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微机械测量子系统
1
作者
徐国强
冯国强
《中国测试技术》
2003年第1期30-31,共2页
本文主要介绍一种微机械测量子系统 ,它与控制、测试和带有闭合数字控制回路结构的测量仪器相关。它尤其适用于光滑位移量的测量。例如 :象由压力和温度引起的物体变形量 ,或者在监测物体气密性时 ,探测由物体的几何尺寸变化引起的电荷...
本文主要介绍一种微机械测量子系统 ,它与控制、测试和带有闭合数字控制回路结构的测量仪器相关。它尤其适用于光滑位移量的测量。例如 :象由压力和温度引起的物体变形量 ,或者在监测物体气密性时 ,探测由物体的几何尺寸变化引起的电荷量。它也可用来监测集成模块的防水性。如果再给子系统补充一些额外的触觉传感设备 ,它就可应用于机器人系统中。
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关键词
微机械式变换器
微
触点测量
微
机械
测量子系统
光滑位移量
微
位移测量
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职称材料
题名
微机械测量子系统
1
作者
徐国强
冯国强
机构
空军工程大学工程学院
出处
《中国测试技术》
2003年第1期30-31,共2页
文摘
本文主要介绍一种微机械测量子系统 ,它与控制、测试和带有闭合数字控制回路结构的测量仪器相关。它尤其适用于光滑位移量的测量。例如 :象由压力和温度引起的物体变形量 ,或者在监测物体气密性时 ,探测由物体的几何尺寸变化引起的电荷量。它也可用来监测集成模块的防水性。如果再给子系统补充一些额外的触觉传感设备 ,它就可应用于机器人系统中。
关键词
微机械式变换器
微
触点测量
微
机械
测量子系统
光滑位移量
微
位移测量
分类号
TH822 [机械工程—精密仪器及机械]
TP274 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
微机械测量子系统
徐国强
冯国强
《中国测试技术》
2003
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