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开口同轴探头测量微波集成电路基片的复介电常数
被引量：
5
1
作者
张 思
钮茂德
徐得名
《微波学报》
CSCD
北大核心
2002年第1期57-63,共7页
本文论述了开口同轴（无外加法兰）非破坏测量微波集成电路基片复介电常数的方法。文中阐明了开口同轴FDTD法的建模与测量原理。由于FDTD法建模是一种全波分析方法，出此该模型相当准确。在S和X波段测量了聚四氟乙烯材料和另一种介质基...
本文论述了开口同轴（无外加法兰）非破坏测量微波集成电路基片复介电常数的方法。文中阐明了开口同轴FDTD法的建模与测量原理。由于FDTD法建模是一种全波分析方法，出此该模型相当准确。在S和X波段测量了聚四氟乙烯材料和另一种介质基片的复介电常数，所得结果与它们的典型值非常吻合。开口同轴法测量具有非破坏性，适于现场测量，而且具有设备简单、操作方便、测量精度高等优点。
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关键词
开口同轴法
微波
集成电路基片
非破坏测量
复
介电常数
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职称材料
高功率MPCVD金刚石膜透波窗口材料制备研究
被引量：
11
2
作者
于盛旺
刘艳青
+3 位作者
唐伟忠
申艳艳
贺志勇
唐宾
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期896-899,共4页
使用自行研制的椭球谐振腔式MPCVD装置,以H2-CH4为气源,在沉积功率8 kW条件下,对大面积金刚石膜透波窗口材料进行了制备研究。分别使用扫描电镜、Raman、分光光谱仪、热导率测试仪和空腔谐振法对金刚石膜的表面形貌、品质、光透过率、...
使用自行研制的椭球谐振腔式MPCVD装置,以H2-CH4为气源,在沉积功率8 kW条件下,对大面积金刚石膜透波窗口材料进行了制备研究。分别使用扫描电镜、Raman、分光光谱仪、热导率测试仪和空腔谐振法对金刚石膜的表面形貌、品质、光透过率、热导率和微波复介电常数等进行了表征及测试。实验结果表明,使用自行研制的椭球谐振腔式MPCVD装置,能够满足较高功率下高品质金刚石膜的快速沉积;抛光后的自支撑金刚石膜具有高的光学透过率和热导率,在23～36 GHz频率范围内微波介电损耗小于1×10-4,有着良好的微波介电性能,是较为理想的透波窗口材料。
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关键词
金刚石膜
MPCVD
微波复介电常数
透波窗口材料
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职称材料
题名
开口同轴探头测量微波集成电路基片的复介电常数
被引量：
5
1
作者
张 思
钮茂德
徐得名
机构
上海大学通信与信息工程学院
出处
《微波学报》
CSCD
北大核心
2002年第1期57-63,共7页
文摘
本文论述了开口同轴（无外加法兰）非破坏测量微波集成电路基片复介电常数的方法。文中阐明了开口同轴FDTD法的建模与测量原理。由于FDTD法建模是一种全波分析方法，出此该模型相当准确。在S和X波段测量了聚四氟乙烯材料和另一种介质基片的复介电常数，所得结果与它们的典型值非常吻合。开口同轴法测量具有非破坏性，适于现场测量，而且具有设备简单、操作方便、测量精度高等优点。
关键词
开口同轴法
微波
集成电路基片
非破坏测量
复
介电常数
Keywords
Key words: Open-ended coaxial probe, Microwave integrated circuit substrate, Nondestructive measurement,Complex permittivity
分类号
TN454 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
高功率MPCVD金刚石膜透波窗口材料制备研究
被引量：
11
2
作者
于盛旺
刘艳青
唐伟忠
申艳艳
贺志勇
唐宾
机构
太原理工大学表面工程研究所
北京科技大学材料科学与工程学院
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期896-899,共4页
基金
国家自然科学基金(51071106)
文摘
使用自行研制的椭球谐振腔式MPCVD装置,以H2-CH4为气源,在沉积功率8 kW条件下,对大面积金刚石膜透波窗口材料进行了制备研究。分别使用扫描电镜、Raman、分光光谱仪、热导率测试仪和空腔谐振法对金刚石膜的表面形貌、品质、光透过率、热导率和微波复介电常数等进行了表征及测试。实验结果表明,使用自行研制的椭球谐振腔式MPCVD装置,能够满足较高功率下高品质金刚石膜的快速沉积;抛光后的自支撑金刚石膜具有高的光学透过率和热导率,在23～36 GHz频率范围内微波介电损耗小于1×10-4,有着良好的微波介电性能,是较为理想的透波窗口材料。
关键词
金刚石膜
MPCVD
微波复介电常数
透波窗口材料
Keywords
diamond film
MPCVD
complex permittivity
electromagnetic window material
分类号
O484 [理学—固体物理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
开口同轴探头测量微波集成电路基片的复介电常数
张 思
钮茂德
徐得名
《微波学报》
CSCD
北大核心
2002
5
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职称材料
2
高功率MPCVD金刚石膜透波窗口材料制备研究
于盛旺
刘艳青
唐伟忠
申艳艳
贺志勇
唐宾
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
11
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