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微机械振动陀螺仪正交误差分析 被引量:12
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作者 许宜申 王寿荣 +1 位作者 吉训生 盛平 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期105-107,共3页
本文在简要介绍微机械振动陀螺仪工作原理的基础上,分析影响陀螺仪性能的正交误差所产生的原因,推导其内在的数学机理,并探讨抑制或消除正交误差影响的方法和措施。
关键词 微机械振动陀螺仪 正交误差
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单片三轴硅微机械振动陀螺仪研究 被引量:2
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作者 许宜申 王寿荣 王元山 《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1034-1038,共5页
设计、制造了一种单片集成三轴硅微机械振动陀螺仪.该器件由两个结构完全相同的单轴水平陀螺仪和一个单轴垂直陀螺仪组合而成,三只单轴陀螺仪均采用静电驱动、电容检测的结构形式.采用体硅溶解薄片法制造了该三轴陀螺仪芯片,并对其在空... 设计、制造了一种单片集成三轴硅微机械振动陀螺仪.该器件由两个结构完全相同的单轴水平陀螺仪和一个单轴垂直陀螺仪组合而成,三只单轴陀螺仪均采用静电驱动、电容检测的结构形式.采用体硅溶解薄片法制造了该三轴陀螺仪芯片,并对其在空气中的驱动性能进行了初步测试.测试结果表明,该单片三轴硅微机械振动陀螺仪驱动模态的实际谐振频率与理论值之间的最大误差小于5%,满足设计要求. 展开更多
关键词 微机械振动陀螺仪 三轴陀螺 体硅溶解薄片法
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音叉式硅微机械振动陀螺仪的粘滞阻尼研究
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作者 裘安萍 蔡体菁 +1 位作者 周百令 王寿荣 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 2000年第1期131-135,共5页
粘滞阻尼的研究对硅微机械振动陀螺仪的设计至关重要 .而品质因数的大小反映了阻尼特性 .本文首先理论分析了硅微型机械振动陀螺仪粘滞阻尼的耗能 ,然后根据耗能分析给出了驱动结构和敏感结构的品质因数 .
关键词 微机械振动陀螺仪 粘滞阻尼 品质因数 音叉式
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振动轮式微机械陀螺仪数学模型及工作状况分析 被引量:10
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作者 谈振藩 罗跃生 李康 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 2002年第2期33-36,共4页
介绍了振动轮式微机械陀螺仪的工作原理 ,给出了振动轮式微机械陀螺仪的结构示意图和工作原理图 .利用刚体转动的欧拉动力学方程 ,通过严格的力学分析和严密的数学验算推导了振动轮式微机械陀螺仪的一个数学模型 ,并对数学模型进行了简... 介绍了振动轮式微机械陀螺仪的工作原理 ,给出了振动轮式微机械陀螺仪的结构示意图和工作原理图 .利用刚体转动的欧拉动力学方程 ,通过严格的力学分析和严密的数学验算推导了振动轮式微机械陀螺仪的一个数学模型 ,并对数学模型进行了简化 ,得到了近似解 . 展开更多
关键词 振动轮式微机陀螺 欧拉动力学方程 数学模型 工作状况
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振动轮式微机械陀螺仪微分方程模型的建立 被引量:10
5
作者 罗跃生 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 2002年第3期16-19,共4页
介绍了振动轮式微机械陀螺仪的工作原理 ,给出了振动轮式微机械陀螺仪的结构示意图和工作原理图。利用刚体转动的欧拉动力学方程 ,通过严格的力学分析和严密的数学验算推导了振动轮式微机械陀螺仪的基座与驱动轮之间的夹角θ和驱动轮与... 介绍了振动轮式微机械陀螺仪的工作原理 ,给出了振动轮式微机械陀螺仪的结构示意图和工作原理图。利用刚体转动的欧拉动力学方程 ,通过严格的力学分析和严密的数学验算推导了振动轮式微机械陀螺仪的基座与驱动轮之间的夹角θ和驱动轮与外框架之间的夹角 φ 的关系的一个微分方程模型 ,并对这个微分方程数学模型进行了简化。 展开更多
关键词 陀螺 振动轮式微机陀螺 微分方程 欧拉动力学方程
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硅微机械振动轮陀螺仪非线性动力分析
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作者 裘安萍 蔡体菁 +1 位作者 周百令 苏岩 《传感技术学报》 CAS CSCD 2000年第1期18-22,共5页
本文简单介绍了硅微机械振动轮陀螺仪的工作原理,并给出了该陀螺仪的非线性运动方程和线性化运动方程.针对该陀螺仪的运动方程,进行了数值仿真研究.根据数值仿真结果,还提出为了提高测量的线性度必须采用闭环控制.同时,还给出了... 本文简单介绍了硅微机械振动轮陀螺仪的工作原理,并给出了该陀螺仪的非线性运动方程和线性化运动方程.针对该陀螺仪的运动方程,进行了数值仿真研究.根据数值仿真结果,还提出为了提高测量的线性度必须采用闭环控制.同时,还给出了闭环控制的方案. 展开更多
关键词 微机振动陀螺 非线性动力分析 闭环控制
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双框架硅微型机械振动陀螺仪鲁棒控制研究 被引量:3
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作者 方玉明 李普 茅盘松 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期591-596,共6页
以内框驱动式双框架硅微型角振动机械陀螺仪为对象,建立了闭环力平衡控制模型,采用鲁棒H∞控制理论中的混合灵敏度法设计了鲁棒控制器。仿真结果表明,同开环微机械陀螺相比,通过合理选择加权函数设计出的鲁棒H∞控制器能使微机械陀螺对... 以内框驱动式双框架硅微型角振动机械陀螺仪为对象,建立了闭环力平衡控制模型,采用鲁棒H∞控制理论中的混合灵敏度法设计了鲁棒控制器。仿真结果表明,同开环微机械陀螺相比,通过合理选择加权函数设计出的鲁棒H∞控制器能使微机械陀螺对敏感轴固有频率摄动敏感性显著降低,微机械陀螺鲁棒性能显著提高。 展开更多
关键词 双框架微机械振动陀螺仪 力平衡控制 鲁棒H∞控制
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微机械振动陀螺模态参数变化所引起的零偏漂移分析(英文)
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作者 王安成 胡小平 +3 位作者 罗兵 江明明 何晓峰 唐康华 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2013年第6期803-807,共5页
温度变化导致的模态参数波动被认为是引起微机械振动陀螺零偏漂移的主要因素,但目前关于模态参数对陀螺零偏影响机制的研究很少。针对这个问题,结合微机械陀螺的动力学模型及工作原理,理论上推导了零偏与主要模态参数之间的关系,并通过... 温度变化导致的模态参数波动被认为是引起微机械振动陀螺零偏漂移的主要因素,但目前关于模态参数对陀螺零偏影响机制的研究很少。针对这个问题,结合微机械陀螺的动力学模型及工作原理,理论上推导了零偏与主要模态参数之间的关系,并通过仿真进行了详细的定量分析。分析结果表明,敏感模态品质因数变化是引起零偏漂移的最显著因素,同时,总的陀螺漂移与敏感模态品质因数的取值成反比,与驱动模态谐振频率和敏感模态谐振频率的取值成正比。这些特性和结论可为陀螺的结构优化和误差补偿提供理论指导。 展开更多
关键词 微机械振动陀螺仪 零偏漂移 温度漂移 谐振频率 品质因数
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