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新的鲁棒滤波算法及在微机电系统-惯性导航系统/全球定位系统中应用 被引量:6
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作者 石静 缪玲娟 倪茂林 《控制理论与应用》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期305-309,共5页
为了提高系统对不确定干扰的鲁棒性并保持较高的精度,提出一种新的鲁棒滤波算法.当系统满足可检测和可镇定的条件时,通过引入适当的滤波增益矩阵,得到指数稳定的滤波器,从而将不确定干扰对估计误差的影响限制在给定的范围内,实现鲁棒性... 为了提高系统对不确定干扰的鲁棒性并保持较高的精度,提出一种新的鲁棒滤波算法.当系统满足可检测和可镇定的条件时,通过引入适当的滤波增益矩阵,得到指数稳定的滤波器,从而将不确定干扰对估计误差的影响限制在给定的范围内,实现鲁棒性和精度的要求.用微机电系统–惯性导航系统/全球定位系统组合导航系统中得到的试验数据对该算法进行离线验证,试验结果表明,新算法的计算量较小,并且在有不确定噪声干扰的情况下能使系统保持较高的精度. 展开更多
关键词 组合导航 惯性导航系统 微机系统 鲁棒滤波
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谐振敏感式低噪声压电微机电系统水听器
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作者 葛宣佐 朴胜春 +4 位作者 张强 雷亚辉 龚李佳 王大成 陈丽洁 《哈尔滨工程大学学报》 北大核心 2025年第8期1660-1668,共9页
针对水下无人平台低噪声高灵敏探测需求,本文提出基于目标频谱特征信息的谐振敏感检测思想。利用水听器在谐振频率处具有高灵敏的特点,根据水下目标的频域特征信息设计水听器敏感结构。本文研制了谐振敏感式压电微机电系统芯片和水听器... 针对水下无人平台低噪声高灵敏探测需求,本文提出基于目标频谱特征信息的谐振敏感检测思想。利用水听器在谐振频率处具有高灵敏的特点,根据水下目标的频域特征信息设计水听器敏感结构。本文研制了谐振敏感式压电微机电系统芯片和水听器样机,并进行了实验测试。所设计水听器样机在谐振频率处实现了高灵敏响应(-146 dB@12 kHz(Re.1V/μPa)和-138 dB@4 kHz(Re.1V/μPa))和远低于knudsen零级海况的自噪声水平(M5#样机在谐振频率处等效噪声声压谱密度级22.03 dB@4 kHz(Re.1μPa/Hz))。本文所提出的基于目标特征信息的谐振敏感检测思想为水下目标检测提供了思路。 展开更多
关键词 谐振敏感 微机系统 水听器 低噪声 敏感结构设计 水下目标 频谱特征 零级海况
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压电微机电系统水下特征信息检测传感微系统
3
作者 朴胜春 雷亚辉 +4 位作者 张强 葛宣佐 李德勇 金奇峰 陈丽洁 《哈尔滨工程大学学报》 北大核心 2025年第8期1635-1643,1684,共10页
在水下信息网络应用中可有针对性地通过检测目标特定特征信息唤醒传感微系统,并通过与环境背景相关的技术方法进行特征信息有无的检测判别和特定特征信息目标的检测。本文基于水下声场频域特征水听器,研制了水下特征信息检测唤醒压电微... 在水下信息网络应用中可有针对性地通过检测目标特定特征信息唤醒传感微系统,并通过与环境背景相关的技术方法进行特征信息有无的检测判别和特定特征信息目标的检测。本文基于水下声场频域特征水听器,研制了水下特征信息检测唤醒压电微机电系统传感微系统,通过对特定特征信息的检测及特征信息组合检测实现目标检测与识别。对水下特征信息检测唤醒传感微系统样机进行了验证试验,结果表明:该传感微系统可对预设的不同目标频谱特征信息进行检测,从而在水下通讯或探测系统应用中实现对特定目标或信号的检测唤醒与驱动功能。 展开更多
关键词 近零功耗 微机系统声传感器 矢量水听器 目标声学特征 特征检测 特征识别 传感微系统 唤醒与驱动
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基于柔性微机电系统传感阵列的形变重构实验设计
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作者 王玉红 葛勇强 +1 位作者 陈家旺 金章勇 《实验室研究与探索》 北大核心 2025年第6期1-5,11,共6页
为研究柔性微机电系统(MEMS)传感阵列在海底地质变形监测中的形变重构性能,研制了MEMS传感阵列样缆,并构建其形变曲线重构模型。搭建了由实验台架、步进电动机和数据采集模块等组成的MEMS传感阵列的形变监测与重构实验系统。通过实验获... 为研究柔性微机电系统(MEMS)传感阵列在海底地质变形监测中的形变重构性能,研制了MEMS传感阵列样缆,并构建其形变曲线重构模型。搭建了由实验台架、步进电动机和数据采集模块等组成的MEMS传感阵列的形变监测与重构实验系统。通过实验获取不同状态下传感阵列形变曲线重构模型数据,结合实际形变数据的对比分析,验证了该传感阵列的形变监测与重构能力。该实验的开展能够加深学生对MEMS设计、传感器信号采集与处理等知识的理解。 展开更多
关键词 微机系统传感阵列 形变监测与重构 实验设计
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微机电惯性导航系统动基座传递对准技术研究 被引量:1
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作者 刘金梅 陶学峰 白欣 《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心 2013年第6期49-51,共3页
炸弹制导化改进过程中采用微机电惯性测量装置可以降低费用,但精度不足,动基座传递对准技术的应用可以减小微机电惯性测量装置的初始误差,提高精度。文中建立了主、子惯导系统的误差模型,设计了Kalman滤波估计器,修正了微机电惯性导航... 炸弹制导化改进过程中采用微机电惯性测量装置可以降低费用,但精度不足,动基座传递对准技术的应用可以减小微机电惯性测量装置的初始误差,提高精度。文中建立了主、子惯导系统的误差模型,设计了Kalman滤波估计器,修正了微机电惯性导航装置的姿态矩阵,使子惯导在制导炸弹发射前获得最佳的初始值,从而提高了微机电惯性测量装置的精度,保证了微机电惯性测量装置使用的可行性,为炸弹制导化改进的低成本、高精度提供了条件。 展开更多
关键词 微机惯导系统 动基座传递对准 制导炸弹 卡尔曼滤波
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一种适用于高动态强干扰环境的视觉辅助微机械捷联惯性导航系统/全球定位系统超紧组合导航系统 被引量:7
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作者 李群生 赵剡 王进达 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期2241-2249,共9页
为解决高动态、恶劣全球定位系统(GPS)环境下微机械捷联惯性导航系统(MEMSSINS)/GPS超紧组合导航系统抗干扰能力差的问题,提出一种适用于高动态强干扰环境的视觉辅助MEMS-SINS/GPS超紧组合导航系统。将双目视觉提供的姿态信息引入MEMS-S... 为解决高动态、恶劣全球定位系统(GPS)环境下微机械捷联惯性导航系统(MEMSSINS)/GPS超紧组合导航系统抗干扰能力差的问题,提出一种适用于高动态强干扰环境的视觉辅助MEMS-SINS/GPS超紧组合导航系统。将双目视觉提供的姿态信息引入MEMS-SINS/GPS超紧组合系统中,提高了平台失准角的可观测性;推导了系统的状态方程和量测方程,使用模糊控制方法对两个子滤波器的导航结果进行信息融合。通过数字仿真验证了该系统方案设计的可行性:当GPS信号受到强噪声或多径干扰造成跟踪精度下降时,双目视觉辅助MEMS-SINS/GPS超紧组合系统可以有效降低导航误差,系统位置误差和速度误差分别保持在5. 0 m和0. 5 m/s以内,有效地解决了低空飞行器在GPS信号被遮挡或干扰情况下的导航问题。 展开更多
关键词 组合导航系统 捷联惯性导航系统 全球定位系统 微机 高动态 强干扰 视觉
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微机电系统惯性电学开关的设计与制作 被引量:7
7
作者 杨卓青 丁桂甫 +2 位作者 蔡豪刚 刘瑞 赵小林 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1033-1036,共4页
基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动电极位于支撑层和弹性梁之间,该结构在保证微开关具有足够灵... 基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动电极位于支撑层和弹性梁之间,该结构在保证微开关具有足够灵敏度的同时,可有效提高两电极间的接触效果和器件的抗冲击保护。使用成本较低的多次叠层电镀镍的方法制作了设计的微型惯性开关,并对其元器件进行了试验测试,结果表明:开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.40ms和12μs,与有限元动力学仿真结果吻合较好,表现出较高的灵敏度和良好接触效果。 展开更多
关键词 非硅表面微加工 微型惯性开关 设计与制作 微机系统(MEMS)
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旋转式MEMS惯性导航系统的发展及应用 被引量:2
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作者 王思远 罗世彬 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2021年第6期5-7,15,共4页
旋转调制技术通过将惯性导航系统进行周期性的旋转,可以有效地补偿惯性传感器的常值误差,提高导航精度,因此在近些年得到广泛关注。对比分析了微机电系统(MEMS)惯性导航系统以及旋转调制技术的国内外发展现状;阐述了MEMS旋转调制方案设... 旋转调制技术通过将惯性导航系统进行周期性的旋转,可以有效地补偿惯性传感器的常值误差,提高导航精度,因此在近些年得到广泛关注。对比分析了微机电系统(MEMS)惯性导航系统以及旋转调制技术的国内外发展现状;阐述了MEMS旋转调制方案设计的关键点及发展方向。 展开更多
关键词 微机电系统惯性导航系统 旋转调制 惯性导航系统 误差补偿
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重构小波阈值的微机电系统-惯性测量单元降噪处理 被引量:9
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作者 王晓初 周思杰 +1 位作者 王义 张思华 《科学技术与工程》 北大核心 2021年第20期8509-8514,共6页
针对随机误差对微机电系统-惯性测量单元(micro electro mechanical systems-inertial measurement unit,MEMS-IMU)输出数据精度的影响,利用离散小波变换可降噪的特点,对MEMS-IMU数据进行降噪处理。在小波降噪过程中,阈值的估计以及阈... 针对随机误差对微机电系统-惯性测量单元(micro electro mechanical systems-inertial measurement unit,MEMS-IMU)输出数据精度的影响,利用离散小波变换可降噪的特点,对MEMS-IMU数据进行降噪处理。在小波降噪过程中,阈值的估计以及阈值函数的选取直接关系到降噪的质量,构建一个新的阈值函数,通过调节阈值函数中的比例因子,解决传统多重小波分解重构在降噪方面的不足。实测数据的处理结果表明:在小波降噪过程中,新的阈值函数能够有效抑制MEMS-IMU中随机误差的影响,与传统小波降噪相比,新的阈值函数降噪后,信号具有更佳的平滑度,能够有效提高捷联惯性导航系统的定位定姿精度。 展开更多
关键词 微机系统-惯性测量单元(MEMS-IMU) 离散小波变换 小波降噪 阈值函数
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基于FPGA的MEMS捷联惯性导航系统设计
10
作者 张春熹 李胜臣 +2 位作者 高爽 蔡晓雯 陈光建 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期176-179,共4页
针对石油、煤矿等特殊环境中对小型化捷联惯性导航系统的需求,设计并实现了基于现场可编程门阵列(FPGA)单芯片控制的微机电系统-惯性测量单元(MEMS_IMU)小型化捷联惯性导航系统。系统采用ADI公司的MEMS_IMU作为惯性器件,主控芯片使用Cyc... 针对石油、煤矿等特殊环境中对小型化捷联惯性导航系统的需求,设计并实现了基于现场可编程门阵列(FPGA)单芯片控制的微机电系统-惯性测量单元(MEMS_IMU)小型化捷联惯性导航系统。系统采用ADI公司的MEMS_IMU作为惯性器件,主控芯片使用Cyclone III系列FPGA,采用可编程片上系统(SOPC)工作模式,最终制成尺寸4cm×11cm的捷联惯导系统。系统实现了数据采集、误差补偿、导航解算以及与上位机通信等功能。实验结果表明,系统能满足在钻井等小尺寸测量环境中使用,连续姿态变换过程中姿态误差小于2°,实现稳定工作。 展开更多
关键词 微机系统(MEMS) 现场可编程门阵列(FPGA) 可编程片上系统(SOPC) 捷联惯导系统 小型化
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微机电系统的微观摩擦学研究进展 被引量:23
11
作者 邓昭 饶文琦 +3 位作者 任天辉 余来贵 刘维民 余新良 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期494-498,共5页
对微机电系统的微观摩擦学研究现状进行了综述 ,介绍了在微机电系统中摩擦学呈现的各种新特征 ,以及材料、环境和不同工况条件对微机电系统运行稳定性的影响 .从微观摩擦学角度探讨了微机电系统的润滑问题 ,介绍了表面改性和薄膜润滑等... 对微机电系统的微观摩擦学研究现状进行了综述 ,介绍了在微机电系统中摩擦学呈现的各种新特征 ,以及材料、环境和不同工况条件对微机电系统运行稳定性的影响 .从微观摩擦学角度探讨了微机电系统的润滑问题 ,介绍了表面改性和薄膜润滑等在解决微机电系统润滑问题方面的研究现状 。 展开更多
关键词 微机系统 微观摩擦学 表面改性 薄膜 超润滑
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激光共焦扫描显微镜在微机电系统中的应用 被引量:15
12
作者 曾毅波 蒋书森 +2 位作者 黄彩虹 张玉龙 张艳 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1241-1246,共6页
研究了激光共焦扫描显微镜(LSCM)在微结构分析中的应用,综述了该项应用的优势。LSCM的高分辨率和光强调节功能,使其可用于大角度测量;与图像处理系统相结合,便于微结构的定性和定量分析;而全自动样片台沿X轴和Y轴的自动扫描实现了图像... 研究了激光共焦扫描显微镜(LSCM)在微结构分析中的应用,综述了该项应用的优势。LSCM的高分辨率和光强调节功能,使其可用于大角度测量;与图像处理系统相结合,便于微结构的定性和定量分析;而全自动样片台沿X轴和Y轴的自动扫描实现了图像的拼接功能。实验结果表明:运用LSCM测量的斜面最大角度至少可以达到50°;在悬臂梁的形貌分析中,可获得清晰的三维形貌,同时通过二维定量分析精确测得其形变为3.145μm;在100×物镜下,运用拼接功能获得384μm×288μm的视场面积,解决了高放大倍数下,在单帧显微图像中无法获取所观测对象全貌的问题。LSCM在微结构分析中的应用弥补了其它形貌分析设备测量功能上的不足,提升了微机电系统的测试水平。 展开更多
关键词 激光共焦扫描显微镜 微机系统 角度测量 形貌分析 图形拼接
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柠檬酸盐体系铜电沉积及其在微机电系统中的应用 被引量:7
13
作者 吴伟刚 杨防祖 +2 位作者 骆明辉 田中群 周绍民 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2010年第10期2625-2632,共8页
研究并讨论了在新型柠檬酸盐体系铜电沉积工艺中电镀工艺参数对镀层形貌和颗粒尺寸的影响;利用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)表征了镀层的结构和组分存在状态;并将柠檬酸盐体系电沉积铜应用于微机电系统(MEMS)加工工艺.结果表明... 研究并讨论了在新型柠檬酸盐体系铜电沉积工艺中电镀工艺参数对镀层形貌和颗粒尺寸的影响;利用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)表征了镀层的结构和组分存在状态;并将柠檬酸盐体系电沉积铜应用于微机电系统(MEMS)加工工艺.结果表明:在6 g.L-1 Cu2+,pH=7.0-8.5,1-2 A.dm-2,45℃,搅拌条件下可得到结晶细小,表面平整的致密铜镀层;镀层为面心立方多晶结构的单质铜,不含其他杂质.利用MEMS工艺成功制得平面电感,其有效的最大品质因数(Q)为12.75,达到了设计要求. 展开更多
关键词 沉积 柠檬酸盐 镀层表征 平面 微机系统
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微机电系统集成设计方法与实现技术 被引量:11
14
作者 常洪龙 苑伟政 马炳和 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期916-920,共5页
针对微机电系统设计所存在的多学科交叉、周期长等问题 ,提出自顶向下设计与自底向上修正的双向微机电系统集成设计方法 ,将设计流程分为系统级、器件级和工艺级三个阶层 ;以微惯性器件为典型对象研究了各阶层的关键实现技术 ,并在此基... 针对微机电系统设计所存在的多学科交叉、周期长等问题 ,提出自顶向下设计与自底向上修正的双向微机电系统集成设计方法 ,将设计流程分为系统级、器件级和工艺级三个阶层 ;以微惯性器件为典型对象研究了各阶层的关键实现技术 ,并在此基础上构建微机电系统集成设计平台 ;所进行的硅微加速度计设计实例说明平台的设计流程可行 ,同时平台所具有的系统级。 展开更多
关键词 微机系统 集成设计 设计平台 系统 器件级 工艺级
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微机电系统关键技术及其研究进展 被引量:26
15
作者 张冬至 胡国清 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期513-520,共8页
微机电系统(MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一个多学科交叉的前沿领域,集约了当今科学技术发展的许多尖端成果,在汽车电子、航空航天、信息通讯、生物医学、自动控制、国防军工等领域应用前景广阔。该文介绍了微机电系统发展的背景... 微机电系统(MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一个多学科交叉的前沿领域,集约了当今科学技术发展的许多尖端成果,在汽车电子、航空航天、信息通讯、生物医学、自动控制、国防军工等领域应用前景广阔。该文介绍了微机电系统发展的背景与基础理论研究,综述了微机电系统所涉及的器件设计、制作材料、3大加工工艺(硅微机械加工、精密微机械加工与光刻、电铸和注塑(LIGA)技术)、微封装与测试等关键技术,总结了微机电系统在微纳传感器、微执行器、微机器人、微飞行器、微动力能源系统、微型生物芯片等方面的典型应用,最后指明了MEMS技术的发展趋势,有望在近几十年将大量先进的MEMS器件从实验室推向实用化和产业化。 展开更多
关键词 微机系统 微机械加工 微传感器 纳米制造 聚合物微机系统(MEMS)
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微机电系统微米间隙的预击穿和击穿特性研究 被引量:8
16
作者 孟国栋 成永红 +1 位作者 酉小广 吴锴 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期106-110,127,共6页
为了预测和评估微机电系统(MEMS)中微电极结构的绝缘性能,采用MEMS加工工艺,制备了电极间隙为5~40μm的金属铝薄膜电极,研究了试样在直流电压下的预击穿过程中电流-电压关系曲线以及击穿电压随电极间隙的变化规律,并利用扫描电子显微镜... 为了预测和评估微机电系统(MEMS)中微电极结构的绝缘性能,采用MEMS加工工艺,制备了电极间隙为5~40μm的金属铝薄膜电极,研究了试样在直流电压下的预击穿过程中电流-电压关系曲线以及击穿电压随电极间隙的变化规律,并利用扫描电子显微镜(SEM)进行了微电极表面的微观分析.研究结果表明:预击穿过程的电流-电压曲线说明,在击穿之前电流的变化主要包括自由带电粒子的定向迁移阶段、电流密度达到饱和阶段以及碰撞电离持续发展形成电子雪崩阶段;场致电子发射的Fowler-Nordheim曲线表明,当微电极的间隙大于5μm时,其击穿特性仍然符合巴申曲线,与相关文献的研究结论一致;微电极击穿阈值均大于相同间隙的宏观金属电极的击穿阈值;微电极击穿后在阳极表面有坑洞产生,而在阴极表面存在溅射沉积现象. 展开更多
关键词 微机系统 击穿特性 微米间隙 巴申曲线
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微机电系统压膜阻尼特性分析 被引量:13
17
作者 张文明 孟光 周健斌 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2006年第4期41-45,共5页
微尺度下,压膜阻尼对微机电系统(MEMS)微结构功能特性有很大影响。从滑流效应、挤压效应和穿孔效应三个方面对平板间气膜阻尼进行理论分析,运用可压缩气膜的雷诺方程对由垂直运动产生压膜阻尼进行模型分析,详细介绍了线性Reynolds方程... 微尺度下,压膜阻尼对微机电系统(MEMS)微结构功能特性有很大影响。从滑流效应、挤压效应和穿孔效应三个方面对平板间气膜阻尼进行理论分析,运用可压缩气膜的雷诺方程对由垂直运动产生压膜阻尼进行模型分析,详细介绍了线性Reynolds方程的多种近似解,建立了热流方程模拟的有限元分析模型,分别针对滑流、挤压和穿孔对气膜阻尼的影响进行了有限元模拟仿真及讨论,并与近似的理论结果进行对比,结果表明:滑流效应对压膜特性影响较大;增大孔径可以减小气膜阻尼和刚度系数,减小压膜阻尼对MEMS微结构的影响。 展开更多
关键词 微机系统 压膜阻尼 滑流 穿孔
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人体胃肠道窥视微机电系统设计与研制 被引量:14
18
作者 陈英俊 李洁 黄平 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期892-895,共4页
通过理论和实验研究,详细分析了窥视微机电系统在人体胃肠道内工作所需要考虑的问题。对窥视微机电系统涉及的光学、图像、发射、控制和电源等关键技术进行了分析和设计。根据设计得到的参数和实际条件,通过利用磁控开关,研制出了定位... 通过理论和实验研究,详细分析了窥视微机电系统在人体胃肠道内工作所需要考虑的问题。对窥视微机电系统涉及的光学、图像、发射、控制和电源等关键技术进行了分析和设计。根据设计得到的参数和实际条件,通过利用磁控开关,研制出了定位在线控制采样的、可获取静态或动态影像的整个人体胃肠道内窥视系统。该系统在实验室条件下采集的图像表明,设计方案是可行的。 展开更多
关键词 微机系统 胶囊式 在线控制 胃肠道 内窥镜
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微机电系统的现状与展望 被引量:16
19
作者 陆敬予 张飞虎 张勇 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第2期1-3,7,共4页
在过去20多年中,微机电系统(MEMS)已经从早期的技术开发、设备探索和实验室研究的阶段发展到当前的实际应用阶段,并逐渐扩展到许多新的研究和探索领域,MEMS已经成为21世纪最具潜力的研究领域之一。对MEMS进行了简要的介绍,包括MEMS应用,... 在过去20多年中,微机电系统(MEMS)已经从早期的技术开发、设备探索和实验室研究的阶段发展到当前的实际应用阶段,并逐渐扩展到许多新的研究和探索领域,MEMS已经成为21世纪最具潜力的研究领域之一。对MEMS进行了简要的介绍,包括MEMS应用,MEMS的市场情况,以及3种主要的MEMS微制造技术,即体微制造、面微制造和LIGA技术。最后,提出了MEMS将来研究和发展的趋势。 展开更多
关键词 微机系统 微细加工 展望
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气体稀薄效应对微机电系统(MEMS)气体轴承-转子系统不平衡响应的影响 被引量:7
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作者 杨琴 刘宇陆 +1 位作者 张海军 祝长生 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期134-139,共6页
为研究气体稀薄效应对微机电系统(MEMS)气体轴承-转子系统不平衡响应的影响,给出了MEMS气体轴承-转子系统运动方程和MEMS气体轴承的雷诺方程;利用双向隐式差分算法,给出了修正雷诺方程的详细数值求解过程;将转子运动方程与雷诺方程相结... 为研究气体稀薄效应对微机电系统(MEMS)气体轴承-转子系统不平衡响应的影响,给出了MEMS气体轴承-转子系统运动方程和MEMS气体轴承的雷诺方程;利用双向隐式差分算法,给出了修正雷诺方程的详细数值求解过程;将转子运动方程与雷诺方程相结合,采用4阶龙格-库塔方法计算分析了气体稀薄效应对气体轴承-转子系统不平衡响应的影响。研究结果显示,考虑气体稀薄效应后,当质量偏心距较大时,MEMS气体轴承-转子系统的失稳轴颈转速较大,表明合适的偏心质量有助于改善系统的稳定性;在相同的质量偏心距下,考虑气体稀薄效应时气体轴承-转子系统在较低轴颈转速处出现峰值,表明此时不平衡偏心质量对气体轴承-转子系统运动的影响增大。 展开更多
关键词 微机系统 气体轴承-转子系统 不平衡响应 稀薄效应 双向隐式差分算法
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