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微机械元件和仪器新进展
被引量：
13
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作者
邵培革
王立鼎
任延同
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1999年第1期10-15,共6页
微机械元件和微机械仪器，适于大批量生产，具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点，近十年来，研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展，展现了美好的前景。
关键词
微机
械
微机
械
元件
微机械仪器
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职称材料
题名
微机械元件和仪器新进展
被引量：
13
1
作者
邵培革
王立鼎
任延同
机构
大连理工大学机械系
中国科学院长春光学精密机械研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1999年第1期10-15,共6页
基金
国家863计划
辽宁省博士启动基金
博士后基金
文摘
微机械元件和微机械仪器，适于大批量生产，具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点，近十年来，研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展，展现了美好的前景。
关键词
微机
械
微机
械
元件
微机械仪器
Keywords
MEMs,Componets,Instruments
分类号
TH－39 [机械工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微机械元件和仪器新进展
邵培革
王立鼎
任延同
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1999
13
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