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射频微机电系统技术现状被引量：10: 1; 作者金铃《微波学报》 CSCD 北大核心 2005年第6期58-65,共8页; 较全面地介绍了 RF MEMS 器件、由 RF 器件构成的组件及应用系统,并给出了一些新的典型示例。通过比较 RF MEMS 器件与传统微波器件在性能、尺寸等各方面的差别,可以了解 RF MEMS 技术在相控阵雷达上运用的优势。; 关键词微机电系统技术射频微机电系统微机电系统器件; 在线阅读下载PDF 职称材料

MEMS惯性器件的主要失效模式和失效机理研究被引量：17: 2; 作者陈俊光谷专元 +3 位作者何春华黄钦文来萍恩云飞《传感器与微系统》 CSCD 2017年第3期1-5,13,共6页; 针对微机电系统(MEMS)器件的可靠性问题,通过大量的历史资料调研和失效信息收集等方法,针对微机电系统(MEMS)器件的可靠性问题,对冲击、振动、湿度、温变、辐照和静电放电(ESD)等不同环境应力条件下的MEMS惯性器件典型失效模式及失效机... 展开更多; 关键词微机电系统(MEMS)惯性器件可靠性失效模式失效机理; 在线阅读下载PDF 职称材料

C波段横向激励薄膜体声波谐振器设计与制备: 3; 作者吴高米马晋毅 +5 位作者李尚志司美菊唐小龙蒋世义江洪敏张祖伟《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期285-289,共5页; 针对未来移动通信对射频前端器件提出的多频率、高集成新要求,开展了兼具声表面波(SAW)谐振器和薄膜体声波谐振器(FBAR)技术特点的新型横向激励兰姆波谐振器研究。该文介绍了基于c轴择优取向氮化铝(AlN)压电薄膜的C波段横向激励薄膜体... 展开更多; 关键词压电微机电系统(MEMS)器件 C波段射频滤波器横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR) 多频率高集成; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于微惯性测量单元的矿用定向钻孔轨迹绘制被引量：7: 4; 作者姚星李海英《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第8期112-115,共4页; 随钻测量(MWD)技术是千米钻机精确钻进的重要技术,通过随钻测量可以绘制出钻头钻进的轨迹。针对加速度计和磁力计组合在姿态参数测量过程中,磁场传感器容易受到钻杆铁物质与地下未知环境的磁场干扰的问题,通过研究基于惯性导航系统的加... 展开更多; 关键词定向钻机轨迹绘制惯性导航系统微机电系统器件; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名射频微机电系统技术现状被引量：10: 1; 作者金铃; 机构南京电子技术研究所; 出处《微波学报》 CSCD 北大核心 2005年第6期58-65,共8页; 文摘较全面地介绍了 RF MEMS 器件、由 RF 器件构成的组件及应用系统,并给出了一些新的典型示例。通过比较 RF MEMS 器件与传统微波器件在性能、尺寸等各方面的差别,可以了解 RF MEMS 技术在相控阵雷达上运用的优势。; 关键词微机电系统技术射频微机电系统微机电系统器件; Keywords MEMS technology, RF MEMS, MEMS device; 分类号 TN454 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS惯性器件的主要失效模式和失效机理研究被引量：17: 2; 作者陈俊光谷专元何春华黄钦文来萍恩云飞; 机构工业和信息化部电子第五研究所广东工业大学自动化学院华南理工大学电子与信息学院; 出处《传感器与微系统》 CSCD 2017年第3期1-5,13,共6页; 文摘针对微机电系统(MEMS)器件的可靠性问题,通过大量的历史资料调研和失效信息收集等方法,针对微机电系统(MEMS)器件的可靠性问题,对冲击、振动、湿度、温变、辐照和静电放电(ESD)等不同环境应力条件下的MEMS惯性器件典型失效模式及失效机理进行了深入分析和总结,研究结果有利于指导未来MEMS惯性器件的失效分析和可靠性设计。; 关键词微机电系统(MEMS)惯性器件可靠性失效模式失效机理; Keywords MEMS inertial device reliability failure mode failure mechanism; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名C波段横向激励薄膜体声波谐振器设计与制备: 3; 作者吴高米马晋毅李尚志司美菊唐小龙蒋世义江洪敏张祖伟; 机构中国电子科技集团公司第二十四研究所中电科芯片技术(集团)有限公司国知创芯(重庆)科技有限公司; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期285-289,共5页; 基金重庆市博士后科学基金资助项目(CSTB2023NSCQ-BHX0030)。; 文摘针对未来移动通信对射频前端器件提出的多频率、高集成新要求,开展了兼具声表面波(SAW)谐振器和薄膜体声波谐振器(FBAR)技术特点的新型横向激励兰姆波谐振器研究。该文介绍了基于c轴择优取向氮化铝(AlN)压电薄膜的C波段横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR)的结构设计、参数优化和制备方法,并进行了工艺验证。通过剥离和刻蚀等步骤制备了谐振频率4.464 GHz、品质因数3039、品质因数与频率之积(f×Q)达到1.56×10^(13)GHz、面积小于0.12 mm^(2)的低杂波XBAR谐振器,并仿真分析了其用于射频滤波器的可行性。该研究为进一步研制多频率、高集成的小型化XBAR滤波器组件提供了有效的设计技术和工艺技术支撑。; 关键词压电微机电系统(MEMS)器件 C波段射频滤波器横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR) 多频率高集成; Keywords piezoelectric micro-electro-mechanical systems device C-band radio-frequency filter laterally excited bulk acoustic resonator multi-frequency high-integration; 分类号 TN384 [电子电信—物理电子学] TN65 [电子电信—电路与系统] TN713 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于微惯性测量单元的矿用定向钻孔轨迹绘制被引量：7: 4; 作者姚星李海英; 机构上海理工大学机械工程学院; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第8期112-115,共4页; 基金山西省重点研发计划高新领域重点资助项目(202003011008)。; 文摘随钻测量(MWD)技术是千米钻机精确钻进的重要技术,通过随钻测量可以绘制出钻头钻进的轨迹。针对加速度计和磁力计组合在姿态参数测量过程中,磁场传感器容易受到钻杆铁物质与地下未知环境的磁场干扰的问题,通过研究基于惯性导航系统的加速度计和陀螺仪组合姿态测量方法,采用微机电系统(MEMS)模块MPU6050进行姿态角测量,并通过STM32读取参数。通过误差分析,研究了提升精度的方法,使绘制的轨迹更接近真实轨迹。该方法成本低,效果较好,满足工程上精度的要求。; 关键词定向钻机轨迹绘制惯性导航系统微机电系统器件; Keywords directional drilling machine trajectory drawing inertial navigation system micro-electro-mechanical system(MEMS)device; 分类号 TD842 [矿业工程—煤矿开采]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	射频微机电系统技术现状	金铃	《微波学报》 CSCD 北大核心	2005	10	在线阅读下载PDF 职称材料
2	MEMS惯性器件的主要失效模式和失效机理研究	陈俊光谷专元何春华黄钦文来萍恩云飞	《传感器与微系统》 CSCD	2017	17	在线阅读下载PDF 职称材料
3	C波段横向激励薄膜体声波谐振器设计与制备	吴高米马晋毅李尚志司美菊唐小龙蒋世义江洪敏张祖伟	《压电与声光》 CAS 北大核心	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于微惯性测量单元的矿用定向钻孔轨迹绘制	姚星李海英	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2022	7	在线阅读下载PDF 职称材料