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题名大输出微控制力矩陀螺的设计
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作者
常洪龙
白滨
焦文龙
谢建兵
秦子明
苑伟政
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机构
西北工业大学微/纳米系统陕西省重点实验室
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第8期1126-1130,共5页
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基金
国家"863"计划项目(2009AA04Z320)
西安应用材料创新基金项目(XA-AM-200801)
+1 种基金
国家自然科学基金项目(60976087)
航空基金项目(20070853012)
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文摘
为了提高微控制力矩陀螺的输出力矩,提出了一种微型控制力矩陀螺的设计方案。所设计的微型控制力矩陀螺用角振动代替了传统控制力矩陀螺的转动,由转子角振动系统及框架角振动系统组成,实现了基于科氏效应的控制力矩输出。通过框架角振动系统的电极位置居中设置及在玻璃上挖槽的设计,避免了静电吸合现象。四个完全相同的微型控制力矩陀螺构成一个阵列,每两个微型控制力矩陀螺的电压相位依次相差90°,即可消除寄生控制力矩并稳定力矩输出。所设计的微型控制力矩陀螺四单元阵列的力矩输出可达5.12×10-6 Nm。最后,设计了微型控制力矩陀螺两层可动结构的工艺流程,所设计的工艺流程尽管具有一定的复杂性和难度,但均采用了当前一些比较成熟的工艺步骤,具有一定的可行性,有望在微型航天器的姿态控制上得到应用。
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关键词
微机电系统
微控制力矩陀螺
陀螺阵列
姿态控制
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Keywords
MEMS
micro control moment gyroscope
gyroscope array
attitude control
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分类号
TJ765.239
[兵器科学与技术—武器系统与运用工程]
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