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基于MEMS技术的微桥制备与共振频率测量
被引量：
3
1
作者
曾荣耀
丁喜冬
+1 位作者
刘志宇
傅刚
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期584-588,共5页
基于扫描探针显微镜(SPM)微机械性能测试的需求,设计了一种可用电容力驱动微桥面振动的新型微桥。通过实验选材和单晶Si的刻蚀研究,提出了一种新的正面刻蚀成桥方法,获得了一种基于湿法刻蚀的低成本、易加工的实用微桥加工技术。利用SEM...
基于扫描探针显微镜(SPM)微机械性能测试的需求,设计了一种可用电容力驱动微桥面振动的新型微桥。通过实验选材和单晶Si的刻蚀研究,提出了一种新的正面刻蚀成桥方法,获得了一种基于湿法刻蚀的低成本、易加工的实用微桥加工技术。利用SEM和AFM观察了微桥,证实微桥已制备成功且微桥桥面形貌比较平整。最后用改进的扫描隧道显微镜(STM)测量了微桥振动的频率响应,测得的共振频率与理论估算值基本一致。
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关键词
微机电系统
微桥制备
湿法刻蚀
共振频率
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职称材料
题名
基于MEMS技术的微桥制备与共振频率测量
被引量：
3
1
作者
曾荣耀
丁喜冬
刘志宇
傅刚
机构
中山大学物理科学与工程技术学院
光电材料与技术国家重点实验室
广州大学固体物理与材料研究实验室
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期584-588,共5页
文摘
基于扫描探针显微镜(SPM)微机械性能测试的需求,设计了一种可用电容力驱动微桥面振动的新型微桥。通过实验选材和单晶Si的刻蚀研究,提出了一种新的正面刻蚀成桥方法,获得了一种基于湿法刻蚀的低成本、易加工的实用微桥加工技术。利用SEM和AFM观察了微桥,证实微桥已制备成功且微桥桥面形貌比较平整。最后用改进的扫描隧道显微镜(STM)测量了微桥振动的频率响应,测得的共振频率与理论估算值基本一致。
关键词
微机电系统
微桥制备
湿法刻蚀
共振频率
Keywords
MEMS
microbirdge fabrication
wet etching
resonant frequency
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于MEMS技术的微桥制备与共振频率测量
曾荣耀
丁喜冬
刘志宇
傅刚
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010
3
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