微梁结构热偶微波功率传感器的灵敏度分析

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作者 者文明 崔大付 陈德勇 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2003年第3期1-3,共3页

在微波技术研究中 ,微波功率是表征微波信号特性的一个重要参数。微波功率测量已成为电磁测量的重要部分 ,可应用于很多场合 ,如发射机输出功率 (包括天线系统辐射的功率 )和振荡器输出功率的测量 ,毫瓦计的校准 ,标准信号发生器的校准... 在微波技术研究中 ,微波功率是表征微波信号特性的一个重要参数。微波功率测量已成为电磁测量的重要部分 ,可应用于很多场合 ,如发射机输出功率 (包括天线系统辐射的功率 )和振荡器输出功率的测量 ,毫瓦计的校准 ,标准信号发生器的校准等。微波功率传感器是微波功率计探头中的核心元件。微梁结构热偶微波功率传感器选择具有低电阻温度系数的Ta2 N和高热电功率塞贝克系数的Si作为热偶材料 ,利用半导体工艺和MEMS工艺制作。器件获得了比薄膜结构更高的灵敏度 ,并且具有动态范围大、零点漂移小等特点 ,此结构已有多种形式。着重从理论上分析了MIS结构对该传感器灵敏度的影响 ,并提出了一种新的结构设计 。 展开更多

关键词 热偶 微梁结构微波功率传感器 MIS结构

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微梁结构热偶微波功率传感器芯片的制作工艺 被引量：1

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作者 者文明 崔大付 +2 位作者 陈德勇 王利 王蕾 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2002年第11期31-33,共3页

在微波技术研究中 ,微波功率是表征微波信号特性的一个重要参数。微波功率测量已成为电磁测量的重要部分 ,可应用于很多场合 ,如发射机输出功率 (包括天线系统辐射的功率 )和振荡器输出功率的测量、毫瓦计的校准、标准信号发生器的校准... 在微波技术研究中 ,微波功率是表征微波信号特性的一个重要参数。微波功率测量已成为电磁测量的重要部分 ,可应用于很多场合 ,如发射机输出功率 (包括天线系统辐射的功率 )和振荡器输出功率的测量、毫瓦计的校准、标准信号发生器的校准等。微波功率传感器是微波功率计探头中的核心元件。微梁结构热偶微波功率传感器芯片选择具有低电阻温度系数的Ta2 N和高热电功率塞贝克系数的Si作为热偶材料 ,利用半导体工艺和MEMS工艺制作 ,并最终研制成合格的芯片。芯片具有尺寸小、功耗低、灵敏度高、频带宽等特点。简要介绍了芯片的结构原理 ,并详细介绍了芯片的制作工艺。 展开更多

关键词 热偶 微波功率 微梁结构热偶微波功率传感器 MEMS工艺 芯片制作

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一种新型MEMS微波功率传感器的设计与模拟 被引量：8

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作者 田涛 廖小平 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期611-614,共4页

提出了一种新型的三明治结构MEMS微波功率传感器结构,与传统传感器相比,新结构由于采用了垂直传热方式而具有较小的热损耗。在输入相同功率的情况下,模拟了热电堆的温度分布,三明治结构热电堆的温度高于传统结构,因此具有更高的灵敏度... 提出了一种新型的三明治结构MEMS微波功率传感器结构,与传统传感器相比,新结构由于采用了垂直传热方式而具有较小的热损耗。在输入相同功率的情况下,模拟了热电堆的温度分布,三明治结构热电堆的温度高于传统结构,因此具有更高的灵敏度。同时模拟了两种结构的阻抗匹配特性,其差异不大,在1-6GHz的频率范围内,三明治结构的回波损耗小于-30dB;在6-20GHz的频率范围内,其回波损耗小于-20dB,显示了良好的匹配特性。 展开更多

关键词 MEMS 微波功率传感器 三明治结构 热传导 回波损耗

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微机械梁膜结构1kPa量程压力传感器 被引量：1

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作者 鲍敏杭 沈绍群 普琦 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1994年第2期7-9,共3页

采用微机械加工技术可以制作出管芯尺寸小而灵敏度很高的压力传感器。目前微压压力传感器产品的量程已达5～10kPa。本文介绍了采用微机械梁膜结构的压力传感器设计(PT—24),结合适当的工艺可以制成量程为1kPa的器件。

关键词 梁膜结构 微压 压力传感器

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MEMS微波功率传感器的研究与进展 被引量：3

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作者 范小燕 廖小平 黄庆安 《微波学报》 CSCD 北大核心 2005年第2期63-70,共8页

介绍MEMS微波功率传感器的研究与发展,包括自加热式、间接加热式、插入式和电容式微波功率传感器。文中以共面波导(CPW)、负载电阻和热堆作为微波功率传感器的基本单元,对这些基本单元分别作了分析,并给出了这些基本单元和总体结构的性... 介绍MEMS微波功率传感器的研究与发展,包括自加热式、间接加热式、插入式和电容式微波功率传感器。文中以共面波导(CPW)、负载电阻和热堆作为微波功率传感器的基本单元,对这些基本单元分别作了分析,并给出了这些基本单元和总体结构的性能指标,同时介绍了Si和GaAs衬底上制备微波功率传感器的主要工艺。 展开更多

关键词 功率传感器 MEMS 微波 GAAS衬底 研究与发展 共面波导 负载电阻 性能指标 总体结构 电容式 插入式 单元 热式 热堆 Si

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MEMS梁膜结构流量传感器设计与实现

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作者 陈佩 赵玉龙 田边 《实验流体力学》 CSCD 北大核心 2017年第2期34-38,共5页

流量是工业检测重要参数之一。流量检测技术随着微机械电子系统(MEMS)技术的发展与应用,向着小型化、高精度、智能化的方向发展。基于MEMS技术设计了一种梁膜结合的压差式流量传感器结构,分析了其基本工作原理,采用硅微加工工艺对传感... 流量是工业检测重要参数之一。流量检测技术随着微机械电子系统(MEMS)技术的发展与应用,向着小型化、高精度、智能化的方向发展。基于MEMS技术设计了一种梁膜结合的压差式流量传感器结构,分析了其基本工作原理,采用硅微加工工艺对传感器进行了流片加工,然后对封装完成的传感器样机进行了气流和水流静态性能测试。气流测试灵敏度为0.3508mV/(ms^(-1))~2,测试基本精度为0.5885%FS;水流测试灵敏度为41.5241mV/(ms^(-1))~2,测试基本精度为0.9323%FS。结果表明,所设计传感器具有较高的灵敏度与基本精度,从而能完成流量信号的检测。 展开更多

关键词 微机电系统 流量 传感器 梁膜结构 微加工

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四电极电化学腐蚀在微压传感器制造中的应用 被引量：1

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作者 乔文华 张纯棣 张治国 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2000年第8期11-12,共2页

在研究四电极电化学腐蚀工艺过程中 ,考虑了与扩散硅压力传感器芯片平面工艺的兼容性 ,使得该工艺用于微压传感器的制造。微压传感器采用梁膜结构设计 ,膜区厚度为 1 0 μm ,制造出的微压传感器灵敏度为 5 0mV/ 3kPa/ 1mA ,端点法非线性... 在研究四电极电化学腐蚀工艺过程中 ,考虑了与扩散硅压力传感器芯片平面工艺的兼容性 ,使得该工艺用于微压传感器的制造。微压传感器采用梁膜结构设计 ,膜区厚度为 1 0 μm ,制造出的微压传感器灵敏度为 5 0mV/ 3kPa/ 1mA ,端点法非线性为 0 .5 %。 展开更多

关键词 四电极 电化学腐蚀 微压传感器 梁膜结构 制造

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一种压阻式微压传感器芯片设计与实现 被引量：9

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作者 吴佐飞 尹延昭 +1 位作者 田雷 王永刚 《传感器与微系统》 CSCD 2018年第6期73-74,78,共3页

基于压阻效应和惠斯通电桥原理,设计了一种压阻式微压传感器;为了增大灵敏度,设计了一种折弯形的压敏电阻。从微压芯片敏感薄膜的设计、敏感电阻条的确定以及敏感电阻器位置的选取等方面考虑,设计了具有应力匀散效应的梁-膜结构并进行... 基于压阻效应和惠斯通电桥原理,设计了一种压阻式微压传感器;为了增大灵敏度,设计了一种折弯形的压敏电阻。从微压芯片敏感薄膜的设计、敏感电阻条的确定以及敏感电阻器位置的选取等方面考虑,设计了具有应力匀散效应的梁-膜结构并进行了工艺验证。验证结果表明:所设计的微压芯片灵敏度达到了24 mV/kPa,非线性优于0.2%FS。 展开更多

关键词 压阻效应 微压传感器 绝缘体上硅 梁-膜结构

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MEMS压阻超声传感器的设计与优化 被引量：6

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作者 宛克敬 何常德 +1 位作者 廉德钦 薛晨阳 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2012年第5期728-731,共4页

提出了一种新的压阻式超声传感器结构,该结构由主振梁和微传感梁组成,在声压的作用下,主振梁振动从而带动微传感梁的振动。通过有限元软件Ansys仿真分析该结构的灵敏度,并与悬臂梁结构压阻式声传感器相比,结果表明灵敏度有了一定的提高... 提出了一种新的压阻式超声传感器结构,该结构由主振梁和微传感梁组成,在声压的作用下,主振梁振动从而带动微传感梁的振动。通过有限元软件Ansys仿真分析该结构的灵敏度,并与悬臂梁结构压阻式声传感器相比,结果表明灵敏度有了一定的提高。为了实现结构的优化,仿真了结构的尺寸与共振频率的关系,对相同共振频率的结构进行了静力分析,计算并对比了不同尺寸结构的灵敏度,从而得到灵敏度最高的结构,实现了结构的优化。 展开更多

关键词 压阻 超声传感器 微传感梁结构 ANSYS 优化

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一种测量一维结构振动功率流的新方法 被引量：1

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作者 王术新 姜哲 朱志伟 《振动工程学报》 EI CSCD 北大核心 2003年第3期368-372,共5页

通过设计正弦和余弦形状PVDF传感器,提出了一种测量一维结构振动功率流和位移的新方法,并与用压电加速度传感器的测量结果进行了比较,结果表明:这种新的测量方法测量方便、数据精确,完全可以取代传统测量方法。并且PVDF传感器还可以同... 通过设计正弦和余弦形状PVDF传感器,提出了一种测量一维结构振动功率流和位移的新方法,并与用压电加速度传感器的测量结果进行了比较,结果表明:这种新的测量方法测量方便、数据精确,完全可以取代传统测量方法。并且PVDF传感器还可以同时测量角位移、弯矩、剪力等其它振动量,因此这种传感器功能齐全、应用广泛,具有重大的研究价值和现实意义。 展开更多

关键词 功率流 结构振动 测量 形状函数 压电加速度传感器 位移 梁

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2015’全国新型半导体功率器件及应用技术研讨会会议通知

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《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第11期879-879,共1页

一、会议组织机构 指导单位：中国半导体行业协会承办单位：中国半导体行业协会分立器件分会专用集成电路重点实验室中国电子科技集团公司第十三研究所协办单位：合肥锐拓科技信息服务有限公司《半导体技术》编辑部《微纳电子技术》编... 一、会议组织机构 指导单位：中国半导体行业协会承办单位：中国半导体行业协会分立器件分会专用集成电路重点实验室中国电子科技集团公司第十三研究所协办单位：合肥锐拓科技信息服务有限公司《半导体技术》编辑部《微纳电子技术》编辑部厦门创新众人会议服务有限公司二、征文范围1.宽禁带（Ga N、SiC等）外延材料的结构设计、制备与检测技术;2.功率器件用Ga As、In P外延材料的结构设计、制备与检测技术;3.基于金刚石、石墨烯的功率器件的结构设计、加工与测试技术;4.微波功率器件的结构设计、加工与测试技术;5.电力电子器件的结构设计、加工与测试技术; 展开更多

关键词 半导体功率器件 结构设计 微波功率器件 微纳电子技术 测试技术 分立器件 协会承办 指导单位 科技信息服务 会议组织机构

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