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优化沉积参数对微晶硅薄膜太阳电池性能的影响
被引量：
1
1
作者
张晓丹
赵颖
+5 位作者
高艳涛
朱锋
魏长春
孙建
耿新华
熊绍珍
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期170-172,169,共4页
本文主要采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备了不同硅烷浓度、辉光功率和反应气体流量的单结微晶硅薄膜太阳电池。电池的I-V测试结果表明:电池的开路电压随功率的降低、硅烷浓度和气体流量的增加而增加,而对应的短路电流密度...
本文主要采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备了不同硅烷浓度、辉光功率和反应气体流量的单结微晶硅薄膜太阳电池。电池的I-V测试结果表明:电池的开路电压随功率的降低、硅烷浓度和气体流量的增加而增加,而对应的短路电流密度在一定的硅烷浓度条件下达到最大,填充因子也在逐渐的增加。文中对具体内容进行了详细的分析。
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关键词
微晶硅薄膜太阳电池
气体流量
硅
烷浓度
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职称材料
基于溅射后腐蚀ZnO的单结微晶硅太阳电池中的陷光研究
被引量：
1
2
作者
白立沙
刘伯飞
+2 位作者
赵慧旭
赵颖
张晓丹
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期801-807,共7页
采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术,研究衬底表面形貌和电学特性的变化对微晶硅单结太阳电池性能的影响。通过对不同腐蚀时间溅射ZnO∶Al衬底及基于此的微晶硅单结电池进行研究发现:衬底表面横纵特征尺寸可通过腐蚀时...
采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术,研究衬底表面形貌和电学特性的变化对微晶硅单结太阳电池性能的影响。通过对不同腐蚀时间溅射ZnO∶Al衬底及基于此的微晶硅单结电池进行研究发现:衬底表面横纵特征尺寸可通过腐蚀时间进行有效调控,光电性能的权衡使其存在最优化衬底腐蚀时间,从而使微晶硅单结电池达到最大光吸收和高电学性能。对衬底陷光结构和电池工艺进一步调整,获得初始效率达10.01%的单结微晶硅薄膜太阳电池,将其应用到非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结叠层电池中,电池效率可达14.51%。
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关键词
微晶硅薄膜太阳电池
VHF-PECVD
衬底
陷光
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职称材料
微晶硅材料和电池特性的相关研究
被引量：
6
3
作者
张晓丹
赵颖
+4 位作者
魏长春
孙建
赵静
耿新华
熊绍珍
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第12期1304-1307,共4页
主要采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备了系列微晶硅材料和电池。通过对材料电学特性、结构特性和电池间性能关系的研究,获得了高效率微晶硅薄膜太阳电池所对应材料的基本特性:暗电导在10^(-8)s/cm量级上,光敏性大于1000,晶...
主要采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备了系列微晶硅材料和电池。通过对材料电学特性、结构特性和电池间性能关系的研究,获得了高效率微晶硅薄膜太阳电池所对应材料的基本特性:暗电导在10^(-8)s/cm量级上,光敏性大于1000,晶化率约50%。进行了制备电池的开路电压和表观带隙之间关系的研究。
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关键词
甚高频等离子体增强化学气相沉积
高效率
微晶硅薄膜太阳电池
表观带隙
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职称材料
题名
优化沉积参数对微晶硅薄膜太阳电池性能的影响
被引量：
1
1
作者
张晓丹
赵颖
高艳涛
朱锋
魏长春
孙建
耿新华
熊绍珍
机构
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所
南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室
光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期170-172,169,共4页
基金
国家"973"重大基础研究发展规划项目(G2000028202G2000028203)
天津市科技攻关项目(No.043186511)
国家自然科学基金项目(No.60506003)
文摘
本文主要采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备了不同硅烷浓度、辉光功率和反应气体流量的单结微晶硅薄膜太阳电池。电池的I-V测试结果表明:电池的开路电压随功率的降低、硅烷浓度和气体流量的增加而增加,而对应的短路电流密度在一定的硅烷浓度条件下达到最大,填充因子也在逐渐的增加。文中对具体内容进行了详细的分析。
关键词
微晶硅薄膜太阳电池
气体流量
硅
烷浓度
Keywords
microcrystalline silicon solar cells
total flow rate
silane concentration
分类号
TK51 [动力工程及工程热物理—热能工程]
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职称材料
题名
基于溅射后腐蚀ZnO的单结微晶硅太阳电池中的陷光研究
被引量：
1
2
作者
白立沙
刘伯飞
赵慧旭
赵颖
张晓丹
机构
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室
出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期801-807,共7页
基金
国家高技术研究发展(863)计划(2013AA050302)
高等学校博士学科点专项科研基金(20120031110039)
文摘
采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术,研究衬底表面形貌和电学特性的变化对微晶硅单结太阳电池性能的影响。通过对不同腐蚀时间溅射ZnO∶Al衬底及基于此的微晶硅单结电池进行研究发现:衬底表面横纵特征尺寸可通过腐蚀时间进行有效调控,光电性能的权衡使其存在最优化衬底腐蚀时间,从而使微晶硅单结电池达到最大光吸收和高电学性能。对衬底陷光结构和电池工艺进一步调整,获得初始效率达10.01%的单结微晶硅薄膜太阳电池,将其应用到非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结叠层电池中,电池效率可达14.51%。
关键词
微晶硅薄膜太阳电池
VHF-PECVD
衬底
陷光
Keywords
microcrystalline silicon thin film solar cells
VHF-PECVD
substrate
分类号
O475 [理学—半导体物理]
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职称材料
题名
微晶硅材料和电池特性的相关研究
被引量：
6
3
作者
张晓丹
赵颖
魏长春
孙建
赵静
耿新华
熊绍珍
机构
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所
南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室
光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学
天津新华职工大学
出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第12期1304-1307,共4页
基金
国家重点基础研究发展973规划项目(2006CB202602
2006CB202603)
+4 种基金
国家自然科学基金项目(60506003)
南开大学博士启动基金(J02031)
科技部国际合作重点项目(2006DFA62390)
国家(973)高技术研究发展规划项目(2007AA05Z436)
教育部新世纪人才计划
文摘
主要采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备了系列微晶硅材料和电池。通过对材料电学特性、结构特性和电池间性能关系的研究,获得了高效率微晶硅薄膜太阳电池所对应材料的基本特性:暗电导在10^(-8)s/cm量级上,光敏性大于1000,晶化率约50%。进行了制备电池的开路电压和表观带隙之间关系的研究。
关键词
甚高频等离子体增强化学气相沉积
高效率
微晶硅薄膜太阳电池
表观带隙
Keywords
very high frequency plasma enhanced chemical vapor deposition
high efficiency microcrystalline silicon solar cells
apparent band-gap
分类号
TK514 [动力工程及工程热物理—热能工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
优化沉积参数对微晶硅薄膜太阳电池性能的影响
张晓丹
赵颖
高艳涛
朱锋
魏长春
孙建
耿新华
熊绍珍
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于溅射后腐蚀ZnO的单结微晶硅太阳电池中的陷光研究
白立沙
刘伯飞
赵慧旭
赵颖
张晓丹
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
微晶硅材料和电池特性的相关研究
张晓丹
赵颖
魏长春
孙建
赵静
耿新华
熊绍珍
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
6
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职称材料
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