期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
光敏聚酰亚胺光刻胶研究进展
被引量：
17
1
作者
郭海泉
杨正华
高连勋
《应用化学》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第9期1119-1137,共19页
近年来,光敏聚酰亚胺(PSPI)在先进封装、微机电系统和有机发光二极管(OLED)显示等新兴领域的需求牵引下得到了快速发展。在基础研究、应用研究以及产业化方面,PSPI的进展都引起了广泛关注。光敏聚酰亚胺作为一种实用的可自图案化薄膜材...
近年来,光敏聚酰亚胺(PSPI)在先进封装、微机电系统和有机发光二极管(OLED)显示等新兴领域的需求牵引下得到了快速发展。在基础研究、应用研究以及产业化方面,PSPI的进展都引起了广泛关注。光敏聚酰亚胺作为一种实用的可自图案化薄膜材料显示出越来越突出的重要性。本文综述了近年来正性、负性光敏聚酰亚胺的结构设计、光化学反应及其感光性能等方面的研究进展,简要介绍了在集成电路、微机电系统以及OLED显示等方面的应用需求,最后对光敏聚酰亚胺在研究和应用中存在的问题及其前景进行了展望。
展开更多
关键词
光敏聚酰亚胺
光刻胶
再布线
集成
电
路
有机发光二极管显示
微机电系统图案化
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
光敏聚酰亚胺光刻胶研究进展
被引量：
17
1
作者
郭海泉
杨正华
高连勋
机构
中国科学院长春应用化学研究所
出处
《应用化学》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第9期1119-1137,共19页
基金
国家重点研发计划(No.2017YFB0404700)资助。
文摘
近年来,光敏聚酰亚胺(PSPI)在先进封装、微机电系统和有机发光二极管(OLED)显示等新兴领域的需求牵引下得到了快速发展。在基础研究、应用研究以及产业化方面,PSPI的进展都引起了广泛关注。光敏聚酰亚胺作为一种实用的可自图案化薄膜材料显示出越来越突出的重要性。本文综述了近年来正性、负性光敏聚酰亚胺的结构设计、光化学反应及其感光性能等方面的研究进展,简要介绍了在集成电路、微机电系统以及OLED显示等方面的应用需求,最后对光敏聚酰亚胺在研究和应用中存在的问题及其前景进行了展望。
关键词
光敏聚酰亚胺
光刻胶
再布线
集成
电
路
有机发光二极管显示
微机电系统图案化
Keywords
Photosensitive polyimide
Photoresist
redistribution layer
Integrated circuit
Organic light-emitting diode display
Microelectromechanical systems patterning
分类号
O631 [理学—高分子化学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光敏聚酰亚胺光刻胶研究进展
郭海泉
杨正华
高连勋
《应用化学》
CAS
CSCD
北大核心
2021
17
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
