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微波共振探针及其在等离子体诊断中的应用被引量：2: 1; 作者马柳时家明 +2 位作者袁忠才陈宗胜黄勇《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期270-273,共4页; 介绍了能够测量稳定和时变等离子体电子密度的微波共振探针,给出了其工作原理和在测量稳定、时变和瞬态等离子体电子密度中的应用。分析了传输模式和反射模式的工作过程及对测量范围、测量精度和空间分辨率等影响因素。结果表明,选用较... 展开更多; 关键词等离子体诊断微波共振探针等离子体密度; 在线阅读下载PDF 职称材料

等离子体鞘层及粒子碰撞对微波共振探针诊断的影响被引量：1: 2; 作者黄勇时家明 +1 位作者袁忠才徐记伟《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期86-89,共4页; 针对气压大于133Pa的气体放电时等离子体鞘层及粒子碰撞对微波共振探针密度测量的影响变大的问题,对微波共振探针模型进行了改进,推导了鞘层修正因子和碰撞修正因子,探讨了微波共振探针尺寸对测量等离子体密度的影响。结果表明,针丝半... 展开更多; 关键词微波共振探针等离子体密度鞘层碰撞频率修正因子; 在线阅读下载PDF 职称材料

微波共振探针优化: 3; 作者赵宝媛朱芸桢 +2 位作者黎良玉刘雅丽徐金洲《东华大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期141-146,共6页; 为提高微波共振探针测量气体放电等离子体参数的灵敏度,采用COMSOL软件仿真并比较近场场强与辐射的方法,优化了共振探针的几何结构以及探针与耦合线圈的最佳耦合位置。通过仿真模拟可知:具有臂长长和臂间距小的探针的品质因子相对较大;... 展开更多; 关键词微波共振探针品质因子近电场场强辐射辐射屏蔽; 在线阅读下载PDF 职称材料

放电参量对电负性容性耦合等离子体电子密度的影响被引量：5: 4; 作者唐中华洪布双 +1 位作者徐东升辛煜《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期84-90,共7页; 利用微波共振探针对40.68 MHz单射频容性耦合SF6、Cl2、O2/Ar电负性等离子体电子密度进行了诊断测量。首先,将微波共振探针在Ar等离子体中的测量结果与朗缪尔探针结果进行对比,确定微波共振探针精确测量的实用范围;其次,运用微波共振探... 展开更多; 关键词等离子体电负性气体微波共振探针电子密度; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微波共振探针及其在等离子体诊断中的应用被引量：2: 1; 作者马柳时家明袁忠才陈宗胜黄勇; 机构电子工程学院安徽省红外与低温等离子体重点实验室; 出处《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期270-273,共4页; 基金新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-06-0935); 文摘介绍了能够测量稳定和时变等离子体电子密度的微波共振探针,给出了其工作原理和在测量稳定、时变和瞬态等离子体电子密度中的应用。分析了传输模式和反射模式的工作过程及对测量范围、测量精度和空间分辨率等影响因素。结果表明,选用较长的探针有利于提高电子密度的测量范围和精度;选用的微波扫频源高端频率越高,频率分辨率越高,则电子密度的测量范围越大,测量精度越高。理论分析得出系统可测量的电子密度约为1.37×108～4.1×1011cm-3。; 关键词等离子体诊断微波共振探针等离子体密度; Keywords Plasma diagnosing Microwave resonator probe Plasma density; 分类号 O539 [理学—等离子体物理] TL65 [核科学技术—核技术及应用]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名等离子体鞘层及粒子碰撞对微波共振探针诊断的影响被引量：1: 2; 作者黄勇时家明袁忠才徐记伟; 机构电子工程学院安徽省红外与低温等离子体重点实验室; 出处《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期86-89,共4页; 文摘针对气压大于133Pa的气体放电时等离子体鞘层及粒子碰撞对微波共振探针密度测量的影响变大的问题,对微波共振探针模型进行了改进,推导了鞘层修正因子和碰撞修正因子,探讨了微波共振探针尺寸对测量等离子体密度的影响。结果表明,针丝半径选择0.2mm,并且选用较大宽度的探针有利于减小测量误差。; 关键词微波共振探针等离子体密度鞘层碰撞频率修正因子; Keywords Microwave resonator probe Plasma density Sheath Collision frequency Correction factor; 分类号 O539 [理学—等离子体物理] TL65 [核科学技术—核技术及应用]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微波共振探针优化: 3; 作者赵宝媛朱芸桢黎良玉刘雅丽徐金洲; 机构东华大学理学院; 出处《东华大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期141-146,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(11075033); 文摘为提高微波共振探针测量气体放电等离子体参数的灵敏度,采用COMSOL软件仿真并比较近场场强与辐射的方法,优化了共振探针的几何结构以及探针与耦合线圈的最佳耦合位置。通过仿真模拟可知:具有臂长长和臂间距小的探针的品质因子相对较大;当耦合线圈与探针的摆放位置越近时,耦合效率高,但耦合线圈和探针的辐射也随之增强。提出屏蔽耦合线圈辐射的方法来获得更大的品质因子,仿真模拟和试验测量均表明上述方法具有可行性。; 关键词微波共振探针品质因子近电场场强辐射辐射屏蔽; Keywords microwave resonance probe quality factor local electric field strength radiation shielding; 分类号 O536 [理学—等离子体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名放电参量对电负性容性耦合等离子体电子密度的影响被引量：5: 4; 作者唐中华洪布双徐东升辛煜; 机构苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期84-90,共7页; 基金江苏省前瞻性产学研联合研究项目(批准号:BY2010125) 国家自然科学基金项目(批准号:11175127); 文摘利用微波共振探针对40.68 MHz单射频容性耦合SF6、Cl2、O2/Ar电负性等离子体电子密度进行了诊断测量。首先,将微波共振探针在Ar等离子体中的测量结果与朗缪尔探针结果进行对比,确定微波共振探针精确测量的实用范围;其次,运用微波共振探针的测量方法详细研究了放电参量对电负性容性耦合等离子体电子密度的影响。结果发现,电负性气体如SF6、Cl2、O2掺入到Ar等离子体中,均大幅度降低了等离子体的电子密度,强电负性气体的掺入对电子密度的下降尤为明显,随着电负性气体的不断掺入,电子密度趋于稳定值。文中也解释了射频放电功率和放电气压对电子密度造成的影响。; 关键词等离子体电负性气体微波共振探针电子密度; Keywords Plasma,Electronegative gas,Microwave resonator probe,Electron density; 分类号 O539 [理学—等离子体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	微波共振探针及其在等离子体诊断中的应用	马柳时家明袁忠才陈宗胜黄勇	《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	等离子体鞘层及粒子碰撞对微波共振探针诊断的影响	黄勇时家明袁忠才徐记伟	《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心	2010	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	微波共振探针优化	赵宝媛朱芸桢黎良玉刘雅丽徐金洲	《东华大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心	2018	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	放电参量对电负性容性耦合等离子体电子密度的影响	唐中华洪布双徐东升辛煜	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2014	5	在线阅读下载PDF 职称材料