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共面微波探针在片测试技术研究 被引量：9
1
作者 孙伟 田小建 +3 位作者 何炜瑜 张大明 李德辉 衣茂斌 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期222-224,共3页
本文描述了使用共面微波探针的半导体芯片在片测试技术 .设计研制出的多种微波探针性能参数稳定 ,使用寿命在十万次以上 ,用于在片检测各种GaAs共面集成电路芯片 .触头排列为GSG的微波探针 ,- 3dB带宽及反射损耗分别为 14GHz和小于 - 10... 本文描述了使用共面微波探针的半导体芯片在片测试技术 .设计研制出的多种微波探针性能参数稳定 ,使用寿命在十万次以上 ,用于在片检测各种GaAs共面集成电路芯片 .触头排列为GSG的微波探针 ,- 3dB带宽及反射损耗分别为 14GHz和小于 - 10dB . 展开更多
关键词 微波探针 在片测试 半导体集成电路
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提取共面微波探针S参数的方法 被引量：5
2
作者 吴爱华 楼红英 +2 位作者 刘晨 孙静 梁法国 《微波学报》 CSCD 北大核心 2016年第2期35-38,共4页
共面微波探针是裸芯片测量信号输入/输出的重要媒介,通过与晶圆片物理接触,建立起测量系统与芯片之间的信号连接通道。为了获得共面微波探针完整准确的S参数,设计并实现了＂两步法＂测量方案,首先在同轴端口进行校准,然后在探针尖端口... 共面微波探针是裸芯片测量信号输入/输出的重要媒介,通过与晶圆片物理接触,建立起测量系统与芯片之间的信号连接通道。为了获得共面微波探针完整准确的S参数,设计并实现了＂两步法＂测量方案,首先在同轴端口进行校准,然后在探针尖端口进行第二步校准。通过与出厂数据进行对比分析,证明了方案的可行性,同时指出在片校准件预校准的重要性。另外,讨论了氧化铝和砷化镓两种材料在片SOLT校准件对于探针S参数提取中的影响,实验显示二者相角偏差达到39.8°,回波损耗呈现规则性的变化,全部测量数据的频段覆盖1-40 GHz,最终给出了优化的测量方案。 展开更多
关键词 共面波导 微波探针 裸芯片 S参数
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悬臂梁式扫描微波探针设计 被引量：1
3
作者 薛一凡 王采慧 +1 位作者 裴涛 温焕飞 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第6期74-77,共4页
微波芯片的高度集成化对扫描微波成像技术提出了新的挑战,设计了一种结构简单、辐射效率高和耦合低特性的悬臂梁式扫描微波探针。通过建立探针三维有限元数值模型,在不同微波频率和不同探针结构下分别研究了探针针尖倏逝电场分布。有无... 微波芯片的高度集成化对扫描微波成像技术提出了新的挑战,设计了一种结构简单、辐射效率高和耦合低特性的悬臂梁式扫描微波探针。通过建立探针三维有限元数值模型,在不同微波频率和不同探针结构下分别研究了探针针尖倏逝电场分布。有无屏蔽结构的探针针尖与样品间的电场分布表明,屏蔽层有效降低了悬臂梁下方非针尖部分微波信号的辐射,悬臂梁—样品的寄生电容显著减小,且在多个工作频率段具有高空间分辨与高辐射效率的特性。设计的探针满足微波芯片对高频、高空间分辨扫描微波成像的需求。 展开更多
关键词 扫描微波探针 电磁建模 低耦合 高频
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微波共振探针及其在等离子体诊断中的应用 被引量：2
4
作者 马柳 时家明 +2 位作者 袁忠才 陈宗胜 黄勇 《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期270-273,共4页
介绍了能够测量稳定和时变等离子体电子密度的微波共振探针,给出了其工作原理和在测量稳定、时变和瞬态等离子体电子密度中的应用。分析了传输模式和反射模式的工作过程及对测量范围、测量精度和空间分辨率等影响因素。结果表明,选用较... 介绍了能够测量稳定和时变等离子体电子密度的微波共振探针,给出了其工作原理和在测量稳定、时变和瞬态等离子体电子密度中的应用。分析了传输模式和反射模式的工作过程及对测量范围、测量精度和空间分辨率等影响因素。结果表明,选用较长的探针有利于提高电子密度的测量范围和精度;选用的微波扫频源高端频率越高,频率分辨率越高,则电子密度的测量范围越大,测量精度越高。理论分析得出系统可测量的电子密度约为1.37×108～4.1×1011cm-3。 展开更多
关键词 等离子体诊断 微波共振探针 等离子体密度
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等离子体鞘层及粒子碰撞对微波共振探针诊断的影响 被引量：1
5
作者 黄勇 时家明 +1 位作者 袁忠才 徐记伟 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期86-89,共4页
针对气压大于133Pa的气体放电时等离子体鞘层及粒子碰撞对微波共振探针密度测量的影响变大的问题,对微波共振探针模型进行了改进,推导了鞘层修正因子和碰撞修正因子,探讨了微波共振探针尺寸对测量等离子体密度的影响。结果表明,针丝半... 针对气压大于133Pa的气体放电时等离子体鞘层及粒子碰撞对微波共振探针密度测量的影响变大的问题,对微波共振探针模型进行了改进,推导了鞘层修正因子和碰撞修正因子,探讨了微波共振探针尺寸对测量等离子体密度的影响。结果表明,针丝半径选择0.2mm,并且选用较大宽度的探针有利于减小测量误差。 展开更多
关键词 微波共振探针 等离子体密度 鞘层 碰撞频率 修正因子
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微波共振探针优化
6
作者 赵宝媛 朱芸桢 +2 位作者 黎良玉 刘雅丽 徐金洲 《东华大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期141-146,共6页
为提高微波共振探针测量气体放电等离子体参数的灵敏度,采用COMSOL软件仿真并比较近场场强与辐射的方法,优化了共振探针的几何结构以及探针与耦合线圈的最佳耦合位置。通过仿真模拟可知:具有臂长长和臂间距小的探针的品质因子相对较大;... 为提高微波共振探针测量气体放电等离子体参数的灵敏度,采用COMSOL软件仿真并比较近场场强与辐射的方法,优化了共振探针的几何结构以及探针与耦合线圈的最佳耦合位置。通过仿真模拟可知:具有臂长长和臂间距小的探针的品质因子相对较大;当耦合线圈与探针的摆放位置越近时,耦合效率高,但耦合线圈和探针的辐射也随之增强。提出屏蔽耦合线圈辐射的方法来获得更大的品质因子,仿真模拟和试验测量均表明上述方法具有可行性。 展开更多
关键词 微波共振探针 品质因子 近电场场强 辐射 辐射屏蔽
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GaAs衬底共面波导S参数标准样片研制 被引量：5
7
作者 殷玉喆 张旭勤 +1 位作者 高猛 张继平 《微波学报》 CSCD 北大核心 2017年第5期44-49,共6页
GaAs等固态微波裸芯片电性能测试需要采用探针将共面波导参考面过渡到同轴参考面。设计制作了用于微波探针校准的GaAs衬底的计量级标准样片,包括SOLT和TRL校准模块,以及匹配传输线、衰减及驻波等验证模块。提出了平衡电桥结构,兼具衰减... GaAs等固态微波裸芯片电性能测试需要采用探针将共面波导参考面过渡到同轴参考面。设计制作了用于微波探针校准的GaAs衬底的计量级标准样片,包括SOLT和TRL校准模块,以及匹配传输线、衰减及驻波等验证模块。提出了平衡电桥结构,兼具衰减驻波标准,带内平坦,且工艺适应性好。经过与国外校准片比对,验证了频率覆盖100 MHz^50 GHz,驻波比测量范围:1.1,1.5,2.5,5,10;衰减测量范围:-1 dB,-2 dB,-3 dB,-10 dB,-20dB,-30 dB,-40 dB;匹配负载反射损耗小于-30 dB。同时提取了SOLT校准模块的矢网校准用参数。 展开更多
关键词 微波探针 校准 砷化镓(GaAs) 共面波导 S参数
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GaAs高速集成电路内部动态特性直接电光采样检测
8
作者 孙伟 田小建 +4 位作者 贾刚 孙建国 衣茂斌 马振昌 王国全 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1994年第5期396-400,共5页
研制成功GaAs高速集成电路直接电光采样测试系统.采用共轴反射式光路,对样品进行背面直接采样.用研制的微波探针在片驱动GaAs高速数字集成电路管芯,使之处于正常工作状态.测试系统的时间分辨率高于20ps,空间分辨率为3μm.利用该系统在... 研制成功GaAs高速集成电路直接电光采样测试系统.采用共轴反射式光路,对样品进行背面直接采样.用研制的微波探针在片驱动GaAs高速数字集成电路管芯,使之处于正常工作状态.测试系统的时间分辨率高于20ps,空间分辨率为3μm.利用该系统在片检测了GaAs高速数字集成电路动态分频器内部的高速电信号. 展开更多
关键词 电光采样 微波探针 砷化镓 数字集成电路
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放电参量对电负性容性耦合等离子体电子密度的影响 被引量：5
9
作者 唐中华 洪布双 +1 位作者 徐东升 辛煜 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期84-90,共7页
利用微波共振探针对40.68 MHz单射频容性耦合SF6、Cl2、O2/Ar电负性等离子体电子密度进行了诊断测量。首先,将微波共振探针在Ar等离子体中的测量结果与朗缪尔探针结果进行对比,确定微波共振探针精确测量的实用范围;其次,运用微波共振探... 利用微波共振探针对40.68 MHz单射频容性耦合SF6、Cl2、O2/Ar电负性等离子体电子密度进行了诊断测量。首先,将微波共振探针在Ar等离子体中的测量结果与朗缪尔探针结果进行对比,确定微波共振探针精确测量的实用范围;其次,运用微波共振探针的测量方法详细研究了放电参量对电负性容性耦合等离子体电子密度的影响。结果发现,电负性气体如SF6、Cl2、O2掺入到Ar等离子体中,均大幅度降低了等离子体的电子密度,强电负性气体的掺入对电子密度的下降尤为明显,随着电负性气体的不断掺入,电子密度趋于稳定值。文中也解释了射频放电功率和放电气压对电子密度造成的影响。 展开更多
关键词 等离子体 电负性气体 微波共振探针 电子密度
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光调制与器件
10
《中国光学》 CAS 2004年第3期68-68,共1页
TN761 2004032114 LiNbO<sub>3</sub>电光调制器行波电极微波等效折射率的测量=Measruement of microwave equivalent refractive index oftraveling wave electrode in LiNbO<sub>3</sub> electro-optic modul... TN761 2004032114 LiNbO<sub>3</sub>电光调制器行波电极微波等效折射率的测量=Measruement of microwave equivalent refractive index oftraveling wave electrode in LiNbO<sub>3</sub> electro-optic modulator[刊,中]/廖焕霖（清华大学电子工程系.北京（100084））, 展开更多
关键词 微波等效折射率 电光调制器 行波电极 电子工程 清华大学 测量方法 器件 微波网络分析仪 北京 微波探针
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