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微机电系统MEMS仿真与建模
被引量：
1
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作者
杨雪君
《西安航空技术高等专科学校学报》
2011年第5期52-54,共3页
微机电系统是源于微电子加工技术,融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。微机电系统融合了力、电、流体、光、磁、热等多个物理域,随着建模与仿真技术的迅速发展,研究有关微机电系统建模与仿真的基本理论和方法。
关键词
微机
电系统
微机械动力学
仿真与建模
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职称材料
题名
微机电系统MEMS仿真与建模
被引量：
1
1
作者
杨雪君
机构
黄冈职业技术学院机电学院
出处
《西安航空技术高等专科学校学报》
2011年第5期52-54,共3页
文摘
微机电系统是源于微电子加工技术,融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。微机电系统融合了力、电、流体、光、磁、热等多个物理域,随着建模与仿真技术的迅速发展,研究有关微机电系统建模与仿真的基本理论和方法。
关键词
微机
电系统
微机械动力学
仿真与建模
Keywords
MEMS
micro-mechanical dynamics
simulation and model establishment
分类号
TP391.92 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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作者
出处
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1
微机电系统MEMS仿真与建模
杨雪君
《西安航空技术高等专科学校学报》
2011
1
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