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MEMS CAD系统及其关键技术研究
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作者 郝文涛 田凌 童秉枢 《工程图学学报》 CSCD 北大核心 2006年第1期1-8,共8页
针对MEMS器件及系统本身的特点和设计方式,构建了MEMS CAD软件系统的结构,并描述了系统中各模块的功能。对当前MEMS CAD系统亟待解决的关键技术,如数值计算方法、多能量域耦合仿真、宏模型建立、版图综合、工艺自动生成和优化以及多领... 针对MEMS器件及系统本身的特点和设计方式,构建了MEMS CAD软件系统的结构,并描述了系统中各模块的功能。对当前MEMS CAD系统亟待解决的关键技术,如数值计算方法、多能量域耦合仿真、宏模型建立、版图综合、工艺自动生成和优化以及多领域专家协同设计等问题进行了详细的论述,指出了各项技术的研究进展和发展方向。 展开更多
关键词 计算机应用 微机系统cad 综述 微机电系统cad关键技术
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微机电系统CAD研究及发展现状 被引量:1
2
作者 胡伟 胡国清 +1 位作者 魏昕 谢小柱 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期682-686,691,共6页
随着微机电系统(MEMS)的快速发展,要求MEMS计算机辅助设计(CAD)能对MEMS设计进行快速建模与仿真分析。介绍了MEMS CAD技术的发展背景及特点,详细阐述了现有MEMS CAD的工艺先行、基于标准工艺、Bottom-Up流程、Top-Down流程及支持任意设... 随着微机电系统(MEMS)的快速发展,要求MEMS计算机辅助设计(CAD)能对MEMS设计进行快速建模与仿真分析。介绍了MEMS CAD技术的发展背景及特点,详细阐述了现有MEMS CAD的工艺先行、基于标准工艺、Bottom-Up流程、Top-Down流程及支持任意设计流程等工作模式,综述了MEMS CAD所涉及的多能量域耦合分析、宏建模及材料数据库等关键技术,最后总结了MEMS CAD软件的两种设计方法。 展开更多
关键词 微机系统(MEMS)cad 设计模式 多能量域耦合 宏模型
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微机电系统技术及其在航天器上的应用展望 被引量:1
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作者 申坤 《空间控制技术与应用》 2008年第1期56-59,共4页
微机电系统是指集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、各种接口、通信电路和电源等于一体的微型器件或系统。随着科学技术的发展,微机电系统在精度和可靠性方面都有了很大的提高,得到了越来越广泛的应用。论述了... 微机电系统是指集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、各种接口、通信电路和电源等于一体的微型器件或系统。随着科学技术的发展,微机电系统在精度和可靠性方面都有了很大的提高,得到了越来越广泛的应用。论述了微机电系统的技术特征、主要技术和加工工艺,并展望了微机电系统在航天器上的应用前景。 展开更多
关键词 微机系统 技术特征 关键技术 加工工艺
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微型飞行器研究进展与关键技术 被引量:14
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作者 周新春 昂海松 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第6期1-4,共4页
微型飞行器(MAV)突破了传统常规飞行器的设计和制作概念,是随着微米纳米科技和微电子机械系统(MEMS)的蓬勃兴起而发展起来的一个新的研究领域,国际上是一个研究热点。介绍了国内外各种MAV当前的研究发展状况,分析了MAV研制中的一些关键... 微型飞行器(MAV)突破了传统常规飞行器的设计和制作概念,是随着微米纳米科技和微电子机械系统(MEMS)的蓬勃兴起而发展起来的一个新的研究领域,国际上是一个研究热点。介绍了国内外各种MAV当前的研究发展状况,分析了MAV研制中的一些关键技术。 展开更多
关键词 微型飞行器 微机系统 低雷诺数 关键技术
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MEMS系统级仿真建模理论与方法的研究 被引量:7
5
作者 孙道恒 黄元庆 +2 位作者 郑炜 朱立秒 李文望 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期297-302,共6页
实现集设计、加工及运行等整个过程的计算机仿真为一体的微机电系统的计算机辅助设计是微机电系统真正走向商品化的重要基础 .系统级仿真是 MEMS CAD最为关键的重要环节 .概括了 MEMS CAD的体系结构 ;着重介绍了适合于 MEMS系统级仿真... 实现集设计、加工及运行等整个过程的计算机仿真为一体的微机电系统的计算机辅助设计是微机电系统真正走向商品化的重要基础 .系统级仿真是 MEMS CAD最为关键的重要环节 .概括了 MEMS CAD的体系结构 ;着重介绍了适合于 MEMS系统级仿真的两个基本模型的基本思想、构造方法 .提出用加权残值法 (MWR)建立 MEMS系统级仿真模型 ;论述 MEMS系统级仿真的 MWR建模原理与方法 .提出运用演化算法进行自动化、智能化建模的基本思想 . 展开更多
关键词 微机系统 MEMS 耦合场计算 系统级仿真 cad 体系结构 加权残值法 建模
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MEMS耦合场分析与系统级仿真 被引量:16
6
作者 孙道恒 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第9期765-768,共4页
微机电系统的计算机辅助设计是 MEMS真正走向市场的重要基础。耦合场分析与系统级仿真是 MEMS CAD中 2个最关键的环节。概括了MEMS CAD的体系结构 ;综述了耦合场计算的常用数值方法及应用范围 ;着重介绍了适合于 MEMS系统级仿真的 2个... 微机电系统的计算机辅助设计是 MEMS真正走向市场的重要基础。耦合场分析与系统级仿真是 MEMS CAD中 2个最关键的环节。概括了MEMS CAD的体系结构 ;综述了耦合场计算的常用数值方法及应用范围 ;着重介绍了适合于 MEMS系统级仿真的 2个基本模型的基本思想、构造方法 ,分析了各自的优缺点 。 展开更多
关键词 微机系统 多场耦合 系统级仿真 cad
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面向MEMS的CAD显示设计研究 被引量:1
7
作者 俞武嘉 李建华 +1 位作者 傅建中 陈子辰 《机电工程》 CAS 2001年第5期78-80,共3页
首先介绍面向微机电系统的CAD软件的特点,具体讨论面向MEMS的CAD系统的显示设计,然后对在PC机上以Windows为平台,运用OpenGL技术来进行CAD系统的显示设计进行了探讨。
关键词 MEMS cad 显示设计 微机系统 计算机辅助设计
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基于体素的快速MEMS工艺模拟
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作者 李建华 罗勇军 《计算机应用与软件》 CSCD 2009年第5期11-13,共3页
为了快速生成MEMS模型和实现加工的过程模拟,给出一种基于体素的快速MEMS工艺模拟方法。该方法利用MEMS材料属性和体素表示的特性,利用布尔运算快速生成所需要的模拟过程和最终结果。最后给出了具体实现,并给出了测试实例。
关键词 cad 微机系统 体素 工艺模拟
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仿生微型扑翼飞行器的研究进展 被引量:2
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作者 丁美希 赵全亮 +3 位作者 马世伟 刘志凯 张萌颖 何广平 《兵器装备工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期1-11,共11页
随着近几年仿生学和微机电系统(MEMS)的发展,仿生微型扑翼飞行器的研究不断取得新的进展,在军事和民用应用领域具有广泛的应用前景。首先介绍了昆虫类生物扑翼飞行的高升力机理研究,然后回顾了近年来对于仿生微型扑翼飞行器的研究成果,... 随着近几年仿生学和微机电系统(MEMS)的发展,仿生微型扑翼飞行器的研究不断取得新的进展,在军事和民用应用领域具有广泛的应用前景。首先介绍了昆虫类生物扑翼飞行的高升力机理研究,然后回顾了近年来对于仿生微型扑翼飞行器的研究成果,重点介绍了不同驱动方式的仿生微型扑翼飞行器的新型样机,也对仿生微型扑翼飞行器相关的典型微加工技术进行了介绍。最后总结出了当前扑翼飞行器发展面临的问题,并对其未来的发展趋势和应用领域进行了预测与展望。 展开更多
关键词 扑翼飞行器 仿生 驱动方式 微机系统 关键技术 发展现状
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