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微机械测量子系统
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作者 徐国强 冯国强 《中国测试技术》 2003年第1期30-31,共2页
本文主要介绍一种微机械测量子系统 ,它与控制、测试和带有闭合数字控制回路结构的测量仪器相关。它尤其适用于光滑位移量的测量。例如 :象由压力和温度引起的物体变形量 ,或者在监测物体气密性时 ,探测由物体的几何尺寸变化引起的电荷... 本文主要介绍一种微机械测量子系统 ,它与控制、测试和带有闭合数字控制回路结构的测量仪器相关。它尤其适用于光滑位移量的测量。例如 :象由压力和温度引起的物体变形量 ,或者在监测物体气密性时 ,探测由物体的几何尺寸变化引起的电荷量。它也可用来监测集成模块的防水性。如果再给子系统补充一些额外的触觉传感设备 ,它就可应用于机器人系统中。 展开更多
关键词 微机械式变换器 触点测量 机械测量子系统 光滑位移量 位移测量
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