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题名微机械元件和仪器新进展
被引量：13
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作者
邵培革
王立鼎
任延同
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机构
大连理工大学机械系
中国科学院长春光学精密机械研究所
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出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1999年第1期10-15,共6页
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基金
国家863计划
辽宁省博士启动基金
博士后基金
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文摘
微机械元件和微机械仪器，适于大批量生产，具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点，近十年来，研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展，展现了美好的前景。
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关键词
微机械
微机械元件
微机械仪器
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Keywords
MEMs,Componets,Instruments
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分类号
TH－39
[机械工程]
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题名一种微机械有限元仿真的多重网格预处理方法
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作者
万蔡辛
李丹东
梁新建
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机构
北京航天控制仪器研究所
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出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2011年第1期84-90,共7页
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基金
国防科技重点预研项目(51309050502)
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文摘
在微机械结构设计中常用有限元方法进行仿真,然而,通用的三维有限元仿真算法在进行有限元分析时耗时较长,影响了仿真效率。针对常规MEMS工艺仅有二维成形能力的特征,提出了将二维多重网格方法融入条件共轭梯度法的预处理的方法。并以一种"三明治"式微加速度计的ANSYS模态分析为具体算例,提出了用多重网格思想对网点分布进行插值以求在不太提高条件数的情况下提高对这类低频非局部振型的模态分析问题的求解精度的二维预处理算法。所提出的多重网络的网络划分预处理算法将预处理前后的同精度分析计算时间由206 min减少到38 min,但相对精度从0.018%降低到了0.038%。这种算法可用于二维成形结构的静力分析和模态分析并提高设计效率。
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关键词
多重网格方法
有限元
预处理
微机械元件
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Keywords
multi-grid method
finite element analysis
precondition
MEMS devices
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分类号
U666.1
[交通运输工程—船舶及航道工程]
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题名微电子机械系统的研究现状
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作者
吴桂君
颐文琪
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机构
中科院电工研究所
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出处
《电工电能新技术》
CSCD
北大核心
1994年第2期29-34,共6页
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文摘
在同一介质上，应用集成电路微细加工技术制作出尺寸在微米范畴的微机械部件，微传感器，微传动装置并将它们与微电子线路在一起形成高性能的闭环控制的微电子机械系统是一门新兴的边缘学科，也开辟了一个全新的工业加工领域，本文简述了微电子机械系统的研究现状及其基础技术。
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关键词
微电子
机械系统
微机械元件
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Keywords
microelectromechnical systens,integrated circuit technique,micromechanical devices
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分类号
TN4
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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