蒸气透过率(WVTR)对DLC薄膜的阻隔性能进行了研究。结果表明,这种多腔耦合微波表面波等离子体装置,不仅能够实现四个腔室同时相对均匀的放电,也能够实现单个腔室的轴向均匀放电。制备的DLC薄膜结构致密、成分均匀,可以使PET薄膜阻隔性能提高约20倍。
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关键词
微波表面波
发射光谱
类金刚石
薄膜
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职称材料
脉冲微波表面波PECVD在有机PET表面沉积DLC薄膜的阻隔性研究
被引量：
7
2
作者
周美丽
岳蕾
陈强
《包装工程》
CAS
北大核心
2019年第17期72-80,共9页
目的探讨使用脉冲微波表面波等离子体辅助化学气相沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)材料表面沉积类金刚石薄膜作为阻隔层的可行性。方法以C2H2为单体,氩(Ar)为放电气体,采用脉冲微波表面波等离子体化学气相沉积(PECVD)技术在有机PE...
目的探讨使用脉冲微波表面波等离子体辅助化学气相沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)材料表面沉积类金刚石薄膜作为阻隔层的可行性。方法以C2H2为单体,氩(Ar)为放电气体,采用脉冲微波表面波等离子体化学气相沉积(PECVD)技术在有机PET材料表面沉积类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)薄膜。研究工艺参数,如脉冲微波放电功率、工作气压、单体与工作气体的体积比等,对DLC薄膜沉积速率和阻隔性能的影响。通过傅里叶变换红外光谱(FT-IR)、原子力显微镜(AFM)、氧气和水蒸气透过率测试仪等对薄膜结构与性能进行表征。结果DLC薄膜的结构和成分随着等离子体放电工艺参数的变化而改变,造成其阻隔性能也随之发生变化。PET表面沉积纳米级DLC薄膜后,氧气透过率和水蒸气透过率可以分别降至0.58 mL/(m^2·d)和2.5 g/(m^2·d)。结论DLC薄膜对氧气和水蒸气都表现出良好的阻隔性,可以应用于食品、药品的阻隔包装。
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关键词
微波表面波
等离子体辅助化学气相沉积
类金刚石薄膜
高阻隔聚酯
乙炔
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职称材料
题名
多腔耦合微波表面波PECVD法沉积DLC薄膜研究
被引量：
3
1
作者
赵曼曼
桑利军
周美丽
杨丽珍
刘忠伟
陈强
机构
北京印刷学院等离子体物理及材料研究室
山东工艺美术学院包装工程系
出处
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第3期368-372,共5页
基金
国家自然科学基金(11775028
11505013)
+2 种基金
北京市教委项目(4162024
KM201510015009)
北京市协同创新(20160113)
文摘
报道了利用多腔耦合微波表面波等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法制备类金刚石(DLC)薄膜。通过发射光谱(OES)测量,对Ar等离子体中的各种放电参数以及全部四个腔室内放电的均匀性作出评估。采用表面轮廓仪测量了薄膜的厚度;薄膜的表面形貌、组成结构通过原子力显微镜(AFM)、激光拉曼光谱和X射线衍射光谱(XPS)进行了表征。在12.5μm厚度的有机薄膜聚酯(PET)表面沉积一定厚度DLC后,通过测量水蒸气透过率(WVTR)对DLC薄膜的阻隔性能进行了研究。结果表明,这种多腔耦合微波表面波等离子体装置,不仅能够实现四个腔室同时相对均匀的放电,也能够实现单个腔室的轴向均匀放电。制备的DLC薄膜结构致密、成分均匀,可以使PET薄膜阻隔性能提高约20倍。
关键词
微波表面波
发射光谱
类金刚石
薄膜
Keywords
Microwave surface-wave
Optical emission spectrum
DLC
Coating
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
脉冲微波表面波PECVD在有机PET表面沉积DLC薄膜的阻隔性研究
被引量：
7
2
作者
周美丽
岳蕾
陈强
机构
山东工艺美术学院
山东传媒职业学院
北京印刷学院
出处
《包装工程》
CAS
北大核心
2019年第17期72-80,共9页
基金
国家自然科学基金(11775028,11875090)
北京市自然科学基金重点项目(KM201510015009)
北京市协同创新项目(CGPT15208)
文摘
目的探讨使用脉冲微波表面波等离子体辅助化学气相沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)材料表面沉积类金刚石薄膜作为阻隔层的可行性。方法以C2H2为单体,氩(Ar)为放电气体,采用脉冲微波表面波等离子体化学气相沉积(PECVD)技术在有机PET材料表面沉积类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)薄膜。研究工艺参数,如脉冲微波放电功率、工作气压、单体与工作气体的体积比等,对DLC薄膜沉积速率和阻隔性能的影响。通过傅里叶变换红外光谱(FT-IR)、原子力显微镜(AFM)、氧气和水蒸气透过率测试仪等对薄膜结构与性能进行表征。结果DLC薄膜的结构和成分随着等离子体放电工艺参数的变化而改变,造成其阻隔性能也随之发生变化。PET表面沉积纳米级DLC薄膜后,氧气透过率和水蒸气透过率可以分别降至0.58 mL/(m^2·d)和2.5 g/(m^2·d)。结论DLC薄膜对氧气和水蒸气都表现出良好的阻隔性,可以应用于食品、药品的阻隔包装。
关键词
微波表面波
等离子体辅助化学气相沉积
类金刚石薄膜
高阻隔聚酯
乙炔
Keywords
microwave surface wave
PECVD
diamond-like carbon film
high-barrier pet
acetylene
分类号
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多腔耦合微波表面波PECVD法沉积DLC薄膜研究
赵曼曼
桑利军
周美丽
杨丽珍
刘忠伟
陈强
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2018
3
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职称材料
2
脉冲微波表面波PECVD在有机PET表面沉积DLC薄膜的阻隔性研究
周美丽
岳蕾
陈强
《包装工程》
CAS
北大核心
2019
7
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