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微波显微镜检测金属/非金属裂缝的研究 被引量:1
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作者 王雪儿 叶鸣 +3 位作者 刘菲 白永江 杨放 谢拥军 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2024年第8期227-236,共10页
裂缝检测对钢结构和混凝土建筑、核电、航空等领域具有重要实际意义。本文采用谐振式同轴探头构造微波显微镜开展了金属和非金属裂缝的无损检测方法研究。首先,通过电磁仿真研究了耦合间隙、提离高度和探头材质等关键参数对检测性能的... 裂缝检测对钢结构和混凝土建筑、核电、航空等领域具有重要实际意义。本文采用谐振式同轴探头构造微波显微镜开展了金属和非金属裂缝的无损检测方法研究。首先,通过电磁仿真研究了耦合间隙、提离高度和探头材质等关键参数对检测性能的影响。然后,以机加工黄铜、铝合金样品和3D打印非金属样品进行了实验验证。结果表明:同轴探头在谐振频率处的S11幅度可用于材料表面裂缝的无损检测,耦合间隙、提离高度是影响检测灵敏度的主要设计参数;相比于传统的反射型同轴探头,谐振式探头检测灵敏度(有无裂缝时观测频点处的S11幅度差)提高了约20~30倍;针对金属样品的宽3.9 mm裂缝的仿真与实测结果吻合良好,裂缝宽度检测的相对误差<7.7%,且对于裂缝宽度为1.7 mm的3D打印非金属裂缝样品,其裂缝宽度实测相对误差在6%内。本研究对金属和非金属裂缝的无损检测具有一定借鉴意义。 展开更多
关键词 微波显微镜 金属裂缝 非金属裂缝 无损检测 谐振式同轴探头 自动化检测
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针尖-样品距离对扫描微波显微成像的影响分析
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作者 薛一凡 王采慧 +1 位作者 裴涛 温焕飞 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期303-308,共6页
随着芯片制备工艺的不断完善,半导体集成电路朝着小型化、集成化的方向不断发展,给近场微波成像技术带来了新的挑战。本文建立了探针-样品三维电磁耦合模型,并利用有限元数值分析法研究了探针针尖与样品之间的电磁相互作用。在不同探针... 随着芯片制备工艺的不断完善,半导体集成电路朝着小型化、集成化的方向不断发展,给近场微波成像技术带来了新的挑战。本文建立了探针-样品三维电磁耦合模型,并利用有限元数值分析法研究了探针针尖与样品之间的电磁相互作用。在不同探针-样品间距下,对硅基芯片表面结构进行扫描微波成像。成像结果与仿真结果相一致,随着针尖-样品间距的增加,扫描微波测试系统的灵敏度和分辨率降低。对于由原子力显微术结合微波测量技术发展而来的扫描微波显微镜的改进与产业化具有重大意义。 展开更多
关键词 扫描微波显微镜 有限元法 电磁建模 针尖-样品间距
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微波近场扫描显微镜无损介质层透视探测成像 被引量:1
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作者 马慧瑾 白明 +1 位作者 邵一鹏 苗俊刚 《现代电子技术》 2012年第10期68-72,共5页
在分析新型微波近场扫描显微镜同轴谐振腔工作模式的基础上,采用了S参量测量谐振腔多谐振频点S21幅值和相位的工作方式。为满足探测非透明物体内部隐藏结构的需求,利用谐振腔微扰理论和隐失场探测原理,实验测得介质层下金属隐藏结构的... 在分析新型微波近场扫描显微镜同轴谐振腔工作模式的基础上,采用了S参量测量谐振腔多谐振频点S21幅值和相位的工作方式。为满足探测非透明物体内部隐藏结构的需求,利用谐振腔微扰理论和隐失场探测原理,实验测得介质层下金属隐藏结构的扫描微波图像,实现约0.01λ超分辨率的清晰图像。讨论了采用微波近场扫描显微镜方法进行的非透明物体内部无损探测技术,为进一步应用于物体内部无损探测和检验提供了重要的研究基础。 展开更多
关键词 无损透视探测 微波近场扫描显微镜 隐失场 电容加载同轴谐振腔 探针
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高密度无机功能材料芯片快速表征技术的发展 被引量:1
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作者 郭杏元 刘庆峰 刘茜 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期392-398,共7页
集成组合技术是近几年发展起来的一种快速发现和优比新型功能材料的方法,其发现和优化新型功能材料的效率比传统方法高出数百倍,甚至上千倍或更高,但是要充分发挥其在无机功能材料研究领域的优势,必须解决三个问题,(i)材料芯片的设计;... 集成组合技术是近几年发展起来的一种快速发现和优比新型功能材料的方法,其发现和优化新型功能材料的效率比传统方法高出数百倍,甚至上千倍或更高,但是要充分发挥其在无机功能材料研究领域的优势,必须解决三个问题,(i)材料芯片的设计;(ii)材料芯片的高速并行合成;(iii)材料芯片的快速表征.其中材料芯片的快速表征技术又是关键之关键,它制约着整个研究工作的开展,如果能高速设计、合成材料芯片却不能快速地来表征它,那么高速合成将失去其快速发现和优化新型功能材料的意义,因此,开发适用于高密度材料芯片性能和结构的快速表征技术有着非常重大的意义.本文综述了近几年无机功能材料芯片的几种快速表征技术:光致发光性能检测、电光/磁光性能检测、微波性能检测以及结构表证技术等,并简述了它们的工作原理及仪器设备情况. 展开更多
关键词 无机功能材料芯片 表征技术 集成组合技术 高通量筛选 光致发光 电光/磁光 微波近场显微镜
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Dechlorination of zinc dross by microwave roasting
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作者 魏亚乾 彭金辉 +4 位作者 张利波 巨少华 夏仡 郑勤 王亚健 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2014年第7期2627-2632,共6页
Traditional treatments of zinc dross have many disadvantages,such as complicated recovering process and serious environmental pollution.In this work,a new process of chlorine removal from zinc dross by microwave was p... Traditional treatments of zinc dross have many disadvantages,such as complicated recovering process and serious environmental pollution.In this work,a new process of chlorine removal from zinc dross by microwave was proposed for solving problem of recycling the zinc dross.With better ability of absorbing the microwave than zinc oxide,the main material in zinc dross,chlorides,can be heated and evaporated rapidly during microwave roasting.Various parameters including roasting temperature,duration time and stirring speed were optimized.The microstructure of roasted materials was characterized by X-ray diffraction(XRD) and scanning electron microscope(SEM).The content of the chloride was analyzed by the method of chlorine ion selective electrode.The experiments indicate that the best duration time is 60 min with a stirring speed of 15 r/min during the microwave roasting process.The dechlorination rate reaches peak value of 88% at 700 ℃.The chlorine is removed as HCl gas when water vapor is used as activating agent,which means that it can be recovered into hydrochloride acid. 展开更多
关键词 zinc dross microwave roasting DECHLORINATION resources recovery
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