微机电系统技术 被引量：6

1

作者 周兆英 叶雄英 +3 位作者 唐飞 朱俊华 汤扬华 卜敏强 《电子产品世界》 1999年第5期19-21,共3页

关键词 微机电系统技术 IC MEMS 模型

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射频微机电系统技术现状 被引量：10

2

作者 金铃 《微波学报》 CSCD 北大核心 2005年第6期58-65,共8页

较全面地介绍了 RF MEMS 器件、由 RF 器件构成的组件及应用系统,并给出了一些新的典型示例。通过比较 RF MEMS 器件与传统微波器件在性能、尺寸等各方面的差别,可以了解 RF MEMS 技术在相控阵雷达上运用的优势。

关键词 微机电系统技术 射频微机电系统 微机电系统器件

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基于微机电系统技术的微推进器发展简析 被引量：4

3

作者 姚保寅 李辉 +1 位作者 许红英 孙棕檀 《国际太空》 2016年第3期23-26,共4页

1发展需求 随着微小卫星技术的发展和应用领域的不断扩大，对微推进系统提出了越来越迫切的需求。由于微小卫星具有体积小、质量轻、转动惯量小等特点，为精确实现其轨道调整、引力补偿、位置保持、轨道机动和姿态控制等操作，必须开... 1发展需求 随着微小卫星技术的发展和应用领域的不断扩大，对微推进系统提出了越来越迫切的需求。由于微小卫星具有体积小、质量轻、转动惯量小等特点，为精确实现其轨道调整、引力补偿、位置保持、轨道机动和姿态控制等操作，必须开发出具有高集成度、低功耗、小推力和微冲量等特点的微推进器。 展开更多

关键词 微推进器 微机电系统技术 微小卫星技术 推进系统 转动惯量 轨道调整 位置保持 姿态控制

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微机电系统技术及其在卫星中的应用 被引量：2

4

作者 王晓海 《中国航天》 北大核心 2007年第3期35-38,共4页

一、微机电系统（MEMS）技术概述 MEMS技术的术语近几年来不仅在传感器技术、测控技术和微电子技术领域频繁出现，也在航天技术领域中不断出现。微机电系统是微电子技术的拓宽和延伸。它将微电子技术和精密机械加工技术相互融合，实现... 一、微机电系统（MEMS）技术概述 MEMS技术的术语近几年来不仅在传感器技术、测控技术和微电子技术领域频繁出现，也在航天技术领域中不断出现。微机电系统是微电子技术的拓宽和延伸。它将微电子技术和精密机械加工技术相互融合，实现了微电子与机械融为一体的系统。具体来说，微机电系统是专指外形轮廓尺寸在毫米量级以下，构成它的机械零件和半导体元器件尺寸在微米至纳米量级（10^-6～10^-9m），可对声、光、热、磁、运动等自然信息进行感知、识别、控制和处理的微型机电装置。它是正在飞速发展的微米和纳米技术的一项十分重要的成果。它将微型电机、微型电路、微型传感器、微型执行器等微型装置和器件集成在硅片上，不仅能收集、处理与发送信息或指令，还能按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。 展开更多

关键词 微机电系统技术 微电子技术 MEMS技术 机械加工技术 应用 卫星 器件尺寸 微型电机

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微机电系统技术及其在卫星中的应用

5

作者 王晓海 刘彦儒 《卫星电视与宽带多媒体》 2006年第20期32-34,共3页

关键词 微机电系统技术 微电子机械系统 微电子技术 Systems 应用 卫星 机械加工技术 传感器技术

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用于MEMS微镜激光跟瞄的扩角镜头研究

6

作者 张鹏程 汪洋 +7 位作者 李安娜 黄昊 张程 张家昌 张永贵 王栎皓 刘艺晨 武震宇 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第1期120-130,共11页

MEMS微镜是小型化激光跟瞄系统的关键组件。系统通过控制MEMS微镜使激光偏转,并由光电探测器收集信号,可以实现对目标的稳定跟踪和瞄准。然而MEMS准静态微镜的扫描视场角较小,这限制了对目标的大视场跟踪能力。为了解决MEMS微镜扫描视... MEMS微镜是小型化激光跟瞄系统的关键组件。系统通过控制MEMS微镜使激光偏转,并由光电探测器收集信号,可以实现对目标的稳定跟踪和瞄准。然而MEMS准静态微镜的扫描视场角较小,这限制了对目标的大视场跟踪能力。为了解决MEMS微镜扫描视场较小的问题,基于伽利略扩角光路,针对小型化、后扫描光路、易加工等需求,设计了一款小型化跟瞄扩角镜头。首先,采用光束发散角和高斯拟合误差等指标,结合光束质量分析仪,对比了激光在扩角前后的光束质量,分析了扩角镜头对光束质量的影响;其次,基于搭建的扩角镜头表征装置,对比理论计算与仿真模型,分析了扩角结果;最后,结合MEMS准静态微镜和扩角镜头,对比了扩角前后的激光扫描图案。实验结果表明:设计的扩角镜头具有约2.88倍的扩角放大率,扩角线性度小于0.7%,且扩角前后激光光束质量无明显变化,扩角后发散全角控制在2 mrad以内。该项研究成果有助于推动小型化MEMS微镜激光跟踪瞄准系统的性能提升。 展开更多

关键词 压电微镜 微机电系统技术 激光跟踪瞄准 扩角镜头 伽利略光路

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基于有限元模拟的微电磁继电器的结构优化设计与研究

7

作者 冯波 栗保明 《火炮发射与控制学报》 北大核心 2022年第5期66-71,共6页

由于微机电系统(MEMS)技术的迅猛发展,以此为基础的微电磁继电器的应用前景也越来越广阔。为使微电磁继电器的结构进一步优化,基于已有的微电磁继电器的研究,提出了微电磁继电器的结构模型并建立了相应的仿真模型,通过ANSYS有限元模拟软... 由于微机电系统(MEMS)技术的迅猛发展,以此为基础的微电磁继电器的应用前景也越来越广阔。为使微电磁继电器的结构进一步优化,基于已有的微电磁继电器的研究,提出了微电磁继电器的结构模型并建立了相应的仿真模型,通过ANSYS有限元模拟软件,对微电磁继电器的关键组成部分平面磁芯线圈所产生的电磁场的分布和活动电极(衔铁)在线圈电磁感应产生的电磁场中所受电磁力情况进行仿真计算,以及受力应变进行分析,得到影响微电磁继电器结构设计的重要考虑因素,比如电流激励、活动间隙等,总结出结构设计依据,对未来微电磁继电器结构的进一步优化具有一定的参考意义。 展开更多

关键词 微机电系统技术 微电磁继电器 仿真计算 电流激励 有限元模拟

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基于二极管电爆炸的单触发开关导通机理 被引量：2

8

作者 徐聪 胡博 +2 位作者 朱朋 叶迎华 沈瑞琪 《含能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期465-472,I0005,共9页

采用磁控溅射、紫外光刻、化学气相沉积等微机电加工技术,制备了基于Schottky结二极管和p-n结二极管的两种单触发开关,分析了无负载时它们的放电特性,两种开关在0.22μF/1500V、0.22μF/1200V下达至2000A左右的峰值电流。研究了触发电... 采用磁控溅射、紫外光刻、化学气相沉积等微机电加工技术,制备了基于Schottky结二极管和p-n结二极管的两种单触发开关,分析了无负载时它们的放电特性,两种开关在0.22μF/1500V、0.22μF/1200V下达至2000A左右的峰值电流。研究了触发电容容值、触发电压、主电压、绝缘层厚度和双二极管并联结构对导通性能的影响,发现随着触发电容容值的增加,最小触发电压逐渐降低;减小绝缘层厚度、提高触发电压和主电压,均有利于峰值电流的升高;双二极管并联作为触发元件时,峰值电流比基于单个二极管的单触发开关更高,上升时间更短。根据单触发开关的放电特性曲线,将其作用过程划分为二极管电爆炸、绝缘介质层击穿和脉冲大电流上升三个阶段,阐明了各阶段的作用机制,建立了相应的电阻模型,结果表明单触发开关的电阻可以视为常数,并且阻值在毫欧级。 展开更多

关键词 高压开关 单次触发 二极管电爆炸 导通机理 电阻模型 微机电系统加工技术

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340GHz太赫兹返波振荡器 被引量：11

9

作者 冯进军 唐烨 +4 位作者 李含雁 刘京恺 蔡军 胡银富 邬显平 《太赫兹科学与电子信息学报》 2013年第1期32-37,共6页

介绍太赫兹返波振荡器的发展,重点对340 GHz返波振荡器的设计、模拟和微细加工等研究工作进行了详细介绍。采用平行流电子枪、均匀永磁聚焦系统和折叠波导慢波结构来实现340 GHz返波振荡器,计算和模拟结果表明,当调谐电压14 kV^16.2 kV... 介绍太赫兹返波振荡器的发展,重点对340 GHz返波振荡器的设计、模拟和微细加工等研究工作进行了详细介绍。采用平行流电子枪、均匀永磁聚焦系统和折叠波导慢波结构来实现340 GHz返波振荡器,计算和模拟结果表明,当调谐电压14 kV^16.2 kV,工作电流8 mA时,在337 GHz^347 GHz的频率范围内可得到10 mW输出功率。高频结构加工采用UV LIGA技术,已经加工出高频结构样品,并对真空环境应用做了研究,以保证较小的表面粗糙度,减小高频率情况下的射频损耗。 展开更多

关键词 太赫兹 真空器件 返波振荡器 微机电系统技术 LIGA技术

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近太赫兹频段线性注真空器件的研究 被引量：7

10

作者 冯进军 蔡军 +5 位作者 胡银富 李含雁 杜英华 唐烨 李莉莉 潘攀 《太赫兹科学与电子信息学报》 2015年第5期684-690,706,共8页

介绍了太赫兹频段真空电子器件的研究和开发进展,包括慢波结构理论、设计、模拟及优化,微加工和微组装技术,整管技术等。这些器件包括行波管、返波管、斜注管、止带振荡器及行波管谐波放大器等,高频结构以折叠波导慢波结构为主,在太赫... 介绍了太赫兹频段真空电子器件的研究和开发进展,包括慢波结构理论、设计、模拟及优化,微加工和微组装技术,整管技术等。这些器件包括行波管、返波管、斜注管、止带振荡器及行波管谐波放大器等,高频结构以折叠波导慢波结构为主,在太赫兹返波管中则利用叶片加载波导慢波结构。器件技术包括微机电系统(MEMS)技术,微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石生长、金属化和封接技术等。最后给出W波段、G波段以及340 GHz部件和器件所达到的性能。 展开更多

关键词 太赫兹 行波管 返波管 微机电系统技术 金刚石

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声表面波MEMS器件的设计和制作工艺 被引量：2

11

作者 高爱华 鲍帅 刘欢 《西安工业大学学报》 CAS 2012年第10期785-788,810,共5页

为了探索声表面波器件制作工艺,在压电器件工作原理的基础上,通过设计声表面波器件的工作频率、叉指宽度、间隙及对数等器件参数,绘制了掩模板,对制作的声表面波器件进行测试,制作了不同叉指对数、孔径长度、中心距离的电极.实验结果表... 为了探索声表面波器件制作工艺,在压电器件工作原理的基础上,通过设计声表面波器件的工作频率、叉指宽度、间隙及对数等器件参数,绘制了掩模板,对制作的声表面波器件进行测试,制作了不同叉指对数、孔径长度、中心距离的电极.实验结果表明:以石英为基底,使用EPG533型光刻胶在前烘温度为105℃,曝光时间为8s,显影时间为50s时获得了较理想电极图形和稳定的实验参数. 展开更多

关键词 声表面波 微机电系统技术 器件制作 器件测试

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卫星激光通信MEMS快速反射镜可靠性研究进展 被引量：5

12

作者 朱伟鸿 汪洋 +2 位作者 王栎皓 刘艺晨 武震宇 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第9期222-234,共13页

快速反射镜(Fast Steering Mirror,FSM)具有响应快、精度高、分辨率高等优势,被广泛应用于卫星激光通信、超分辨率成像、高精度激光瞄准等领域,是捕获、跟踪和瞄准(Acquisition Tracking and Pointing,ATP)系统中的核心部件。传统快反... 快速反射镜(Fast Steering Mirror,FSM)具有响应快、精度高、分辨率高等优势,被广泛应用于卫星激光通信、超分辨率成像、高精度激光瞄准等领域,是捕获、跟踪和瞄准(Acquisition Tracking and Pointing,ATP)系统中的核心部件。传统快反镜主要由压电陶瓷和音圈电机驱动,而基于微机电(Micro Electro Mechanical System,MEMS)技术制备的快反镜具有小型化及批量化等优势,是技术发展的趋势,但其应用于卫星激光通信领域的可靠性尚未进行全面论证。文中介绍了快反镜的工作原理、环境适应性要求以及国内外快反镜的可靠性水平,结合致动原理和结构分析了现有快反镜的失效机理、评估方法和可靠性加固技术,最后指出了高可靠性快反镜的结构和加固技术发展方向,并通过综合分析与仿真验证了MEMS快反镜应用于卫星激光通信的可行性。 展开更多

关键词 卫星激光通信 快速反射镜 微机电系统技术 环境适应性 可靠性

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大日本网屏收购美国Silicon Light Machines公司

13

《中国印刷》 2008年第8期108-108,共1页

大日本网屏制造株式会社最近宣布已完成对Silicon Light Machines公司的收购（“SLM”，总部位于美国加利福尼亚州圣何西市）。SLM是一家研发微机电系统技术（MEMS）及设备的企业，将作为网屏集团的新成员开展所有的商业事务。

关键词 SILICON LIGHT 网屏 美国 收购 日本 微机电系统技术 加利福尼亚州

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