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低电压驱动的硅基Ka波段级联式MEMS移相器
被引量：
4
1
作者
石艳玲
卿健
+3 位作者
李炜
忻佩胜
朱自强
赖宗声
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第12期1914-1916,共3页
通过在共平面波导上周期性地分布微机械电容 ,外加电压驱动改变电容值 ,可实现级联式MEMS移相器 .本文讨论了优化相移特性对共平面波导特性阻抗及下拉电压的要求 ,通过工艺参数优化制备了高阻硅基上的Ka波段级联式MEMS移相器 ,测试结果...
通过在共平面波导上周期性地分布微机械电容 ,外加电压驱动改变电容值 ,可实现级联式MEMS移相器 .本文讨论了优化相移特性对共平面波导特性阻抗及下拉电压的要求 ,通过工艺参数优化制备了高阻硅基上的Ka波段级联式MEMS移相器 ,测试结果表明制备器件具有较低的驱动电压 ,8V时即产生明显的相移量 ,在 36GHz处 15V驱动电压时相移量为 118°,2 5V时为 2 86°.对微结构弹性膜的机械振动寿命测试表明 ,13级级联的MEMS移相器所有弹性膜同步振动的寿命为 3× 10 6次 .为器件的实用化提供了重要保障 .
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关键词
微机械移相器
高阻硅
驱动电压
振动寿命
MEMS
共平面波导
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职称材料
题名
低电压驱动的硅基Ka波段级联式MEMS移相器
被引量：
4
1
作者
石艳玲
卿健
李炜
忻佩胜
朱自强
赖宗声
机构
华东师范大学电子科学技术系
出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第12期1914-1916,共3页
基金
国家973项目集成微光机电系统研究(No.G1 9990 331 0 5)
国家自然科学基金(No .698760 1 2 )
+2 种基金
国家杰出青年基金(No.6997540 9)
上海应用材料研究与发展基金(No.0 1 0 3)
上海市重点学科项目(No.0 1 2 2 61 0 2 8)
文摘
通过在共平面波导上周期性地分布微机械电容 ,外加电压驱动改变电容值 ,可实现级联式MEMS移相器 .本文讨论了优化相移特性对共平面波导特性阻抗及下拉电压的要求 ,通过工艺参数优化制备了高阻硅基上的Ka波段级联式MEMS移相器 ,测试结果表明制备器件具有较低的驱动电压 ,8V时即产生明显的相移量 ,在 36GHz处 15V驱动电压时相移量为 118°,2 5V时为 2 86°.对微结构弹性膜的机械振动寿命测试表明 ,13级级联的MEMS移相器所有弹性膜同步振动的寿命为 3× 10 6次 .为器件的实用化提供了重要保障 .
关键词
微机械移相器
高阻硅
驱动电压
振动寿命
MEMS
共平面波导
Keywords
MEMS phase shifter
high resistivity silicon
pull down voltage
lifetime
分类号
TN623 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
低电压驱动的硅基Ka波段级联式MEMS移相器
石艳玲
卿健
李炜
忻佩胜
朱自强
赖宗声
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
4
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