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MEMS器件捷联惯导系统旋转调制技术
被引量：
9
1
作者
王学运
吕妍红
+1 位作者
王玮
王蕾
《东北大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第4期494-498,共5页
使用微机电(MEMS)惯性器件利于捷联惯导系统的低成本和小型化,但MEMS器件误差较大.为提高系统精度,引入了一种全自主误差补偿方法——旋转调制.说明了旋转调制对常值误差的抑制作用和对导航精度的改善效果,并在旋转轴数目、旋转方向、...
使用微机电(MEMS)惯性器件利于捷联惯导系统的低成本和小型化,但MEMS器件误差较大.为提高系统精度,引入了一种全自主误差补偿方法——旋转调制.说明了旋转调制对常值误差的抑制作用和对导航精度的改善效果,并在旋转轴数目、旋转方向、旋转连续性和旋转速度等方面比较了不同旋转调制方案.根据MEMS器件的误差特性,选择了一种适合MEMS器件捷联惯导系统的旋转调制方案并自主研发了原理样机.静态和车载实验表明:旋转调制可以明显抑制MEMS器件常值误差对导航精度的影响,200 s内俯仰和横滚姿态精度提高了5倍,速度和位置精度提高了近10倍.
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关键词
旋转调制
微机电器件
捷联惯导系统
惯性测量单元
误差自补偿
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职称材料
石墨平台微结构的纳米级红外光谱表征
被引量：
2
2
作者
史云胜
刘秉琦
杨兴
《红外技术》
CSCD
北大核心
2016年第11期914-919,共6页
具有原子级光滑平面的石墨平台微结构是实现特殊功能微机电器件、微系统的重要基础。石墨微结构的化学信息表征对微机电器件、微系统的制备及性能有着重要的意义。先使用原子力显微镜获得形貌信息,再使用纳米级红外光谱对微结构的不同...
具有原子级光滑平面的石墨平台微结构是实现特殊功能微机电器件、微系统的重要基础。石墨微结构的化学信息表征对微机电器件、微系统的制备及性能有着重要的意义。先使用原子力显微镜获得形貌信息,再使用纳米级红外光谱对微结构的不同区域进行表征,获得了多个特征位置的红外光谱。通过对红外光谱的分析发现相对于其他位置,石墨平台表面具有非常有序的碳六元环结构,并且吸附的水分子最少。而石墨平台微结构的边缘由于悬键及微加工等原因是吸附水分子最多的位置,石墨基底由于微加工的破坏已经不具有碳六元环结构。这些信息为了解微结构的化学状态提供了帮助,明确所处环境对石墨平台微结构不同位置的影响,能够指导微机电器件的制备与应用。
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关键词
微机电器件
红外光谱
纳米级
石墨微结构
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职称材料
二维微槽道电渗流的增强混合
被引量：
1
3
作者
方力
张劲柏
《北京航空航天大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期583-586,共4页
微尺度流动中的混合一直是微流系统研制中的一个大问题,对壁面zeta势非均匀分布情况下的二维微槽道电渗流进行了数值分析,重点分析了这种情况下的微流动混合增强.基于电渗流的Helmholtz Smoluchowski滑移速度模型,应用SIMPLE方法计算了...
微尺度流动中的混合一直是微流系统研制中的一个大问题,对壁面zeta势非均匀分布情况下的二维微槽道电渗流进行了数值分析,重点分析了这种情况下的微流动混合增强.基于电渗流的Helmholtz Smoluchowski滑移速度模型,应用SIMPLE方法计算了4种滑移速度在整个壁面上的分布不均匀一致时的微槽道电渗流动的流场及被动标量在其中的混合.计算结果表明,滑移速度的非均匀一致导致微槽道电渗流中的流线发生剧烈的转折,从而使得微槽道流动的混合效率有很大的提高.流场中流线的转折越剧烈、转折的次数越多,微槽道流动混合效率的提高就越大.
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关键词
混合
电渗透
槽道流
微机电器件
电流体力学
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职称材料
题名
MEMS器件捷联惯导系统旋转调制技术
被引量：
9
1
作者
王学运
吕妍红
王玮
王蕾
机构
北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
出处
《东北大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第4期494-498,共5页
基金
航空科学基金资助项目(70771023)
文摘
使用微机电(MEMS)惯性器件利于捷联惯导系统的低成本和小型化,但MEMS器件误差较大.为提高系统精度,引入了一种全自主误差补偿方法——旋转调制.说明了旋转调制对常值误差的抑制作用和对导航精度的改善效果,并在旋转轴数目、旋转方向、旋转连续性和旋转速度等方面比较了不同旋转调制方案.根据MEMS器件的误差特性,选择了一种适合MEMS器件捷联惯导系统的旋转调制方案并自主研发了原理样机.静态和车载实验表明:旋转调制可以明显抑制MEMS器件常值误差对导航精度的影响,200 s内俯仰和横滚姿态精度提高了5倍,速度和位置精度提高了近10倍.
关键词
旋转调制
微机电器件
捷联惯导系统
惯性测量单元
误差自补偿
Keywords
rotation modulation
MEMS sensors
SINS
IMU
error auto-compensation
分类号
V241.6 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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职称材料
题名
石墨平台微结构的纳米级红外光谱表征
被引量：
2
2
作者
史云胜
刘秉琦
杨兴
机构
军械工程学院电子与光学工程系
清华大学精密仪器系
清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2016年第11期914-919,共6页
基金
国家自然科学基金(51375263)
国家重大科学研究计划(2013CB934200)资助的课题
文摘
具有原子级光滑平面的石墨平台微结构是实现特殊功能微机电器件、微系统的重要基础。石墨微结构的化学信息表征对微机电器件、微系统的制备及性能有着重要的意义。先使用原子力显微镜获得形貌信息,再使用纳米级红外光谱对微结构的不同区域进行表征,获得了多个特征位置的红外光谱。通过对红外光谱的分析发现相对于其他位置,石墨平台表面具有非常有序的碳六元环结构,并且吸附的水分子最少。而石墨平台微结构的边缘由于悬键及微加工等原因是吸附水分子最多的位置,石墨基底由于微加工的破坏已经不具有碳六元环结构。这些信息为了解微结构的化学状态提供了帮助,明确所处环境对石墨平台微结构不同位置的影响,能够指导微机电器件的制备与应用。
关键词
微机电器件
红外光谱
纳米级
石墨微结构
Keywords
MEMS device, infrared spectroscopy, nanoscale, graphite microstructure
分类号
O657.3 [理学—分析化学]
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职称材料
题名
二维微槽道电渗流的增强混合
被引量：
1
3
作者
方力
张劲柏
机构
北京航空航天大学航空科学与工程学院
出处
《北京航空航天大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期583-586,共4页
文摘
微尺度流动中的混合一直是微流系统研制中的一个大问题,对壁面zeta势非均匀分布情况下的二维微槽道电渗流进行了数值分析,重点分析了这种情况下的微流动混合增强.基于电渗流的Helmholtz Smoluchowski滑移速度模型,应用SIMPLE方法计算了4种滑移速度在整个壁面上的分布不均匀一致时的微槽道电渗流动的流场及被动标量在其中的混合.计算结果表明,滑移速度的非均匀一致导致微槽道电渗流中的流线发生剧烈的转折,从而使得微槽道流动的混合效率有很大的提高.流场中流线的转折越剧烈、转折的次数越多,微槽道流动混合效率的提高就越大.
关键词
混合
电渗透
槽道流
微机电器件
电流体力学
Keywords
Algorithms
Electrohydrodynamics
Electroosmosis
Fluidics
Mathematical models
Microelectromechanical devices
Pressure
Reynolds number
Two dimensional
Velocity
分类号
O361.4 [理学—流体力学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MEMS器件捷联惯导系统旋转调制技术
王学运
吕妍红
王玮
王蕾
《东北大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
9
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
石墨平台微结构的纳米级红外光谱表征
史云胜
刘秉琦
杨兴
《红外技术》
CSCD
北大核心
2016
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
二维微槽道电渗流的增强混合
方力
张劲柏
《北京航空航天大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
1
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