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题名四氟化硅气体中杂质的检测方法
被引量：4
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作者
唐安江
韦德举
高珊珊
关星宇
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机构
贵州大学
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出处
《无机盐工业》
CAS
北大核心
2010年第12期57-59,共3页
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文摘
介绍了四氟化硅气体中几类杂质的检测方法,主要包括气相色谱法、傅里叶变换红外光谱法、质谱法和微波波谱法。用气相色谱仪可以检测出四氟化硅中气体中C1-C4碳氢化合物;用高分辨率傅里叶变换红外光谱仪可以检测出SiF3OH,HF,SiF3H,SiF2H2,SiH3F,CO2,CO等气体杂质;用微波波谱仪可以检测出四氟化硅中CHF3,CH2F2,CH3F等气体杂质;用质谱仪可以检测出四氟化硅中SiF3H,SiF2H2,SiF3OSiF3等气体杂质。通过对比得出每种检测方法的优点和缺点。
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关键词
四氟化硅
气相色谱仪
傅里叶红外光谱仪
质谱仪
微波波谱仪
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Keywords
silicon tetrafluoride
gas chromatograph
Fourier transform infrared spectrometer
mass spectrometer
microwave spectrometer
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分类号
TQ219
[化学工程—有机化工]
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