基于静电调修的圆盘结构MEMS陀螺仪 被引量：3

1

作者 张林欣 王俊铎 沈文江 《传感器与微系统》 CSCD 2020年第5期71-73,80,共4页

设计了一种采用微机电系统(MEMS)技术的绝缘体上硅(SOI)与玻璃阳极键合工艺的陀螺仪。分析了提高陀螺仪性能的主要手段,结合实际工艺能力,设计了较大电容极板正对面积的器件。利用真空腔、网络分析仪、跨阻放大器、直流电源,进行扫频实... 设计了一种采用微机电系统(MEMS)技术的绝缘体上硅(SOI)与玻璃阳极键合工艺的陀螺仪。分析了提高陀螺仪性能的主要手段,结合实际工艺能力,设计了较大电容极板正对面积的器件。利用真空腔、网络分析仪、跨阻放大器、直流电源,进行扫频实验,得到了器件的幅频响应特性。基于MEMS陀螺仪的工作原理,设计静电调修的方法,实现了器件驱动轴和敏感轴的谐振频率裂解从293.75 Hz缩小到6.25 Hz。 展开更多

关键词 微机电系统(MEMS)陀螺仪 静电调修 圆盘结构 阳极键合

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面向蜂巢式微机电陀螺模态交换工作模式的卡尔曼滤波

2

作者 陈亮潜 苗桐侨 +5 位作者 李青松 王鹏 李军建 吴学忠 席翔 肖定邦 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第4期512-516,521,共6页

该文对模态交换工作模式下的蜂巢式微机电陀螺进行了噪声成分分析,并建立了噪声模型。提出采用卡尔曼滤波降低陀螺输出白噪声的方法,从而提升陀螺的静态性能,该方法可用于惯性寻北。实验结果表明,经滤波后陀螺输出在采样时间1 s下与未... 该文对模态交换工作模式下的蜂巢式微机电陀螺进行了噪声成分分析,并建立了噪声模型。提出采用卡尔曼滤波降低陀螺输出白噪声的方法,从而提升陀螺的静态性能,该方法可用于惯性寻北。实验结果表明,经滤波后陀螺输出在采样时间1 s下与未滤波前的平滑时间100 s下的陀螺输出噪声水平相当。陀螺输出白噪声幅值降低,从而缩短寻北时间。实际应用中,最短寻北时间可由卡尔曼滤波初值收敛后的时间进行标定。 展开更多

关键词 微机电系统(MEMS)陀螺仪 卡尔曼滤波 惯性寻北系统 模态交换 噪声

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基于MEMS陀螺仪的地下管线测绘系统 被引量：7

3

作者 杨毅 林斌 娄高峰 《传感器与微系统》 CSCD 2020年第12期88-91,95,共5页

研究并实现基于微机电系统(MEMS)陀螺仪的高速数据的采集、多传感器数据融合、高实时数据的存储以及数据读取等功能的地下管线测绘系统;并运用管道测绘算法对读取的数据进行解算,最终得到测量管道的三维轨迹。所设计的系统以STM32芯片... 研究并实现基于微机电系统(MEMS)陀螺仪的高速数据的采集、多传感器数据融合、高实时数据的存储以及数据读取等功能的地下管线测绘系统;并运用管道测绘算法对读取的数据进行解算,最终得到测量管道的三维轨迹。所设计的系统以STM32芯片为核心主控,实现对MEMS陀螺仪高速数据的完整接收以及里程信息的同步测量,运用MEMS-惯性测量单元(IMU)/里程计/不完全约束的组合定位算法对读取的数据进行导航解算,最终实现310 m长度管道的定位误差在0.15%以内。 展开更多

关键词 管道测绘 微机电系统(MEMS)陀螺仪 STM32芯片 里程计

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具有扇区输入非线性的三轴MEMS陀螺仪鲁棒自适应控制 被引量：2

4

作者 王伟 赵清 +1 位作者 王犇 隋俊杰 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 北大核心 2014年第12期2504-2509,共6页

微机电系统(micro-electro-mechanic system,MEMS)陀螺仪在制造和应用过程中会受到系统参数不确定、外界干扰和力电换能器非线性效应的影响,降低MEMS陀螺仪的检测精度。提出一种基于增益自适应的滑模控制策略对MEMS陀螺仪3个轴向轨迹进... 微机电系统(micro-electro-mechanic system,MEMS)陀螺仪在制造和应用过程中会受到系统参数不确定、外界干扰和力电换能器非线性效应的影响,降低MEMS陀螺仪的检测精度。提出一种基于增益自适应的滑模控制策略对MEMS陀螺仪3个轴向轨迹进行控制,采用一种基于时变死区技术的积分自适应律估计参数不确定和干扰的上界以避免估计发散,选择合适的控制律消除非线性扇区输入的影响,实现陀螺3个轴向的轨迹跟踪指定的参考运动,从而提高检测精度。最后利用Lyapunov直接法证明了闭环误差系统的渐近稳定性和所有信号的有界性。仿真结果表明了该策略的有效性。 展开更多

关键词 微机电系统陀螺仪 滑模控制 扇区输入非线性 轨迹跟踪

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基于相位自校正的MEMS陀螺仪温度补偿方法 被引量：1

5

作者 林跃杉 尹韬 +1 位作者 吴焕铭 杨海钢 《传感器与微系统》 CSCD 2018年第6期15-17,21,共4页

针对开环检测模式,提出了一种基于相位自校正的微机电系统(MEMS)陀螺仪温度补偿方法。在对补偿方法进行了MATLAB行为级仿真后,利用单片机电路实现并联合MEMS陀螺仪进行了测试验证。结果表明:利用所提方法进行温度补偿后,偏置的温度灵敏... 针对开环检测模式,提出了一种基于相位自校正的微机电系统(MEMS)陀螺仪温度补偿方法。在对补偿方法进行了MATLAB行为级仿真后,利用单片机电路实现并联合MEMS陀螺仪进行了测试验证。结果表明:利用所提方法进行温度补偿后,偏置的温度灵敏度由1.93°/h/℃下降到了0.01°/h/℃。 展开更多

关键词 微机电系统陀螺仪 相位改正 温度补偿

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基于蒙特卡洛仿真的MEMS陀螺仪可靠度分析 被引量：1

6

作者 许高斌 徐礼建 +2 位作者 余智 马渊明 陈兴 《合肥工业大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2021年第1期61-66,88,共7页

文章基于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)陀螺仪的工作原理,从灵敏度的角度提出频率匹配失效数学模型,针对MEMS陀螺仪中的典型结构微悬臂梁,给出微悬臂梁的黏附失效数学模型;基于蒙特卡洛仿真,利用Matlab软件分别对2... 文章基于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)陀螺仪的工作原理,从灵敏度的角度提出频率匹配失效数学模型,针对MEMS陀螺仪中的典型结构微悬臂梁,给出微悬臂梁的黏附失效数学模型;基于蒙特卡洛仿真,利用Matlab软件分别对2个模型进行可靠度计算,并考虑了温度对频率匹配失效的影响以及湿度对黏附失效的影响;对模型中随机变量的偏移作敏感性分析,讨论随机变量变化对可靠度的影响。结果表明,L型内外梁的宽度与厚度、长梁长度等参数变化对频率匹配的影响巨大,增加微悬臂梁的厚度、减小长度,降低材料单位面积的黏附能,都可提高微悬臂梁黏附失效可靠度。 展开更多

关键词 可靠度 微机电系统(MEMS)陀螺仪 敏感性分析 蒙特卡洛仿真

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基于MEMS陀螺仪谐振梁的不确定度分析 被引量：1

7

作者 李敏 曹乐 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第12期139-142,共4页

基于一种微机电系统(MEMS)陀螺仪谐振梁的振动模型,通过采用不确定度分析方法,分析了非线性振动系统下结构参数对等效固有频率的影响。建立基于样本的随机采样模型,将谐振梁的结构尺寸确定为模型的输入参数,采用蒙特卡洛采样方法对输入... 基于一种微机电系统(MEMS)陀螺仪谐振梁的振动模型,通过采用不确定度分析方法,分析了非线性振动系统下结构参数对等效固有频率的影响。建立基于样本的随机采样模型,将谐振梁的结构尺寸确定为模型的输入参数,采用蒙特卡洛采样方法对输入参数的取值进行随机抽样,并分析所选样本的收敛性。同时,量化分析各输入参数对等效固有频率的影响程度,从而获得影响谐振梁性能的关键性因素。上述结果可为MEMS陀螺仪敏感结构的设计及优化提供参考。 展开更多

关键词 微机电系统陀螺仪 不确定度分析 谐振梁 结构参数 随机模型

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基于Allan方差的MEMS陀螺仪随机误差辨识与抑制 被引量：17

8

作者 马群 王庆 +1 位作者 阳媛 盛浩 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第6期62-65,共4页

为了提高某型微机电系统(MEMS)陀螺仪输出精度,静态采集该型MEMS陀螺仪原始数据,通过Allan方差分析法,对陀螺仪随机误差成分进行辨识;以z轴输出为例,利用时间序列分析法,建立其随机误差的自回归滑动平均(ARMA)模型。根据拟合后的模型参... 为了提高某型微机电系统(MEMS)陀螺仪输出精度,静态采集该型MEMS陀螺仪原始数据,通过Allan方差分析法,对陀螺仪随机误差成分进行辨识;以z轴输出为例,利用时间序列分析法,建立其随机误差的自回归滑动平均(ARMA)模型。根据拟合后的模型参数设计卡尔曼滤波器,对原始数据进行滤波处理,再对预滤波后的数据进行Allan方差分析。结果表明:滤波后的量化噪声、角度随机游走、零偏不稳定性误差系数分别减小了2. 8%,19. 8%和8. 1%。卡尔曼滤波器能够有效抑制MEMS陀螺仪的随机误差,提高输出精度。 展开更多

关键词 微机电系统(MEMS)陀螺仪 随机误差 ALLAN方差 自回归滑动平均模型 卡尔曼滤波

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Kalman滤波在MEMS陀螺仪测量船舶回转率中的应用 被引量：2

9

作者 宰德广 周岗 +1 位作者 陈永冰 李文魁 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2021年第3期157-160,共4页

针对实验室条件下微机电系统(MEMS)陀螺仪测得的船舶回转率数据波动较大的问题,对采集到的原始信号进行平均滤波和校正零偏等预处理,再利用设计的Kalman滤波器实现进一步滤波,实验发现船舶回转率发生变化的情况下,Kalman滤波器响应滞后... 针对实验室条件下微机电系统(MEMS)陀螺仪测得的船舶回转率数据波动较大的问题,对采集到的原始信号进行平均滤波和校正零偏等预处理,再利用设计的Kalman滤波器实现进一步滤波,实验发现船舶回转率发生变化的情况下,Kalman滤波器响应滞后不再适用,在此基础上改进并提出了一种简单有效的自适应Kalman滤波方法。经实验验证:所设计的自适应Kalman滤波器是有效可行的,能够在实现数据滤波的同时较好地满足动态性能。 展开更多

关键词 微机电系统(MEMS)陀螺仪 船舶回转率 平均滤波 KALMAN滤波 自适应Kalman滤波

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MEMS陀螺仪随机误差的动态辨识 被引量：12

10

作者 沈强 刘洁瑜 +1 位作者 王杰飞 赵晗 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2014年第6期945-948,共4页

针对经典Allan方差在分析和定量描述微机电系统(MEMS)陀螺仪噪声项时存在的问题,提出将动态Allan方差用于MEMS陀螺仪输出信号分析并加以改进。根据Allan方差的原理,实现误差项系数的动态辨识,得到各类型误差随时间的变化规律。普通最小... 针对经典Allan方差在分析和定量描述微机电系统(MEMS)陀螺仪噪声项时存在的问题,提出将动态Allan方差用于MEMS陀螺仪输出信号分析并加以改进。根据Allan方差的原理,实现误差项系数的动态辨识,得到各类型误差随时间的变化规律。普通最小二乘法求解误差系数时存在个别为负的问题,因此,将非线性最优化的单纯形法用于方差曲线的拟合。实验结果表明,改进后的方法不仅能准确描述数据的噪声量值,还能反映信号的频率稳定性和误差项的变化特征。 展开更多

关键词 微机电系统(MEMS)陀螺仪 动态Allan方差 随机误差 信号处理 单纯形法

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微半球谐振陀螺仪的模态主轴方位角测算方法 被引量：2

11

作者 吕骞 丁徐锴 +2 位作者 陈鹤 贾佳 李宏生 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2021年第9期117-120,共4页

由于微半球谐振子吹制过程存在严重加工误差,将导致谐振子结构误差,进而导致微半球谐振子工作模态发生频率裂解和模态主轴轴向偏转,影响了陀螺仪的性能。而模态主轴方位角反映了谐振子的结构误差所在角度,可指导微谐振子结构误差研究和... 由于微半球谐振子吹制过程存在严重加工误差,将导致谐振子结构误差,进而导致微半球谐振子工作模态发生频率裂解和模态主轴轴向偏转,影响了陀螺仪的性能。而模态主轴方位角反映了谐振子的结构误差所在角度,可指导微谐振子结构误差研究和机械修调。本文从理想谐振子通用运动方程出发,推导了微半球谐振子误差模型,据此提出了一种可以通过电扫频所得数据计算微半球谐振子频率主轴方位角的方法。选择了两个Q值为1930和13390的微半球谐振子进行实验,得到二者的模态主轴方位角分别为30.36°和34.75°。最后通过仿真确定所提方法测得的模态主轴方位角有效。 展开更多

关键词 微半球 微机电系统(MEMS)振动陀螺仪 主轴方位角 频率误差 误差模型

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MEMS振动陀螺仪AGC回路模型线性化与控制器设计 被引量：3

12

作者 邢博文 丁徐锴 李宏生 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第11期65-68,共4页

针对微机电系统(MEMS)振动陀螺仪驱动模态自动增益控制(AGC)回路非线性、控制器设计难的问题,提出了在平衡点处将系统进行线性化并利用经典频域分析进行控制器设计的方法。利用包络传递函数建立了一种无需乘法器的AGC模型。通过谐波分... 针对微机电系统(MEMS)振动陀螺仪驱动模态自动增益控制(AGC)回路非线性、控制器设计难的问题,提出了在平衡点处将系统进行线性化并利用经典频域分析进行控制器设计的方法。利用包络传递函数建立了一种无需乘法器的AGC模型。通过谐波分析的方法将简化的AGC环路模型在平衡点处进一步线性化。利用线性系统经典的频域分析法进行控制器的设计。仿真与实验验证了模型线性化过程的正确性以及所提出的控制器设计方法的有效性。 展开更多

关键词 微机电系统(MEMS)振动陀螺仪 自激驱动 自动增益控制(AGC) 控制器设计

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BPNN辅助KF的MEMS陀螺仪数据处理方法 被引量：7

13

作者 段志强 刘洁瑜 +2 位作者 汪立新 李新三 沈强 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第2期284-288,共5页

针对微机电系统(MEMS)陀螺仪数据误差建模不精确或无法给出模型的情况,提出了误差反馈(BP)神经网络辅助卡尔曼滤波对陀螺仪数据进行降噪处理的方法。分析卡尔曼滤波器的系统噪声方差Q矩阵可知,当模型不精确时可通过Q补偿。基于BP神经网... 针对微机电系统(MEMS)陀螺仪数据误差建模不精确或无法给出模型的情况,提出了误差反馈(BP)神经网络辅助卡尔曼滤波对陀螺仪数据进行降噪处理的方法。分析卡尔曼滤波器的系统噪声方差Q矩阵可知,当模型不精确时可通过Q补偿。基于BP神经网络优化Q值原理,首先把采集到的MEMS陀螺仪数据输入卡尔曼滤波器得到Q;再把新息、滤波增益、量测噪声方差输入神经网络,把Q作为神经网络的输出,神经网络优化系统噪声协方差矩阵得到Q*;最后将Q*作为卡尔曼滤波算法系统噪声方差矩阵。实验结果表明,在建模不精确的情况下该方法也能有效提高陀螺仪的精度。 展开更多

关键词 微机电系统(MEMS)陀螺仪 数据处理 误差建模 卡尔曼滤波 BP神经网络

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改进的MEMS陀螺随机噪声自适应滤波算法 被引量：13

14

作者 唐晓红 赵鲁阳 +2 位作者 李鲁明 何为 王沛 《传感器与微系统》 CSCD 2018年第10期133-136,共4页

针对微机电系统(MEMS)陀螺仪随机噪声建模时,自回归滑动平均(ARMA)模型中有色噪声白化问题,提出了将有色噪声作为系统状态方程控制项,以改进解耦自适应Kalman滤波算法,从而提高MEMS陀螺仪的噪声补偿效果。实验结果表明:经改进算法滤波后... 针对微机电系统(MEMS)陀螺仪随机噪声建模时,自回归滑动平均(ARMA)模型中有色噪声白化问题,提出了将有色噪声作为系统状态方程控制项,以改进解耦自适应Kalman滤波算法,从而提高MEMS陀螺仪的噪声补偿效果。实验结果表明:经改进算法滤波后,MEMS陀螺仪噪声均方差减小85.1%,随机误差项减小41.9%;与标准Kalman滤波算法、解耦自适应Kalman滤波算法相比,改进算法的随机误差项分别减小30.5%,10.1%,能更好地降低MEMS陀螺仪随机噪声。 展开更多

关键词 微机电系统陀螺仪 自回归滑动平均模型 ALLAN方差 KALMAN滤波 自适应滤波

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MEMS陀螺芯片的晶圆级真空封装 被引量：2

15

作者 刘福民 张乐民 +2 位作者 张树伟 刘宇 王学锋 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第1期15-18,23,共5页

微机电系统(MEMS)陀螺需要真空封装以确保其检测精度,晶圆级真空封装可以使MEMS微结构避免芯片切割过程中的粘连以及颗粒污染,提高芯片的成品率。为实现MEMS陀螺芯片的晶圆级真空封装,提出了一种全硅MEMS陀螺芯片的晶圆级真空封装结构方... 微机电系统(MEMS)陀螺需要真空封装以确保其检测精度,晶圆级真空封装可以使MEMS微结构避免芯片切割过程中的粘连以及颗粒污染,提高芯片的成品率。为实现MEMS陀螺芯片的晶圆级真空封装,提出了一种全硅MEMS陀螺芯片的晶圆级真空封装结构方案,并突破了Si-SiO_(2)直接键合、吸气剂制备、金-硅(Au-Si)键合等关键技术,实现了MEMS芯片的晶圆级真空封装。Si-SiO_(2)直接键合和Au-Si共晶键合的剪切强度分别达到了56.5 MPa和35.5 MPa,表明晶圆级封装中晶圆键合强度满足晶圆级真空封装的需要。晶圆级真空封装实现陀螺仪谐振最大Q值为103879,对应的真空压力为2 Pa左右,陀螺仪芯片已达到MEMS陀螺工程化的需要。 展开更多

关键词 晶圆级真空封装 微机电系统陀螺仪 硅-二氧化硅直接键合 金-硅键合 吸气剂

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联合滤波算法在MEMS陀螺降噪中的应用 被引量：4

16

作者 彭关龙 陈科 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第3期154-157,共4页

针对微机电系统(MEMS)陀螺仪输出噪声大、精度低的问题,提出将卡尔曼(Kalman)阵列与实时小波阈值联合滤波方法用于MEMS陀螺降噪中。首先,利用Kalman阵列进行预处理,然后利用实时小波阈值算法对信号进行后处理,以达到对陀螺随机噪声抑制... 针对微机电系统(MEMS)陀螺仪输出噪声大、精度低的问题,提出将卡尔曼(Kalman)阵列与实时小波阈值联合滤波方法用于MEMS陀螺降噪中。首先,利用Kalman阵列进行预处理,然后利用实时小波阈值算法对信号进行后处理,以达到对陀螺随机噪声抑制的目的。将此算法应用在MEMS陀螺的动静态实验中,实验结果表明:在静态实验中,所提算法在陀螺噪声方差上降低了近45倍,效果明显优于Kalman阵列和实时小波阈值滤波方法;在动态实验中,所提算法在陀螺噪声方差上降低了5倍,相较于Kalman阵列、实时小波阈值滤波算法,噪声方差分别减少了60.1%,37.1%。 展开更多

关键词 微机电系统陀螺仪 卡尔曼阵列 实时小波 联合滤波

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基于提升小波的MEMS陀螺去噪方法研究 被引量：11

17

作者 刘宇 贺涛 +2 位作者 段耀宇 李静 曾燎燎 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期359-361,364,共4页

微机电系统(MEMS)陀螺的随机漂移误差是传感器的主要误差,传统硬、软阈值去噪法在去噪效果和实时性方面存在不足。该文从提升小波变换的基本理论出发,分析了提升小波阈值去噪原理,提出了基于提升小波的改进阈值去噪算法,并结合MEMS陀螺... 微机电系统(MEMS)陀螺的随机漂移误差是传感器的主要误差,传统硬、软阈值去噪法在去噪效果和实时性方面存在不足。该文从提升小波变换的基本理论出发,分析了提升小波阈值去噪原理,提出了基于提升小波的改进阈值去噪算法,并结合MEMS陀螺输出数据,并对硬、软阈值去噪法与改进阈值去噪法的仿真实验进行比较分析。仿真结果表明,改进阈值去噪法获得了更高的信噪比83.532 7dB,其去噪效果明显优于硬、软阈值,且运算速度较快,更适合实际运用。 展开更多

关键词 微机电系统(MEMS)陀螺仪 提升小波 改进阈值 去噪

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基于优化KF的MEMS陀螺阵列信号融合方法 被引量：12

18

作者 刘洁瑜 沈强 +1 位作者 李灿 秦伟伟 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 北大核心 2016年第12期2705-2710,共6页

针对微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)陀螺仪准确度低、噪声大的问题,采用陀螺阵列技术降噪以提高陀螺的使用精度。采用Allan方差法分析陀螺信号误差噪声项,依据分析结果对测量模型进行了简化,利用噪声相关性设计了一... 针对微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)陀螺仪准确度低、噪声大的问题,采用陀螺阵列技术降噪以提高陀螺的使用精度。采用Allan方差法分析陀螺信号误差噪声项,依据分析结果对测量模型进行了简化,利用噪声相关性设计了一种卡尔曼滤波器(Kalman filter,KF)对陀螺阵列进行数据融合,并对最优估计过程进行了改进,降低了数据处理的复杂度和计算量,同时从理论上分析了各参数对阵列性能的影响。为提高滤波器的动态性能,将自回归(autoregressive,AR)模型应用于陀螺真实角速率的建模。采用6个陀螺构成的阵列进行了验证实验。实验结果表明:与单个陀螺相比,陀螺阵列的噪声在静态条件下降低了144.2倍,在恒速率和正弦速率条件下噪声分别降低了18.18倍和5.36倍,证明了此建模方法和融合方法的有效性。 展开更多

关键词 微机电系统陀螺仪 陀螺阵列 自回归模型 数据融合 卡尔曼滤波

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MEMS陀螺混合误差标定方法研究 被引量：3

19

作者 龚大伟 刘宇 +2 位作者 钟懿 向高林 吕玲 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期298-303,共6页

微机电系统(MEMS)陀螺仪具有尺寸小,可靠性强的特点,已广泛应用于各种微姿态仪中,而陀螺的安装误差是影响姿态仪输出精度的主要因素之一。现有的陀螺安装误差模型是建立在确定的刻度因子和零偏基础上,但实际应用中,陀螺的刻度因子存在误... 微机电系统(MEMS)陀螺仪具有尺寸小,可靠性强的特点,已广泛应用于各种微姿态仪中,而陀螺的安装误差是影响姿态仪输出精度的主要因素之一。现有的陀螺安装误差模型是建立在确定的刻度因子和零偏基础上,但实际应用中,陀螺的刻度因子存在误差,且零偏随温度和转速发生变化。该文提出了一种改进的误差标定和补偿方法,并针对模型中MEMS的零偏温度和转速非线性误差问题,运用BP神经网络,实现了模型零偏动态补偿。实验表明,采用该文提出的标定方法,陀螺的角速率误差由1.5(°)/s提高至0.05(°)/s。验证了标定方法的可行性。 展开更多

关键词 BP神经网络 微机电系统(MEMS)陀螺仪 安装误差 零偏补偿 温度 转速

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一种新的MEMS陀螺温度误差建模与补偿方法 被引量：6

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作者 孙田川 刘洁瑜 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期136-139,共4页

为了减少温度对微机电系统(MEMS)陀螺仪测量精度的影响,改进了一种不需要测量温度的MEMS陀螺温度误差建模与补偿方法。该方法首先通过多项式拟合得到MEMS陀螺全温区零偏与温度的多项式模型,并根据最小二乘法原理确定模型阶数,然后通过... 为了减少温度对微机电系统(MEMS)陀螺仪测量精度的影响,改进了一种不需要测量温度的MEMS陀螺温度误差建模与补偿方法。该方法首先通过多项式拟合得到MEMS陀螺全温区零偏与温度的多项式模型,并根据最小二乘法原理确定模型阶数,然后通过分析温度对驱动轴相位的影响,得到驱动轴相位的温度模型,最后得到零偏与驱动轴相位的多项式拟合模型并针对该模型对陀螺零偏进行补偿。实验结果表明,该方法能降低温度造成的陀螺误差,提高MEMS陀螺的使用精度。 展开更多

关键词 微机电系统(MEMS)陀螺仪 零偏 多项式拟合 驱动轴相位 温度补偿

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