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基于多壁碳纳米管的电阻式温度传感器被引量：4: 1; 作者赵珠杰梁庭 +1 位作者王凯雷程《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第12期67-70,共4页; 为解决热敏型电阻式温度传感器线性度差、可测温度范围小等问题,介绍了一种以多壁碳纳米管(MWCNT)为温敏材料的电阻型温度传感器。利用微机电系统(MEMS)工艺制备叉指电极作为热敏电阻,在80℃下将MWCNT超声分散溶液涂覆组装在电极上,使... 展开更多; 关键词多壁碳纳米管电阻式传感器微机电系统工艺温敏特性; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于三维感应线圈的新型MEMS电流传感器被引量：2: 2; 作者李斌彭春荣 +3 位作者凌必赟储昭志张洲威夏善红《传感器与微系统》 CSCD 2019年第2期63-65,共3页; 基于三维感应线圈,研制了一种新型微机电系统(MEMS)电流传感器。传感器以玻璃为衬底,以聚酰亚胺为支撑和绝缘材料,通过溅射、光刻、电镀、抛光等微加工工艺在玻璃衬底上制作出三维感应线圈。传感器具有功耗低、线性度好、质量轻和结构... 展开更多; 关键词电流传感器三维感应线圈微机电系统工艺; 在线阅读下载PDF 职称材料

风车型低频压电振动能量采集器的研究与设计被引量：5: 3; 作者梁光胜李艺《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期423-427,共5页; 基于微机电系统(MEMS)设计了风车型结构的压电振动能量采集器,通过压电效应将低频振动能量转化为电能,用以解决环境中低频能量采集的问题。风车型结构的压电振动能量采集器以硅为基底,以PZT-5A为压电材料,包含上、下电极;4条悬臂梁旋转... 展开更多; 关键词低频振动能量采集风车型结构 IntelliSuite软件微机电系统(MEMS)工艺; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅基自屏蔽式MEMS带通滤波器被引量：3: 4; 作者丁英涛卢威严阳阳《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第9期958-963,共6页; 基于硅基深反应离子刻蚀、表面金属化、热压金-金键合等微机电系统(micro-electro-mechanical-systems,MEMS)加工工艺,并结合耦合系数设计方法,选用终端开路式交指结构,实现了一种应用于C波段的自屏蔽式MEMS带通滤波器.开发了该新型滤... 展开更多; 关键词 MEMS滤波器微机电系统工艺 C波段小型化; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于SIW结构的毫米波MEMS滤波器设计被引量：5: 5; 作者张彤彤黄巍 +1 位作者叶志红李云《微波学报》 CSCD 北大核心 2021年第5期87-90,共4页; 针对5G毫米波无线通信的发展需求,采用硅基单层基片集成波导(SIW)结构设计了一款毫米波滤波器。首先通过理论分析,计算得到滤波器的结构参数。然后使用电磁仿真软件HFSS对滤波器结构进行仿真与优化,使其满足设计指标要求。设计得到了一... 展开更多; 关键词基片集成波导(SIW)结构微机电系统(MEMS)工艺毫米波滤波器小型化; 在线阅读下载PDF 职称材料

小型高选择性MEMS射频滤波器的设计被引量：1: 6; 作者许爱国梅迪《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第6期813-817,共5页; 该文设计了一款基于微机电系统(MEMS)工艺的小型高选择性的射频滤波器,与传统MEMS滤波器相比,该滤波器采用阶跃阻抗谐振器(SIR)降低器件尺寸,利用谐振器的场分布形成结构紧凑的交叉耦合,免去了传统的飞杆电耦合结构,在提高滤波器选择性... 展开更多; 关键词微机电系统(MEMS)工艺阶跃阻抗高选择性小型化; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于多壁碳纳米管的电阻式温度传感器被引量：4: 1; 作者赵珠杰梁庭王凯雷程; 机构中北大学动态测试技术省部共建国家重点实验室天津伟加环境科技有限公司; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第12期67-70,共4页; 基金山西省自然科学基金资助项目(201801D221203) 高等学校科技创新资助项目(1810600108MZ)。; 文摘为解决热敏型电阻式温度传感器线性度差、可测温度范围小等问题,介绍了一种以多壁碳纳米管(MWCNT)为温敏材料的电阻型温度传感器。利用微机电系统(MEMS)工艺制备叉指电极作为热敏电阻,在80℃下将MWCNT超声分散溶液涂覆组装在电极上,使用原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)对MWCNT进行形貌表征,并搭建温度测试平台对传感器进行性能测试。测试结果表明:在40~340℃范围内,传感器的电阻随着温度的上升而下降,传感器的灵敏度约-122.230Ω/℃,线性相关系数为0.995 71;200℃时,传感器响应时间为5 s,恢复时间为4 s。同时,该传感器的迟滞性小,稳定性良好。; 关键词多壁碳纳米管电阻式传感器微机电系统工艺温敏特性; Keywords multi-walled carbon nanotube(MWCNT) resistive sensor MEMS technology temperature sensitive characteristics; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于三维感应线圈的新型MEMS电流传感器被引量：2: 2; 作者李斌彭春荣凌必赟储昭志张洲威夏善红; 机构中国科学院电子学研究所中国科学院大学; 出处《传感器与微系统》 CSCD 2019年第2期63-65,共3页; 基金国家自然科学基金资助项目(61327810) 国家"863"计划资助项目(2015AA042602); 文摘基于三维感应线圈,研制了一种新型微机电系统(MEMS)电流传感器。传感器以玻璃为衬底,以聚酰亚胺为支撑和绝缘材料,通过溅射、光刻、电镀、抛光等微加工工艺在玻璃衬底上制作出三维感应线圈。传感器具有功耗低、线性度好、质量轻和结构简单等优点,通过U型装置固定在传输导线表面,安装方便。实验测试结果表明:电流传感器两端输出的电压信号与传输线路中的电流成线性关系,线性度为0. 58%。; 关键词电流传感器三维感应线圈微机电系统工艺; Keywords current sensor three-dimensional (3D) induction coil micro-electro-mechanical system(MEMS) technology; 分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名风车型低频压电振动能量采集器的研究与设计被引量：5: 3; 作者梁光胜李艺; 机构华北电力大学电气与电子工程学院; 出处《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期423-427,共5页; 文摘基于微机电系统(MEMS)设计了风车型结构的压电振动能量采集器,通过压电效应将低频振动能量转化为电能,用以解决环境中低频能量采集的问题。风车型结构的压电振动能量采集器以硅为基底,以PZT-5A为压电材料,包含上、下电极;4条悬臂梁旋转连接中心质量块与四周固定端,类似于风车结构。数学建模与有限元仿真分析表明,在结构尺寸与材料相同的情况下,圆弧风车型结构的谐振频率较直接连接、直角连接结构的谐振频率更低;4条悬臂梁距离中心质量块越远,谐振频率越低;在0.1g(g=9.8m/s^2)加速度谐振状态下,输出电压约为6.2V,最大位移接近1.2mm。基于MEMS工艺,通过IntelliSuite软件研究和定义了风车型振动能量采集器的工艺流程。; 关键词低频振动能量采集风车型结构 IntelliSuite软件微机电系统(MEMS)工艺; Keywords low frequency vibration energy harvesting windmill structure IntelliSuite software MEMS process; 分类号 TN384 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅基自屏蔽式MEMS带通滤波器被引量：3: 4; 作者丁英涛卢威严阳阳; 机构北京理工大学信息与电子学院; 出处《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第9期958-963,共6页; 基金北京理工大学基础研究基金资助项目(20130542015); 文摘基于硅基深反应离子刻蚀、表面金属化、热压金-金键合等微机电系统(micro-electro-mechanical-systems,MEMS)加工工艺,并结合耦合系数设计方法,选用终端开路式交指结构,实现了一种应用于C波段的自屏蔽式MEMS带通滤波器.开发了该新型滤波器工艺加工流程,并基于高阻硅衬底成功实现了滤波器的制造和测试.测试结果表明,所制造的滤波器中心频率为3.96GHz,频率误差为2.6%,通带内插入损耗约4dB,驻波比小于1.2,相对带宽为20.7%,器件整体尺寸为7.0mm×7.8mm×0.8mm,器件质量小于0.1g,具有尺寸小、重量轻、性能高、造价低、可批量生产、易于单片集成等显著优点,适应了微波毫米波电路对于滤波器件小型化、轻质化、集成化发展的应用要求.; 关键词 MEMS滤波器微机电系统工艺 C波段小型化; Keywords MEMS filters MEMS fabrication techniques C band miniaturization; 分类号 TN603.5 [电子电信—电路与系统] TN629.1 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于SIW结构的毫米波MEMS滤波器设计被引量：5: 5; 作者张彤彤黄巍叶志红李云; 机构重庆邮电大学通信与信息工程学院总装备部重庆军事代表局驻成都地区军事代表室; 出处《微波学报》 CSCD 北大核心 2021年第5期87-90,共4页; 基金国家自然科学基金(61701057)。; 文摘针对5G毫米波无线通信的发展需求,采用硅基单层基片集成波导(SIW)结构设计了一款毫米波滤波器。首先通过理论分析,计算得到滤波器的结构参数。然后使用电磁仿真软件HFSS对滤波器结构进行仿真与优化,使其满足设计指标要求。设计得到了一个五阶毫米波滤波器,其通带范围24.25~27.5 GHz,相对带宽12.56%,中心频率处插入损耗小于1 dB,带内回波损耗优于-16 dB。最后,使用MEMS工艺将该滤波器加工成实物并进行性能测试,得到尺寸为9.45 mm×4.8 mm×0.4 mm的滤波器芯片,达到小型化要求。测试结果表明,MEMS毫米波滤波器的仿真结果与测试结果基本保持一致。; 关键词基片集成波导(SIW)结构微机电系统(MEMS)工艺毫米波滤波器小型化; Keywords substrate integrated waveguide(SIW)structure micro-electro-mechanical system(MEMS)process millimeter wave filter miniaturization; 分类号 TN713 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名小型高选择性MEMS射频滤波器的设计被引量：1: 6; 作者许爱国梅迪; 机构南京国睿微波器件有限公司; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第6期813-817,共5页; 文摘该文设计了一款基于微机电系统(MEMS)工艺的小型高选择性的射频滤波器,与传统MEMS滤波器相比,该滤波器采用阶跃阻抗谐振器(SIR)降低器件尺寸,利用谐振器的场分布形成结构紧凑的交叉耦合,免去了传统的飞杆电耦合结构,在提高滤波器选择性的同时实现器件的紧凑布局。滤波器表面金属谐振腔通过金属化的硅通孔实现谐振器的接地,形成四分之一波长谐振结构。对性能和结构参数各异的滤波器进行设计和分析,并采用三维电磁仿真软件对滤波器进行模拟仿真。结果表明,滤波器尺寸为10 mm×10 mm×0.4 mm,驻波比<1.3 dB,插入损耗<3.5 dB。在2.5~2.7 GHz和3.4~3.5 GHz时,带外抑制>30 dB。; 关键词微机电系统(MEMS)工艺阶跃阻抗高选择性小型化; Keywords micro-electro-mechanical system(MEMS)technique stepped impedance high-selectivity compact; 分类号 TN713 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于多壁碳纳米管的电阻式温度传感器	赵珠杰梁庭王凯雷程	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2022	4	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于三维感应线圈的新型MEMS电流传感器	李斌彭春荣凌必赟储昭志张洲威夏善红	《传感器与微系统》 CSCD	2019	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	风车型低频压电振动能量采集器的研究与设计	梁光胜李艺	《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心	2018	5	在线阅读下载PDF 职称材料
4	硅基自屏蔽式MEMS带通滤波器	丁英涛卢威严阳阳	《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2017	3	在线阅读下载PDF 职称材料
5	基于SIW结构的毫米波MEMS滤波器设计	张彤彤黄巍叶志红李云	《微波学报》 CSCD 北大核心	2021	5	在线阅读下载PDF 职称材料
6	小型高选择性MEMS射频滤波器的设计	许爱国梅迪	《压电与声光》 CAS 北大核心	2023	1	在线阅读下载PDF 职称材料