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微机构可调谐阵列滤光片的设计与模型分析
被引量：
3
1
作者
陈旻
刘旭
李海峰
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第9期1150-1152,共3页
提出一种新颖的采用薄膜技术在玻璃基底上构造微机构可调谐二维窄带滤光片阵列的方法。对器件进行了膜系设计及光谱响应模拟。通过器件的电动力学模型分析，设计出器件的形状与尺寸。
关键词
微
空腔
微机构可调谐阵列滤光片
膜系设计
光谱响应模拟
电动力学模型
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职称材料
题名
微机构可调谐阵列滤光片的设计与模型分析
被引量：
3
1
作者
陈旻
刘旭
李海峰
机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第9期1150-1152,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目
文摘
提出一种新颖的采用薄膜技术在玻璃基底上构造微机构可调谐二维窄带滤光片阵列的方法。对器件进行了膜系设计及光谱响应模拟。通过器件的电动力学模型分析，设计出器件的形状与尺寸。
关键词
微
空腔
微机构可调谐阵列滤光片
膜系设计
光谱响应模拟
电动力学模型
Keywords
MEMS
Micr ocavity
Optical filter array
分类号
TN12 [电子电信—物理电子学]
TB43 [一般工业技术]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微机构可调谐阵列滤光片的设计与模型分析
陈旻
刘旭
李海峰
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
3
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