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开放式微波等离子体源的研究进展被引量：9: 1; 作者王仲张贵新王强《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期793-800,共8页; 微波等离子体由于无电极污染、能在大气压下产生及电子密度大等一系列优点而具有较好的工业应用前景。因此大气压下开放式微波等离子体源的研究已经成为实现相关工业应用价值的关键。从最初的能够激发低气压空气微波等离子体的APMPS-I... 展开更多; 关键词大气压开放式空气微波等离子体源 APMPS-I型 APMPS+JET型 APMPS-II型平行直线矩形波导; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于微带环缝谐振器的小功率微波等离子体源被引量：2: 2; 作者廖斌张少君 +1 位作者赵娜朱守正《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期372-376,共5页; 介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45 GHz小功率微波等离子体源,根据微带环缝谐振器的奇模等效电路,通过S参数与微波等离子体阻抗之间的关系,研究小功率微波等离子体源的阻抗匹配及其在不同气体条件下的放电规律.研究表明,在低气压(空气... 展开更多; 关键词微带环缝谐振器小功率微波等离子体源阻抗匹配气体放电 S参数; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模与仿真被引量：4: 3; 作者廖斌张少君朱守正《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第10期2512-2516,共5页; 该文介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模方法。根据半波长终端开路谐振器的特性,通过选择合适的缝隙宽度和偏转角度、介质基片的介电常数等,使微带环缝谐振器的品质因数最大,同时与馈电端良好匹配。研究... 展开更多; 关键词微波等离子体源微带环缝谐振器品质因数; 在线阅读下载PDF 职称材料

小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的研究被引量：2: 4; 作者廖斌周蓓 +1 位作者曹焕丽朱守正《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1860-1864,共5页; 本文提出一种基于平面螺旋微带的2.45GHz小功率电感耦合微波等离子体源,根据等效变压器耦合模型分析等离子体源的谐振特性,通过微波等离子体吸收功率与等离子体阻抗之间的关系,研究不同气压条件下的放电规律.研究表明,在低气压条件下,... 展开更多; 关键词平面螺旋微带小功率电感耦合微波等离子体源谐振特性气体放电 S参数; 在线阅读下载PDF 职称材料

平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模分析被引量：1: 5; 作者廖斌曹焕丽朱守正《电波科学学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第3期400-404,共5页; 介绍了一种小型化的2.45GHz小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模方法。根据等效电路,推导出平面螺旋电感线圈的品质因数,并进行数值分析。研究表明:无载品质因数随结构、尺寸和频率等的变化而变化,并在谐振频率附近达到最大值... 展开更多; 关键词平面螺旋电感耦合微波等离子体源品质因数数值分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

大面积均匀微波等离子体源的电磁场计算及优化设计: 6; 作者吴丛凤温晓辉詹如娟《微波学报》 CSCD 北大核心 1998年第2期147-152,共6页; 本文对大面积均匀微波等离子体源的放电室中的电磁场进行了理论分析，导出放电室的直径、高度与微波窗口厚度三者之间的关系，给出一些典型参数时的电场强度分布图，提出了胶体高度可调的必要性，为该种形式源的优化设计提供了理论依据。; 关键词微波等离子体源电磁场计算优化设计; 在线阅读下载PDF 职称材料

小功率微波微等离子体源的集成研究被引量：1: 7; 作者廖斌王柯乔 +1 位作者黄加华朱守正《微波学报》 CSCD 北大核心 2014年第3期15-18,共4页; 提出了一种小功率集成微波微等离子体源的结构,通过平面微带渐变螺旋电感耦合线圈激励微波微等离子体。研究表明,该集成微波微等离子体源具有频率可调、功率可调的特点,频率范围为2.3~2.6GHz,输出功率范围为20~40dBm。在频率为2477MHz... 展开更多; 关键词小功率微波微等离子体源平面微带渐变螺旋电感耦合线圈集成频率可调功率可调; 在线阅读下载PDF 职称材料

微波ECR等离子体源离子注入法制备DLC薄膜被引量：4: 8; 作者王金刚马国佳 +2 位作者邓新绿李新唐祯安《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第6期429-431,共3页; 用微波ECR等离子体源离子注入 (PSII)法 ,在硅片 ( 10 0 )上制备了类金刚石 (DLC)薄膜 ,工作气体采用CH4气体 ,研究了不同的气体流量对薄膜的影响。对制备的DLC薄膜 ,用拉曼光谱、FT IR光谱、AFM以及纳米压痕等手段对化学成分、化学键... 展开更多; 关键词类金刚石薄膜电子回旋共振微波ECR等离子体源离子注入法 DLC薄膜拉曼光谱纳米压痕; 在线阅读下载PDF 职称材料

ICP源平面微带螺旋天线参数对性能的影响被引量：3: 9; 作者周蓓廖斌朱守正《应用科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期359-364,共6页; 分析了平面电感耦合微波等离子体源(ICP)的基本理论,根据其等效电路设计了一个谐振频率在2.45 GHz的平面微带螺旋天线,通过建模进行仿真优化,并提出减小损耗的方法.研究发现,螺旋线圈的尺寸是影响谐振频率和Q值的关键因素.这为小功率电... 展开更多; 关键词电感耦合微波等离子体源(ICP) 平面微带螺旋天线数值仿真; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名开放式微波等离子体源的研究进展被引量：9: 1; 作者王仲张贵新王强; 机构清华大学电机工程与应用电子技术系; 出处《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期793-800,共8页; 基金国家自然科学基金(50477005)~~; 文摘微波等离子体由于无电极污染、能在大气压下产生及电子密度大等一系列优点而具有较好的工业应用前景。因此大气压下开放式微波等离子体源的研究已经成为实现相关工业应用价值的关键。从最初的能够激发低气压空气微波等离子体的APMPS-I型微波等离子体源的研究开始,逐步通过增加某些辅助设备或改进微波反应腔的尺寸和结构,历经APMPS+JET型、APMPS-II型最终到平行直线矩形波导微波等离子体反应腔,实现了大气压开放式微波等离子体的激发。同时,对各种微波等离子体源的原理和相关特性进行了全面阐述,在此基础上对激发出的空气微波等离子体的形态进行了分析,说明了在一定的微波功率范围内较为稳定均匀的大气压开放式空气微波等离子体的实现是具有可行性的。; 关键词大气压开放式空气微波等离子体源 APMPS-I型 APMPS+JET型 APMPS-II型平行直线矩形波导; Keywords atmosphere pressure open type air microwave plasma APMPS-I type APMPS＋JET type APMPS-II type parallel rectilinear rectangle waveguide; 分类号 O539 [理学—等离子体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于微带环缝谐振器的小功率微波等离子体源被引量：2: 2; 作者廖斌张少君赵娜朱守正; 机构华东师范大学电子工程系; 出处《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期372-376,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(60471015); 文摘介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45 GHz小功率微波等离子体源,根据微带环缝谐振器的奇模等效电路,通过S参数与微波等离子体阻抗之间的关系,研究小功率微波等离子体源的阻抗匹配及其在不同气体条件下的放电规律.研究表明,在低气压(空气)和常压(氩气)条件下,输入功率不超过1 W,都能使气体放电并激励起稳定的微波等离子体;当微波等离子体激励以后,小功率微波等离子体源的谐振频率和S参数发生变化.这些为小功率电容耦合微波等离子体源的小型化研究提供了理论基础.; 关键词微带环缝谐振器小功率微波等离子体源阻抗匹配气体放电 S参数; Keywords microstrip split-ring resonator low power microwave plasma source impedance matching gasdischarge S parameter; 分类号 TN99 [电子电信—信号与信息处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模与仿真被引量：4: 3; 作者廖斌张少君朱守正; 机构华东师范大学信息学院电子系; 出处《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第10期2512-2516,共5页; 基金国家自然科学基金(60471015)资助课题; 文摘该文介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模方法。根据半波长终端开路谐振器的特性,通过选择合适的缝隙宽度和偏转角度、介质基片的介电常数等,使微带环缝谐振器的品质因数最大,同时与馈电端良好匹配。研究表明,实验结果与仿真结果基本吻合,这为小功率微型微波等离子体源的进一步研究提供了理论基础。; 关键词微波等离子体源微带环缝谐振器品质因数; Keywords Microwave plasma source Microstrip split-ring resonator Quality factor; 分类号 TN015 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的研究被引量：2: 4; 作者廖斌周蓓曹焕丽朱守正; 机构华东师范大学信息学院电子系; 出处《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1860-1864,共5页; 基金国家自然科学基金(No.60471015); 文摘本文提出一种基于平面螺旋微带的2.45GHz小功率电感耦合微波等离子体源,根据等效变压器耦合模型分析等离子体源的谐振特性,通过微波等离子体吸收功率与等离子体阻抗之间的关系,研究不同气压条件下的放电规律.研究表明,在低气压条件下,输入功率不超过220mW时,空气开始放电;而在常压条件下,输入功率不超过1.5W时,氩气开始放电;随着微波等离子体的激励,小功率微波等离子体源的谐振频率和S参数都发生变化.这为电感耦合微波等离子体源的小型化研究提供了理论基础.; 关键词平面螺旋微带小功率电感耦合微波等离子体源谐振特性气体放电 S参数; Keywords planar spiral microstrip low power inductively-coupled microwave plasma source resonance gas discharge S parameter; 分类号 TN99 [电子电信—信号与信息处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模分析被引量：1: 5; 作者廖斌曹焕丽朱守正; 机构华东师范大学信息学院电子系; 出处《电波科学学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第3期400-404,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(批准号:60471015); 文摘介绍了一种小型化的2.45GHz小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模方法。根据等效电路,推导出平面螺旋电感线圈的品质因数,并进行数值分析。研究表明:无载品质因数随结构、尺寸和频率等的变化而变化,并在谐振频率附近达到最大值。这为小功率电感耦合微波等离子体源的优化设计提供了理论依据。; 关键词平面螺旋电感耦合微波等离子体源品质因数数值分析; Keywords planar spiral inductively-coupled, microwave plasma source, quality factor, numerical analysis; 分类号 TN99 [电子电信—信号与信息处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名大面积均匀微波等离子体源的电磁场计算及优化设计: 6; 作者吴丛凤温晓辉詹如娟; 机构中国科学技术大学四系中科院等离子体物理研究所; 出处《微波学报》 CSCD 北大核心 1998年第2期147-152,共6页; 文摘本文对大面积均匀微波等离子体源的放电室中的电磁场进行了理论分析，导出放电室的直径、高度与微波窗口厚度三者之间的关系，给出一些典型参数时的电场强度分布图，提出了胶体高度可调的必要性，为该种形式源的优化设计提供了理论依据。; 关键词微波等离子体源电磁场计算优化设计; Keywords Large area uniform, Microwave plasma source, Magnetic coupling, Electromagnetic field; 分类号 TM15 [电气工程—电工理论与新技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名小功率微波微等离子体源的集成研究被引量：1: 7; 作者廖斌王柯乔黄加华朱守正; 机构华东师范大学信息学院; 出处《微波学报》 CSCD 北大核心 2014年第3期15-18,共4页; 基金国家自然科学基金(61072007); 文摘提出了一种小功率集成微波微等离子体源的结构,通过平面微带渐变螺旋电感耦合线圈激励微波微等离子体。研究表明,该集成微波微等离子体源具有频率可调、功率可调的特点,频率范围为2.3~2.6GHz,输出功率范围为20~40dBm。在频率为2477MHz、空气真空度为3.7 Torr,输入功率为2.15W时,平面微带渐变螺旋电感耦合线圈能较好激励起微波微等离子体,这为微波微等离子体源的小型化研究提供了基础。; 关键词小功率微波微等离子体源平面微带渐变螺旋电感耦合线圈集成频率可调功率可调; Keywords low-power microwave microplasma source, microstrip inductively-coupled gradient spiral antenna, inte-gration, adjustable frequency, adjustable power; 分类号 TN454 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微波ECR等离子体源离子注入法制备DLC薄膜被引量：4: 8; 作者王金刚马国佳邓新绿李新唐祯安; 机构大连理工大学; 出处《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第6期429-431,共3页; 基金国家自然科学基金重点项目 5 0 13 5 0 40; 文摘用微波ECR等离子体源离子注入 (PSII)法 ,在硅片 ( 10 0 )上制备了类金刚石 (DLC)薄膜 ,工作气体采用CH4气体 ,研究了不同的气体流量对薄膜的影响。对制备的DLC薄膜 ,用拉曼光谱、FT IR光谱、AFM以及纳米压痕等手段对化学成分、化学键结构。; 关键词类金刚石薄膜电子回旋共振微波ECR等离子体源离子注入法 DLC薄膜拉曼光谱纳米压痕; Keywords Diamond like carbon(DLC),ECR,Plasma source ion implantation(PSII), sp3; 分类号 O484.1 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名ICP源平面微带螺旋天线参数对性能的影响被引量：3: 9; 作者周蓓廖斌朱守正; 机构华东师范大学信息学院电子系; 出处《应用科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期359-364,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(60471015); 文摘分析了平面电感耦合微波等离子体源(ICP)的基本理论,根据其等效电路设计了一个谐振频率在2.45 GHz的平面微带螺旋天线,通过建模进行仿真优化,并提出减小损耗的方法.研究发现,螺旋线圈的尺寸是影响谐振频率和Q值的关键因素.这为小功率电感耦合微波等离子体源的进一步研究提供了理论基础.; 关键词电感耦合微波等离子体源(ICP) 平面微带螺旋天线数值仿真; Keywords inductively-coupled microwave plasma source （ICP） planar microstrip spiral antenna numerical simulation; 分类号 TN99 [电子电信—信号与信息处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	开放式微波等离子体源的研究进展	王仲张贵新王强	《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心	2011	9	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于微带环缝谐振器的小功率微波等离子体源	廖斌张少君赵娜朱守正	《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模与仿真	廖斌张少君朱守正	《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心	2007	4	在线阅读下载PDF 职称材料
4	小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的研究	廖斌周蓓曹焕丽朱守正	《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模分析	廖斌曹焕丽朱守正	《电波科学学报》 EI CSCD 北大核心	2007	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	大面积均匀微波等离子体源的电磁场计算及优化设计	吴丛凤温晓辉詹如娟	《微波学报》 CSCD 北大核心	1998	0	在线阅读下载PDF 职称材料
7	小功率微波微等离子体源的集成研究	廖斌王柯乔黄加华朱守正	《微波学报》 CSCD 北大核心	2014	1	在线阅读下载PDF 职称材料
8	微波ECR等离子体源离子注入法制备DLC薄膜	王金刚马国佳邓新绿李新唐祯安	《真空科学与技术》 CSCD 北大核心	2003	4	在线阅读下载PDF 职称材料
9	ICP源平面微带螺旋天线参数对性能的影响	周蓓廖斌朱守正	《应用科学学报》 CAS CSCD 北大核心	2007	3	在线阅读下载PDF 职称材料