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考虑边缘效应的静电驱动MEMS振子非线性振动定性研究
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作者 李佰洲 韩建鑫 +1 位作者 黄仪 崔良玉 《振动与冲击》 北大核心 2025年第1期10-19,共10页
应用非线性动力学理论定性研究了考虑边缘效应的静电驱动微机电系统(micro-electromechanical system,MEMS)振子的非线性主共振问题。首先,应用微分求积法的空间离散处理得到了系统的单自由度动力学方程;其次,应用分岔理论研究了系统的... 应用非线性动力学理论定性研究了考虑边缘效应的静电驱动微机电系统(micro-electromechanical system,MEMS)振子的非线性主共振问题。首先,应用微分求积法的空间离散处理得到了系统的单自由度动力学方程;其次,应用分岔理论研究了系统的静态分岔特征,推导并定义了无量纲临界立方刚度、一次吸合电压和二次吸合电压;然后,应用多尺度方法得到了系统的频响函数,定义了小幅振动频响软硬特性转换的无量纲临界电压;最后,结合动态吸合条件与软硬转换临界控制方程,讨论了系统的主共振以及阱间跳跃的动态规律。该研究对于定性掌握静电驱动MEMS振子的静动态吸合及主共振响应规律具有理论及工程参考价值。 展开更多
关键词 微机系统(mems)振子非线性振动 分岔 吸合 边缘效应
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基于改进EMD和ARMA的MEMS陀螺仪随机误差补偿方法 被引量:3
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作者 曾鑫 先苏杰 +2 位作者 王康 司鹏 吴志林 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期3297-3306,共10页
微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)陀螺仪的随机误差限制了其测量精度。为了降低MEMS陀螺仪的随机误差,提出一种基于改进的经验模态分解(Empirical Mode Decomposition,EMD)和优化的自回归滑动平均(Autoregressive Movi... 微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)陀螺仪的随机误差限制了其测量精度。为了降低MEMS陀螺仪的随机误差,提出一种基于改进的经验模态分解(Empirical Mode Decomposition,EMD)和优化的自回归滑动平均(Autoregressive Moving Average,ARMA)模型的方法。该方法在传统EMD的基础上,结合Hausdorff距离和累积标准化模态均值以提取信号中的噪声和趋势项,对剩余信号进行ARMA建模和滤波。采用沙猫群优化算法优化建模的定阶过程,采用改进的自适应滤波补偿随机误差。试验结果表明:相较于传统EMD和传统ARMA方法,新方法在静态试验中得到的均方根误差分别降低52.5%和34.4%,在动态试验中得到的均方根误差分别降低50%和32.35%;新方法有效抑制了随机误差,提升了MEMS陀螺仪的使用精度。 展开更多
关键词 微机系统 陀螺 改进经验模态分解 时间序列建模 HAUSDORFF距离 自适应滤波
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MEMS振动陀螺仪AGC回路模型线性化与控制器设计 被引量:3
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作者 邢博文 丁徐锴 李宏生 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第11期65-68,共4页
针对微机电系统(MEMS)振动陀螺仪驱动模态自动增益控制(AGC)回路非线性、控制器设计难的问题,提出了在平衡点处将系统进行线性化并利用经典频域分析进行控制器设计的方法。利用包络传递函数建立了一种无需乘法器的AGC模型。通过谐波分... 针对微机电系统(MEMS)振动陀螺仪驱动模态自动增益控制(AGC)回路非线性、控制器设计难的问题,提出了在平衡点处将系统进行线性化并利用经典频域分析进行控制器设计的方法。利用包络传递函数建立了一种无需乘法器的AGC模型。通过谐波分析的方法将简化的AGC环路模型在平衡点处进一步线性化。利用线性系统经典的频域分析法进行控制器的设计。仿真与实验验证了模型线性化过程的正确性以及所提出的控制器设计方法的有效性。 展开更多
关键词 微机系统(mems)振动陀螺 自激驱动 自动增益控制(AGC) 控制器设计
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基于静电调修的圆盘结构MEMS陀螺仪 被引量:3
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作者 张林欣 王俊铎 沈文江 《传感器与微系统》 CSCD 2020年第5期71-73,80,共4页
设计了一种采用微机电系统(MEMS)技术的绝缘体上硅(SOI)与玻璃阳极键合工艺的陀螺仪。分析了提高陀螺仪性能的主要手段,结合实际工艺能力,设计了较大电容极板正对面积的器件。利用真空腔、网络分析仪、跨阻放大器、直流电源,进行扫频实... 设计了一种采用微机电系统(MEMS)技术的绝缘体上硅(SOI)与玻璃阳极键合工艺的陀螺仪。分析了提高陀螺仪性能的主要手段,结合实际工艺能力,设计了较大电容极板正对面积的器件。利用真空腔、网络分析仪、跨阻放大器、直流电源,进行扫频实验,得到了器件的幅频响应特性。基于MEMS陀螺仪的工作原理,设计静电调修的方法,实现了器件驱动轴和敏感轴的谐振频率裂解从293.75 Hz缩小到6.25 Hz。 展开更多
关键词 微机系统(mems)陀螺 调修 圆盘结构 阳极键合
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基于MEMS陀螺仪的地下管线测绘系统 被引量:7
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作者 杨毅 林斌 娄高峰 《传感器与微系统》 CSCD 2020年第12期88-91,95,共5页
研究并实现基于微机电系统(MEMS)陀螺仪的高速数据的采集、多传感器数据融合、高实时数据的存储以及数据读取等功能的地下管线测绘系统;并运用管道测绘算法对读取的数据进行解算,最终得到测量管道的三维轨迹。所设计的系统以STM32芯片... 研究并实现基于微机电系统(MEMS)陀螺仪的高速数据的采集、多传感器数据融合、高实时数据的存储以及数据读取等功能的地下管线测绘系统;并运用管道测绘算法对读取的数据进行解算,最终得到测量管道的三维轨迹。所设计的系统以STM32芯片为核心主控,实现对MEMS陀螺仪高速数据的完整接收以及里程信息的同步测量,运用MEMS-惯性测量单元(IMU)/里程计/不完全约束的组合定位算法对读取的数据进行导航解算,最终实现310 m长度管道的定位误差在0.15%以内。 展开更多
关键词 管道测绘 微机系统(mems)陀螺 STM32芯片 里程计
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MEMS三轴数字陀螺仪标定方法研究 被引量:33
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作者 彭孝东 陈瑜 +2 位作者 李继宇 闫国琦 张铁民 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第6期63-65,69,共4页
MEMS陀螺仪作为低成本惯性测量单元在物体姿态监测与导航控制中有着广泛应用。根据三轴数字陀螺仪的数学模型,设计了三轴数字陀螺仪的标定实验,介绍了数学模型中陀螺仪标度因数、安装误差系数以及零偏移值的计算与处理方法。理论分析与... MEMS陀螺仪作为低成本惯性测量单元在物体姿态监测与导航控制中有着广泛应用。根据三轴数字陀螺仪的数学模型,设计了三轴数字陀螺仪的标定实验,介绍了数学模型中陀螺仪标度因数、安装误差系数以及零偏移值的计算与处理方法。理论分析与实验结果表明:该标定方法原理简单、易于实现,且标定结果精度高,标定后的解算矩阵可为后续姿态解算和导航控制提供较为准确的量测数据,同时,该标定过程和数据处理方法对MEMS三轴数字陀螺仪的标定具有一定的参考价值。 展开更多
关键词 微机系统 三轴陀螺 数学模型 标定
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基于Kalman滤波的MEMS陀螺仪滤波算法 被引量:44
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作者 钱华明 夏全喜 +1 位作者 阙兴涛 张强 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期1217-1221,共5页
针对MEMS陀螺仪精度不高、随机噪声复杂的问题,研究了某MEMS陀螺仪的随机漂移模型.应用时间序列分析方法,采用AR(1)模型对经过预处理的MEMS陀螺仪测量数据噪声进行建模,进而基于该AR模型并采用状态扩增法设计Kalman滤波器.速率试验和摇... 针对MEMS陀螺仪精度不高、随机噪声复杂的问题,研究了某MEMS陀螺仪的随机漂移模型.应用时间序列分析方法,采用AR(1)模型对经过预处理的MEMS陀螺仪测量数据噪声进行建模,进而基于该AR模型并采用状态扩增法设计Kalman滤波器.速率试验和摇摆试验仿真结果表明,在静态和恒定角速率条件下,采用该算法滤波后的MEMS陀螺仪的误差均值和标准差都比滤波前有了明显的降低.针对摇摆基座下该算法随摆动幅度的增大效果变差的问题,从提高采样率和选择自适应Kalman滤波2个方面对算法进行改进.仿真结果表明,2种方法都能改善滤波效果,然而考虑到系统采样频率和CPU计算速度的限制,自适应滤波有更高的实用性. 展开更多
关键词 随机漂移 微机系统 KALMAN滤波 自适应Kalman滤波 陀螺
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双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪的理论计算及仿真 被引量:12
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作者 李建利 房建成 +1 位作者 盛蔚 董海峰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期484-491,共8页
提出了一种双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪。采用两块反相、同频、等幅振动质量块作为敏感单元,通过测量谐振器谐振频率变化来计算转速的大小。推导了哥氏力与输入转速的传递函数,用瑞利-里茨法求得在轴向力作用下梁的固有频率方程,利... 提出了一种双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪。采用两块反相、同频、等幅振动质量块作为敏感单元,通过测量谐振器谐振频率变化来计算转速的大小。推导了哥氏力与输入转速的传递函数,用瑞利-里茨法求得在轴向力作用下梁的固有频率方程,利用马蒂厄方程分析了双端音叉谐振器的运动数学表达式及陀螺仪标度因数方程。ANSYS分析表明:谐振器固有谐振频率为4.0431×106Hz;在谐振器端部施加1×106Pa预载荷后,谐振频率偏移量为20.7 kHz。仿真结果验证了理论推导的正确性。该陀螺仪减少了振动噪声及能量损耗,消除了外界共模加速度引起的误差。 展开更多
关键词 微机系统 陀螺 双质量块 双端音叉谐振器 频率输出
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MEMS陀螺仪的一种实用标定法 被引量:27
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作者 宋丽君 秦永元 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第3期372-374,378,共4页
主要介绍了一种微机械系统(MEMS)陀螺仪的速率标定法,根据MEMS陀螺仪的输出数学模型,详细推导了如何得到MEMS陀螺仪的输出数学模型中的零漂、刻度因数和安装误差,并在得到其标定系数后将其封装在C函数中进行验证实验。通过实验数据分析... 主要介绍了一种微机械系统(MEMS)陀螺仪的速率标定法,根据MEMS陀螺仪的输出数学模型,详细推导了如何得到MEMS陀螺仪的输出数学模型中的零漂、刻度因数和安装误差,并在得到其标定系数后将其封装在C函数中进行验证实验。通过实验数据分析可知,MEMS陀螺仪速率标定法原理简单,易于实现,且精度较高。此标定法所得到的MEMS陀螺仪输出数学模型能较准确地反映其输出,且MEMS陀螺仪的线性度有所改善。 展开更多
关键词 微机系统(mems)陀螺 误差模型 速率标定 刻度因数 安装误差 线性度
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火箭弹MEMS陀螺捷联惯导系统 被引量:4
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作者 李星海 陈述奇 +3 位作者 蔡体菁 张巧云 胡旭伯 刘姝 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2012年第5期703-707,共5页
火箭弹正朝着远程化、精确制导化方向发展,制导装置是其中的核心。该文采用微机电系统(MEMS)陀螺、石英挠性加速度计、高动态GPS接收机、高速导航计算机等硬件及捷联惯性导航和卡尔曼滤波算法,研制了小型捷联惯性/GPS组合导航系统。该... 火箭弹正朝着远程化、精确制导化方向发展,制导装置是其中的核心。该文采用微机电系统(MEMS)陀螺、石英挠性加速度计、高动态GPS接收机、高速导航计算机等硬件及捷联惯性导航和卡尔曼滤波算法,研制了小型捷联惯性/GPS组合导航系统。该组合导航系统具有体积小,精度高,成本低等特点,试验表明该惯导系统可以满足增程火箭弹制导要求。 展开更多
关键词 微机系统(mems)陀螺 捷联惯导系统 卡尔曼滤波 火箭弹
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振动能量拾取MEMS压电式微能源研究 被引量:3
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作者 杨杰 燕乐 +3 位作者 许卓 李惠琴 陈东红 丑修建 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2015年第2期320-323,共4页
设计并制作了一种"四悬臂梁-中心质量块"结构的振动能量拾取微机电系统(MEMS)压电式微能源,实现了环境振动能量向电能的转换。首先利用溶胶-凝胶工艺完成锆钛酸铅(PbZrxTi1-xO3,PZT)压电薄膜的异质集成制备;然后通过MEMS工艺... 设计并制作了一种"四悬臂梁-中心质量块"结构的振动能量拾取微机电系统(MEMS)压电式微能源,实现了环境振动能量向电能的转换。首先利用溶胶-凝胶工艺完成锆钛酸铅(PbZrxTi1-xO3,PZT)压电薄膜的异质集成制备;然后通过MEMS工艺和引线键合技术进行器件基础结构的集成制造;最后借助振动测试系统对该器件的各项输出性能进行测试。测试结果表明,8Hz谐振频率工作状态下,该压电式微能源器件的输出电压峰-峰值随着加速度激励的增加呈线性增大,当加速度激励为10 m/s2时,该能量采集器件的输出电压峰-峰值为82.4mV。在器件两端加载2.0 MΩ的负载时,器件输出功率密度达最大值(为2.074 3μW/cm3)。 展开更多
关键词 效应 微机系统(mems) 振动 微能源 输出性能
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非接触式表面电势测量的MEMS微型静电压仪 被引量:2
12
作者 彭春荣 刘世国 +2 位作者 张海岩 郭鑫 夏善红 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期321-323,共3页
针对工业中的表面电势测量应用,研制了一种新型的基于微机械加工技术(MEMS技术)的微型静电压仪。为了提高器件的信噪比和灵敏度,传感器敏感结构基于谐振式工作原理,并采用差分激励和差分敏感的结构设计。基于高速数字芯片和数字信号处... 针对工业中的表面电势测量应用,研制了一种新型的基于微机械加工技术(MEMS技术)的微型静电压仪。为了提高器件的信噪比和灵敏度,传感器敏感结构基于谐振式工作原理,并采用差分激励和差分敏感的结构设计。基于高速数字芯片和数字信号处理技术,研制了传感器的数字化检测系统原理样机。该传感器可实现非接触式表面电势测量,在距离目标表面20 mm位置,该传感器最小分辨电压优于10 V,精度优于10%。文中还进行了摩擦泡沫表面电势的测量,试验结果表明:该传感器可反映表面电势的变化和电荷衰减。 展开更多
关键词 压测试 场传感器 非接触静 微机系统(mems) 谐振器
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具有扇区输入非线性的三轴MEMS陀螺仪鲁棒自适应控制 被引量:2
13
作者 王伟 赵清 +1 位作者 王犇 隋俊杰 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 北大核心 2014年第12期2504-2509,共6页
微机电系统(micro-electro-mechanic system,MEMS)陀螺仪在制造和应用过程中会受到系统参数不确定、外界干扰和力电换能器非线性效应的影响,降低MEMS陀螺仪的检测精度。提出一种基于增益自适应的滑模控制策略对MEMS陀螺仪3个轴向轨迹进... 微机电系统(micro-electro-mechanic system,MEMS)陀螺仪在制造和应用过程中会受到系统参数不确定、外界干扰和力电换能器非线性效应的影响,降低MEMS陀螺仪的检测精度。提出一种基于增益自适应的滑模控制策略对MEMS陀螺仪3个轴向轨迹进行控制,采用一种基于时变死区技术的积分自适应律估计参数不确定和干扰的上界以避免估计发散,选择合适的控制律消除非线性扇区输入的影响,实现陀螺3个轴向的轨迹跟踪指定的参考运动,从而提高检测精度。最后利用Lyapunov直接法证明了闭环误差系统的渐近稳定性和所有信号的有界性。仿真结果表明了该策略的有效性。 展开更多
关键词 微机系统陀螺 滑模控制 扇区输入非线性 轨迹跟踪
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基于参数激励法的MEMS陀螺电馈通抑制方法 被引量:1
14
作者 张晓峰 赵鹤鸣 +1 位作者 钱磊 徐大诚 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第5期20-22,共3页
针对微机电系统(MEMS)陀螺驱动电极和感应电极之间存在寄生电容,导致驱动信号的电馈通,限制了陀螺仪的灵敏度的问题,采用一种新型驱动方式—参数激励法,可以有效改变陀螺的刚度。仿真测试表明,通过调节激励信号的参数(频率、幅度和相位)... 针对微机电系统(MEMS)陀螺驱动电极和感应电极之间存在寄生电容,导致驱动信号的电馈通,限制了陀螺仪的灵敏度的问题,采用一种新型驱动方式—参数激励法,可以有效改变陀螺的刚度。仿真测试表明,通过调节激励信号的参数(频率、幅度和相位),可以以可控的方式显著地减少电馈通。 展开更多
关键词 参数激励法 微机系统(mems)陀螺 馈通 参数放大
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基于蒙特卡洛仿真的MEMS陀螺仪可靠度分析 被引量:1
15
作者 许高斌 徐礼建 +2 位作者 余智 马渊明 陈兴 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2021年第1期61-66,88,共7页
文章基于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)陀螺仪的工作原理,从灵敏度的角度提出频率匹配失效数学模型,针对MEMS陀螺仪中的典型结构微悬臂梁,给出微悬臂梁的黏附失效数学模型;基于蒙特卡洛仿真,利用Matlab软件分别对2... 文章基于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)陀螺仪的工作原理,从灵敏度的角度提出频率匹配失效数学模型,针对MEMS陀螺仪中的典型结构微悬臂梁,给出微悬臂梁的黏附失效数学模型;基于蒙特卡洛仿真,利用Matlab软件分别对2个模型进行可靠度计算,并考虑了温度对频率匹配失效的影响以及湿度对黏附失效的影响;对模型中随机变量的偏移作敏感性分析,讨论随机变量变化对可靠度的影响。结果表明,L型内外梁的宽度与厚度、长梁长度等参数变化对频率匹配的影响巨大,增加微悬臂梁的厚度、减小长度,降低材料单位面积的黏附能,都可提高微悬臂梁黏附失效可靠度。 展开更多
关键词 可靠度 微机系统(mems)陀螺 敏感性分析 蒙特卡洛仿真
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MEMS-SAW陀螺仪研究
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作者 李泉溪 银兵 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第11期61-63,66,共4页
采用耦合模(COM)理论对声表面波(SAW)谐振器进行数字模拟,并采用梅森(Mason)正交场模型对陀螺仪和传感器进行模拟设计,最后对SAW谐振器和SAW传感器进行实验评价。这种陀螺仪具有额外的能力,可以作为无线陀螺仪和集成在SAW加速度传感器上。
关键词 微机系统 声表面波 陀螺 SAW谐振器 SAW传感器
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MEMS加速度传感器的工程振动监测系统设计 被引量:13
17
作者 潘兆马 王珣 +3 位作者 袁焦 刘勇 杨学锋 姚书琴 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2021年第4期86-89,共4页
为解决高速铁路工程结构服役性能下降,影响列车运营安全与舒适性问题,提出了一种基于微机电系统(MEMS)加速度计和单片机、数据云存储结合的工程结构物振动监测系统。系统主要包括加速度信号同步采集模块、振动信号拾取与实时传输模块、... 为解决高速铁路工程结构服役性能下降,影响列车运营安全与舒适性问题,提出了一种基于微机电系统(MEMS)加速度计和单片机、数据云存储结合的工程结构物振动监测系统。系统主要包括加速度信号同步采集模块、振动信号拾取与实时传输模块、服务器数据压缩与存储模块,通过无线接入点(AP)传输振动加速度信号至本地工控机,供远程中控室进行实时结构安全等级评判。实验表明:当振动产生时,设计的监测系统能够实时精确采集加速度信号,有效评估结构物安全状态。 展开更多
关键词 微机系统(mems)传感器 振动监测 同步采集 结构物状态监测
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基于Allan方差的MEMS陀螺仪随机误差辨识与抑制 被引量:17
18
作者 马群 王庆 +1 位作者 阳媛 盛浩 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第6期62-65,共4页
为了提高某型微机电系统(MEMS)陀螺仪输出精度,静态采集该型MEMS陀螺仪原始数据,通过Allan方差分析法,对陀螺仪随机误差成分进行辨识;以z轴输出为例,利用时间序列分析法,建立其随机误差的自回归滑动平均(ARMA)模型。根据拟合后的模型参... 为了提高某型微机电系统(MEMS)陀螺仪输出精度,静态采集该型MEMS陀螺仪原始数据,通过Allan方差分析法,对陀螺仪随机误差成分进行辨识;以z轴输出为例,利用时间序列分析法,建立其随机误差的自回归滑动平均(ARMA)模型。根据拟合后的模型参数设计卡尔曼滤波器,对原始数据进行滤波处理,再对预滤波后的数据进行Allan方差分析。结果表明:滤波后的量化噪声、角度随机游走、零偏不稳定性误差系数分别减小了2. 8%,19. 8%和8. 1%。卡尔曼滤波器能够有效抑制MEMS陀螺仪的随机误差,提高输出精度。 展开更多
关键词 微机系统(mems)陀螺 随机误差 ALLAN方差 自回归滑动平均模型 卡尔曼滤波
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低频压电式MEMS振动能量采集器研究 被引量:3
19
作者 李光耀 王晓蕾 杨杰 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期487-491,共5页
设计了一种低频压电d31模式的"八悬臂梁-中心质量块"结构微机电系统(MEMS)振动能量采集器,实现环境振动能量向电能的转换。首先利用溶胶-凝胶工艺实现PZT压电薄膜的异质集成制造,单个锆钛酸铅(PZT)压电敏感单元的有效尺寸为93... 设计了一种低频压电d31模式的"八悬臂梁-中心质量块"结构微机电系统(MEMS)振动能量采集器,实现环境振动能量向电能的转换。首先利用溶胶-凝胶工艺实现PZT压电薄膜的异质集成制造,单个锆钛酸铅(PZT)压电敏感单元的有效尺寸为935μm×160μm×1.5μm;然后通过MEMS加工工艺完成器件微结构的加工制造,器件结构有效体积为9.936×10^(-4)cm^3;最后借助振动测试系统对该器件的各项输出性能进行测试。测试结果表明,谐振频率为60Hz、加速度激励为1g(g=9.8m/s^2)时,该能量采集器的输出电压峰-峰值为232mV。在其两端加载3.0 MΩ的负载时最大输出功率为6×10^(-4)μW,输出功率密度为0.604μW/cm^3,PZT压电敏感单元有效面积下的输出功率密度为0.025μW/cm^2。 展开更多
关键词 微机系统(mems) 振动 能量采集技术 输出性能
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Kalman滤波在MEMS陀螺仪测量船舶回转率中的应用 被引量:2
20
作者 宰德广 周岗 +1 位作者 陈永冰 李文魁 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2021年第3期157-160,共4页
针对实验室条件下微机电系统(MEMS)陀螺仪测得的船舶回转率数据波动较大的问题,对采集到的原始信号进行平均滤波和校正零偏等预处理,再利用设计的Kalman滤波器实现进一步滤波,实验发现船舶回转率发生变化的情况下,Kalman滤波器响应滞后... 针对实验室条件下微机电系统(MEMS)陀螺仪测得的船舶回转率数据波动较大的问题,对采集到的原始信号进行平均滤波和校正零偏等预处理,再利用设计的Kalman滤波器实现进一步滤波,实验发现船舶回转率发生变化的情况下,Kalman滤波器响应滞后不再适用,在此基础上改进并提出了一种简单有效的自适应Kalman滤波方法。经实验验证:所设计的自适应Kalman滤波器是有效可行的,能够在实现数据滤波的同时较好地满足动态性能。 展开更多
关键词 微机系统(mems)陀螺 船舶回转率 平均滤波 KALMAN滤波 自适应Kalman滤波
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