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MEMS CAD系统及其关键技术研究
1
作者
郝文涛
田凌
童秉枢
《工程图学学报》
CSCD
北大核心
2006年第1期1-8,共8页
针对MEMS器件及系统本身的特点和设计方式,构建了MEMS CAD软件系统的结构,并描述了系统中各模块的功能。对当前MEMS CAD系统亟待解决的关键技术,如数值计算方法、多能量域耦合仿真、宏模型建立、版图综合、工艺自动生成和优化以及多领...
针对MEMS器件及系统本身的特点和设计方式,构建了MEMS CAD软件系统的结构,并描述了系统中各模块的功能。对当前MEMS CAD系统亟待解决的关键技术,如数值计算方法、多能量域耦合仿真、宏模型建立、版图综合、工艺自动生成和优化以及多领域专家协同设计等问题进行了详细的论述,指出了各项技术的研究进展和发展方向。
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关键词
计算机应用
微机
电
系统
cad
综述
微机电系统cad关键技术
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职称材料
微机电系统CAD研究及发展现状
被引量:
1
2
作者
胡伟
胡国清
+1 位作者
魏昕
谢小柱
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期682-686,691,共6页
随着微机电系统(MEMS)的快速发展,要求MEMS计算机辅助设计(CAD)能对MEMS设计进行快速建模与仿真分析。介绍了MEMS CAD技术的发展背景及特点,详细阐述了现有MEMS CAD的工艺先行、基于标准工艺、Bottom-Up流程、Top-Down流程及支持任意设...
随着微机电系统(MEMS)的快速发展,要求MEMS计算机辅助设计(CAD)能对MEMS设计进行快速建模与仿真分析。介绍了MEMS CAD技术的发展背景及特点,详细阐述了现有MEMS CAD的工艺先行、基于标准工艺、Bottom-Up流程、Top-Down流程及支持任意设计流程等工作模式,综述了MEMS CAD所涉及的多能量域耦合分析、宏建模及材料数据库等关键技术,最后总结了MEMS CAD软件的两种设计方法。
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关键词
微机
电
系统
(MEMS)
cad
设计模式
多能量域耦合
宏模型
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职称材料
微机电系统技术及其在航天器上的应用展望
被引量:
1
3
作者
申坤
《空间控制技术与应用》
2008年第1期56-59,共4页
微机电系统是指集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、各种接口、通信电路和电源等于一体的微型器件或系统。随着科学技术的发展,微机电系统在精度和可靠性方面都有了很大的提高,得到了越来越广泛的应用。论述了...
微机电系统是指集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、各种接口、通信电路和电源等于一体的微型器件或系统。随着科学技术的发展,微机电系统在精度和可靠性方面都有了很大的提高,得到了越来越广泛的应用。论述了微机电系统的技术特征、主要技术和加工工艺,并展望了微机电系统在航天器上的应用前景。
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关键词
微机
电
系统
技术
特征
关键技术
加工工艺
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职称材料
微型飞行器研究进展与关键技术
被引量:
14
4
作者
周新春
昂海松
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2008年第6期1-4,共4页
微型飞行器(MAV)突破了传统常规飞行器的设计和制作概念,是随着微米纳米科技和微电子机械系统(MEMS)的蓬勃兴起而发展起来的一个新的研究领域,国际上是一个研究热点。介绍了国内外各种MAV当前的研究发展状况,分析了MAV研制中的一些关键...
微型飞行器(MAV)突破了传统常规飞行器的设计和制作概念,是随着微米纳米科技和微电子机械系统(MEMS)的蓬勃兴起而发展起来的一个新的研究领域,国际上是一个研究热点。介绍了国内外各种MAV当前的研究发展状况,分析了MAV研制中的一些关键技术。
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关键词
微型飞行器
微机
电
系统
低雷诺数
关键技术
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职称材料
MEMS系统级仿真建模理论与方法的研究
被引量:
7
5
作者
孙道恒
黄元庆
+2 位作者
郑炜
朱立秒
李文望
《厦门大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期297-302,共6页
实现集设计、加工及运行等整个过程的计算机仿真为一体的微机电系统的计算机辅助设计是微机电系统真正走向商品化的重要基础 .系统级仿真是 MEMS CAD最为关键的重要环节 .概括了 MEMS CAD的体系结构 ;着重介绍了适合于 MEMS系统级仿真...
实现集设计、加工及运行等整个过程的计算机仿真为一体的微机电系统的计算机辅助设计是微机电系统真正走向商品化的重要基础 .系统级仿真是 MEMS CAD最为关键的重要环节 .概括了 MEMS CAD的体系结构 ;着重介绍了适合于 MEMS系统级仿真的两个基本模型的基本思想、构造方法 .提出用加权残值法 (MWR)建立 MEMS系统级仿真模型 ;论述 MEMS系统级仿真的 MWR建模原理与方法 .提出运用演化算法进行自动化、智能化建模的基本思想 .
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关键词
微机
电
系统
MEMS
耦合场计算
系统
级仿真
cad
体系结构
加权残值法
建模
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职称材料
MEMS耦合场分析与系统级仿真
被引量:
16
6
作者
孙道恒
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第9期765-768,共4页
微机电系统的计算机辅助设计是 MEMS真正走向市场的重要基础。耦合场分析与系统级仿真是 MEMS CAD中 2个最关键的环节。概括了MEMS CAD的体系结构 ;综述了耦合场计算的常用数值方法及应用范围 ;着重介绍了适合于 MEMS系统级仿真的 2个...
微机电系统的计算机辅助设计是 MEMS真正走向市场的重要基础。耦合场分析与系统级仿真是 MEMS CAD中 2个最关键的环节。概括了MEMS CAD的体系结构 ;综述了耦合场计算的常用数值方法及应用范围 ;着重介绍了适合于 MEMS系统级仿真的 2个基本模型的基本思想、构造方法 ,分析了各自的优缺点 。
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关键词
微机
电
系统
多场耦合
系统
级仿真
cad
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职称材料
面向MEMS的CAD显示设计研究
被引量:
1
7
作者
俞武嘉
李建华
+1 位作者
傅建中
陈子辰
《机电工程》
CAS
2001年第5期78-80,共3页
首先介绍面向微机电系统的CAD软件的特点,具体讨论面向MEMS的CAD系统的显示设计,然后对在PC机上以Windows为平台,运用OpenGL技术来进行CAD系统的显示设计进行了探讨。
关键词
MEMS
cad
显示设计
微机
电
系统
计算机辅助设计
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职称材料
基于体素的快速MEMS工艺模拟
8
作者
李建华
罗勇军
《计算机应用与软件》
CSCD
2009年第5期11-13,共3页
为了快速生成MEMS模型和实现加工的过程模拟,给出一种基于体素的快速MEMS工艺模拟方法。该方法利用MEMS材料属性和体素表示的特性,利用布尔运算快速生成所需要的模拟过程和最终结果。最后给出了具体实现,并给出了测试实例。
关键词
cad
微机
电
系统
体素
工艺模拟
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职称材料
仿生微型扑翼飞行器的研究进展
被引量:
2
9
作者
丁美希
赵全亮
+3 位作者
马世伟
刘志凯
张萌颖
何广平
《兵器装备工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第3期1-11,共11页
随着近几年仿生学和微机电系统(MEMS)的发展,仿生微型扑翼飞行器的研究不断取得新的进展,在军事和民用应用领域具有广泛的应用前景。首先介绍了昆虫类生物扑翼飞行的高升力机理研究,然后回顾了近年来对于仿生微型扑翼飞行器的研究成果,...
随着近几年仿生学和微机电系统(MEMS)的发展,仿生微型扑翼飞行器的研究不断取得新的进展,在军事和民用应用领域具有广泛的应用前景。首先介绍了昆虫类生物扑翼飞行的高升力机理研究,然后回顾了近年来对于仿生微型扑翼飞行器的研究成果,重点介绍了不同驱动方式的仿生微型扑翼飞行器的新型样机,也对仿生微型扑翼飞行器相关的典型微加工技术进行了介绍。最后总结出了当前扑翼飞行器发展面临的问题,并对其未来的发展趋势和应用领域进行了预测与展望。
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关键词
扑翼飞行器
仿生
驱动方式
微机
电
系统
关键技术
发展现状
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职称材料
题名
MEMS CAD系统及其关键技术研究
1
作者
郝文涛
田凌
童秉枢
机构
清华大学精密仪器与机械学系
出处
《工程图学学报》
CSCD
北大核心
2006年第1期1-8,共8页
基金
国家重点基础研究发展规划资助项目(2003CB716204)
文摘
针对MEMS器件及系统本身的特点和设计方式,构建了MEMS CAD软件系统的结构,并描述了系统中各模块的功能。对当前MEMS CAD系统亟待解决的关键技术,如数值计算方法、多能量域耦合仿真、宏模型建立、版图综合、工艺自动生成和优化以及多领域专家协同设计等问题进行了详细的论述,指出了各项技术的研究进展和发展方向。
关键词
计算机应用
微机
电
系统
cad
综述
微机电系统cad关键技术
Keywords
computer application
MEMS
cad
Survey
MEMS
cad
key technologies
分类号
TH12 [机械工程—机械设计及理论]
TP391 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
微机电系统CAD研究及发展现状
被引量:
1
2
作者
胡伟
胡国清
魏昕
谢小柱
机构
华南理工大学机械与汽车工程学院
广东工业大学机电工程学院
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期682-686,691,共6页
文摘
随着微机电系统(MEMS)的快速发展,要求MEMS计算机辅助设计(CAD)能对MEMS设计进行快速建模与仿真分析。介绍了MEMS CAD技术的发展背景及特点,详细阐述了现有MEMS CAD的工艺先行、基于标准工艺、Bottom-Up流程、Top-Down流程及支持任意设计流程等工作模式,综述了MEMS CAD所涉及的多能量域耦合分析、宏建模及材料数据库等关键技术,最后总结了MEMS CAD软件的两种设计方法。
关键词
微机
电
系统
(MEMS)
cad
设计模式
多能量域耦合
宏模型
Keywords
MEMS
cad
design mode
multi-energy domain coupling
macro-model
分类号
TN454 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
微机电系统技术及其在航天器上的应用展望
被引量:
1
3
作者
申坤
机构
北京控制工程研究所
出处
《空间控制技术与应用》
2008年第1期56-59,共4页
文摘
微机电系统是指集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、各种接口、通信电路和电源等于一体的微型器件或系统。随着科学技术的发展,微机电系统在精度和可靠性方面都有了很大的提高,得到了越来越广泛的应用。论述了微机电系统的技术特征、主要技术和加工工艺,并展望了微机电系统在航天器上的应用前景。
关键词
微机
电
系统
技术
特征
关键技术
加工工艺
Keywords
MEMS
technical characteristics
key technology
manufacture processes
分类号
TP271.4 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
微型飞行器研究进展与关键技术
被引量:
14
4
作者
周新春
昂海松
机构
南京航空航天大学航空宇航学院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2008年第6期1-4,共4页
基金
国防预研基金资助项目
文摘
微型飞行器(MAV)突破了传统常规飞行器的设计和制作概念,是随着微米纳米科技和微电子机械系统(MEMS)的蓬勃兴起而发展起来的一个新的研究领域,国际上是一个研究热点。介绍了国内外各种MAV当前的研究发展状况,分析了MAV研制中的一些关键技术。
关键词
微型飞行器
微机
电
系统
低雷诺数
关键技术
Keywords
micro air vehicle(MAV)
MEMS
low Reynolds number
key techniques
分类号
V279.2 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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职称材料
题名
MEMS系统级仿真建模理论与方法的研究
被引量:
7
5
作者
孙道恒
黄元庆
郑炜
朱立秒
李文望
机构
厦门大学机电工程系
出处
《厦门大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期297-302,共6页
基金
教育部<高等学校骨干教师资助计划>
厦门大学自选课题资助项目
文摘
实现集设计、加工及运行等整个过程的计算机仿真为一体的微机电系统的计算机辅助设计是微机电系统真正走向商品化的重要基础 .系统级仿真是 MEMS CAD最为关键的重要环节 .概括了 MEMS CAD的体系结构 ;着重介绍了适合于 MEMS系统级仿真的两个基本模型的基本思想、构造方法 .提出用加权残值法 (MWR)建立 MEMS系统级仿真模型 ;论述 MEMS系统级仿真的 MWR建模原理与方法 .提出运用演化算法进行自动化、智能化建模的基本思想 .
关键词
微机
电
系统
MEMS
耦合场计算
系统
级仿真
cad
体系结构
加权残值法
建模
Keywords
MEMS
coupled field computation
system level simulation
分类号
TH-39 [机械工程]
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职称材料
题名
MEMS耦合场分析与系统级仿真
被引量:
16
6
作者
孙道恒
机构
厦门大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第9期765-768,共4页
基金
教育部高等学校骨干教师计划资助项目
文摘
微机电系统的计算机辅助设计是 MEMS真正走向市场的重要基础。耦合场分析与系统级仿真是 MEMS CAD中 2个最关键的环节。概括了MEMS CAD的体系结构 ;综述了耦合场计算的常用数值方法及应用范围 ;着重介绍了适合于 MEMS系统级仿真的 2个基本模型的基本思想、构造方法 ,分析了各自的优缺点 。
关键词
微机
电
系统
多场耦合
系统
级仿真
cad
Keywords
micro-electro-mechanical system(MEMS) coupled-field system level simulation
cad
分类号
TH-39 [机械工程]
TP391.9 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
面向MEMS的CAD显示设计研究
被引量:
1
7
作者
俞武嘉
李建华
傅建中
陈子辰
机构
浙江大学生产工程研究所
出处
《机电工程》
CAS
2001年第5期78-80,共3页
文摘
首先介绍面向微机电系统的CAD软件的特点,具体讨论面向MEMS的CAD系统的显示设计,然后对在PC机上以Windows为平台,运用OpenGL技术来进行CAD系统的显示设计进行了探讨。
关键词
MEMS
cad
显示设计
微机
电
系统
计算机辅助设计
Keywords
MEMS
cad
display design
分类号
TM76-39 [电气工程—电力系统及自动化]
TP391.72 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
基于体素的快速MEMS工艺模拟
8
作者
李建华
罗勇军
机构
华东理工大学计算机科学与工程系
出处
《计算机应用与软件》
CSCD
2009年第5期11-13,共3页
基金
国家自然科学基金(60703026)
文摘
为了快速生成MEMS模型和实现加工的过程模拟,给出一种基于体素的快速MEMS工艺模拟方法。该方法利用MEMS材料属性和体素表示的特性,利用布尔运算快速生成所需要的模拟过程和最终结果。最后给出了具体实现,并给出了测试实例。
关键词
cad
微机
电
系统
体素
工艺模拟
Keywords
cad
Micro-electro-mechanism system (MEMS) Voxel representation Process simulation
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
仿生微型扑翼飞行器的研究进展
被引量:
2
9
作者
丁美希
赵全亮
马世伟
刘志凯
张萌颖
何广平
机构
北方工业大学机械与材料工程学院
出处
《兵器装备工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第3期1-11,共11页
基金
国家重点研发项目(2019YFB1309603)
国家自然科学基金项目(51775002)
复杂系统管理与控制国家重点实验室开放课题(20210103)。
文摘
随着近几年仿生学和微机电系统(MEMS)的发展,仿生微型扑翼飞行器的研究不断取得新的进展,在军事和民用应用领域具有广泛的应用前景。首先介绍了昆虫类生物扑翼飞行的高升力机理研究,然后回顾了近年来对于仿生微型扑翼飞行器的研究成果,重点介绍了不同驱动方式的仿生微型扑翼飞行器的新型样机,也对仿生微型扑翼飞行器相关的典型微加工技术进行了介绍。最后总结出了当前扑翼飞行器发展面临的问题,并对其未来的发展趋势和应用领域进行了预测与展望。
关键词
扑翼飞行器
仿生
驱动方式
微机
电
系统
关键技术
发展现状
Keywords
flapping wing aircraft
bionics
driving mode
MEMS
key technologies
development status
分类号
V276 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MEMS CAD系统及其关键技术研究
郝文涛
田凌
童秉枢
《工程图学学报》
CSCD
北大核心
2006
0
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职称材料
2
微机电系统CAD研究及发展现状
胡伟
胡国清
魏昕
谢小柱
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
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职称材料
3
微机电系统技术及其在航天器上的应用展望
申坤
《空间控制技术与应用》
2008
1
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职称材料
4
微型飞行器研究进展与关键技术
周新春
昂海松
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2008
14
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职称材料
5
MEMS系统级仿真建模理论与方法的研究
孙道恒
黄元庆
郑炜
朱立秒
李文望
《厦门大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2001
7
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职称材料
6
MEMS耦合场分析与系统级仿真
孙道恒
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
16
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职称材料
7
面向MEMS的CAD显示设计研究
俞武嘉
李建华
傅建中
陈子辰
《机电工程》
CAS
2001
1
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职称材料
8
基于体素的快速MEMS工艺模拟
李建华
罗勇军
《计算机应用与软件》
CSCD
2009
0
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职称材料
9
仿生微型扑翼飞行器的研究进展
丁美希
赵全亮
马世伟
刘志凯
张萌颖
何广平
《兵器装备工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023
2
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职称材料
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