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微机械叉指换能器声表面波陀螺
被引量：
8
1
作者
马晋毅
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2003年第6期442-444,共3页
回顾了声表面波(SAW)陀螺发展史,总结了声表面波陀螺设计思想的变迁,重点介绍了一种新型微机械-叉指换能器(MEMS-IDT)声表面波陀螺。它具有适合标准IC工艺生产的简单二维结构,具备体积小、成本低、便于批量生产以及不用真空封装的特点...
回顾了声表面波(SAW)陀螺发展史,总结了声表面波陀螺设计思想的变迁,重点介绍了一种新型微机械-叉指换能器(MEMS-IDT)声表面波陀螺。它具有适合标准IC工艺生产的简单二维结构,具备体积小、成本低、便于批量生产以及不用真空封装的特点。由于没有普通微机械陀螺的悬浮机构,抗冲击及振动的能力较普通微机械陀螺显著提高。同时,提出了一些迫待解决的问题。
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关键词
微机
械
-
叉
指
换能器
(
mems—
idt
)
声表面波(SAW)
陀螺
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职称材料
题名
微机械叉指换能器声表面波陀螺
被引量：
8
1
作者
马晋毅
机构
天津大学电信学院微电子系
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2003年第6期442-444,共3页
文摘
回顾了声表面波(SAW)陀螺发展史,总结了声表面波陀螺设计思想的变迁,重点介绍了一种新型微机械-叉指换能器(MEMS-IDT)声表面波陀螺。它具有适合标准IC工艺生产的简单二维结构,具备体积小、成本低、便于批量生产以及不用真空封装的特点。由于没有普通微机械陀螺的悬浮机构,抗冲击及振动的能力较普通微机械陀螺显著提高。同时,提出了一些迫待解决的问题。
关键词
微机
械
-
叉
指
换能器
(
mems—
idt
)
声表面波(SAW)
陀螺
Keywords
mems
-
idt
surface acoustic wave(SAW)
gyroscope
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
微机械叉指换能器声表面波陀螺
马晋毅
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2003
8
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