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基于印刷线路板技术的复合气体探测器 被引量:1
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作者 鲁彦霞 赵修良 +1 位作者 张泊丽 刘丽艳 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第4期515-518,共4页
将当前先进的PCB加工技术用于制作微条气体探测器(MSGC),并结合微电子加工技术制作电子倍增器(GEM),可以制作性能优越价格低廉的复合式位置灵敏探测器。论文从气体探测器工作原理出发,分析了各种类型气体探测器的优缺点,并根据当前国内... 将当前先进的PCB加工技术用于制作微条气体探测器(MSGC),并结合微电子加工技术制作电子倍增器(GEM),可以制作性能优越价格低廉的复合式位置灵敏探测器。论文从气体探测器工作原理出发,分析了各种类型气体探测器的优缺点,并根据当前国内的微电子加工技术,设计制作了MSGC+GEM复合式气体探测器。随着PCB精加工技术的进步,性能更优越可靠、更易加工的气体探测器很快将问世。 展开更多
关键词 气体探测器 微条气体探测器 电子倍增器
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