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题名MEMS压电指向性传声器仿真与性能优化
被引量：3
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作者
翟禹光
李俊红
樊青青
王文
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机构
中国科学院声学研究所
中国科学院大学
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2021年第6期830-833,839,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(11874388)。
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文摘
为提高微机电系统(MEMS)压电指向性传声器的声压灵敏度,该文采用有限元法对一种MEMS压电指向性传声器进行了仿真与性能优化。对于该压电指向性传声器结构的声压灵敏度随压电层材料种类、厚度及长度的变化进行了研究,优化了结构参数,提高了器件的灵敏度及信噪比。结果表明,当硅梁厚为10μm,压电层厚为6.3μm时,器件灵敏度达到最大,较先前结构提高了约14 dB。
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关键词
有限元方法
微机电系统(mems)压电指向性传声器
压电结构
灵敏度
特征频率
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Keywords
finite element method
micro-electro-mechanical system(mems)piezoelectric directional microphone
piezoelectric structure
sensitivity
characteristic frequency
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分类号
TN384
[电子电信—物理电子学]
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题名微型声频定向换能器阵列指向性研究
被引量：4
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作者
李学生
徐利梅
陈敏
许亮峰
缪建民
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机构
电子科技大学空天科学技术研究院
诺基亚中国研究中心
南洋理工大学MEMS中心
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2012年第4期553-556,560,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(60901062)
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文摘
通过对微型声频定向换能器阵列的指向性参量研究,设计并制造了基于微机电系统(MEMS)的锆钛酸铅(PZT)薄膜换能器阵列,为声频定向扬声器的发声部件微型化提供了一种可行的实现方法。从理论上分析了阵元半径、阵元个数和阵元中心间距等结构参数对指向性的影响,确定各阵元正方形排列可获得预期的圆柱形声音传播空间,阵元数量越多,声波指向性越强,并指出当阵元间距约为波长的1/2时,旁瓣抑制效果最明显。最后对微型MEMS换能器阵列实物做指向性测试,实验结果与理论分析结果基本一致。
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关键词
声频定向扬声器
微机电系统(mems)
锆钛酸铅(PZT)薄膜
换能器阵列
指向性
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Keywords
audio directional loudspeaker
mems
PZT thin film
transducer array
directivity
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分类号
TN64
[电子电信—电路与系统]
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