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基于小波和支持向量机的光纤微振动传感器模式识别被引量：9: 1; 作者李彦梁正桃 +2 位作者李立京林文台姜漫《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第2期43-45,49,共4页; 为实现对双M-Z型光纤传感器的振动信号进行识别,提出一种基于小波能熵和支持向量机(SVM)的光纤传感信号模式识别方法。该方法对小波分解得到的各频段系数求解其能量信息熵,归一化后得到特征向量。其作为SVM的输入,通过选用合适的核函数... 展开更多; 关键词光纤微振动传感器模式识别小波能熵支持向量机; 在线阅读下载PDF 职称材料

体硅工艺微振动传感器的研制被引量：1: 2; 作者霍明学曲凤秋 +4 位作者王喜莲刘晓为陈强陈伟平张宏华《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第8期1092-1094,共3页; 体硅工艺微振动传感器与表面工艺微振动传感器相比,具有灵敏度高、噪声低等优点.本文研制的体硅工艺微振动传感器,其敏感单元为叉指电极结构,弹性梁采用新颖的多级折梁结构.利用硅深槽刻蚀技术(ICP)制作微振动传感器,ICP的最大刻蚀深度... 展开更多; 关键词体硅工艺微振动传感器多级折梁 ICP 硅深槽刻蚀技术机械灵敏度; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于多谐差相信号的MHD微角振动传感器频率特性测试法: 3; 作者朱占霞李醒飞 +5 位作者刘帆夏赣民李嘉峰李建翔宋林珂闫慧敏《传感技术学报》北大核心 2025年第4期571-578,共8页; 频率特性是衡量MHD微角振动传感器动态性能的重要指标,该指标的准确评估对传感器研制与改进具有重要意义。针对传统的正弦扫频法测试MHD微角振动传感器频率特性效率低的问题,研究了基于多谐差相信号的最小二乘频率特性测试法。通过仿真... 展开更多; 关键词 MHD微角振动传感器频率特性测试多谐差相信号最小二乘; 在线阅读下载PDF 职称材料

光纤读出的微光机电振动传感器被引量：1: 4; 作者肖文李瑞 +1 位作者刘德文伊小素《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1358-1361,共4页; 针对采用半导体工艺加工的微机械结构对振动进行测量的问题,提出了基微光机电系统(MOEMS)结构并采用光纤读出的振动传感器的设计方案,分析了该传感器的基本测量原理并推导了数学模型.该传感器采用单光纤的读出方式,利用固定于探测器敏... 展开更多; 关键词微光机电系统(MOEMS) 微振动传感器反射光强; 在线阅读下载PDF 职称材料

磁流体动力学微角振动传感器自动标定系统设计被引量：2: 5; 作者侯小婷李醒飞刘帆《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2021年第9期6-10,共5页; 基于磁流体动力学(magnetohydrodynamics,MHD)微角振动传感器研制过程中,需要对其频响特性及输出线性度等指标进行测试,这便需要宽频带(3 Hz~1 kHz)内的恒定角速率激励装置及高精度角振动检测装置。基于105-AVT角振动台和XL-80激光干涉... 展开更多; 关键词 MHD微角振动传感器标定系统 105-AVT角振动台激光干涉仪; 在线阅读下载PDF 职称材料

半导体激光干涉仪在微振动测量中的应用被引量：7: 6; 作者钱瑞海孟迎军《红外与激光工程》 EI CSCD 1999年第2期37-39,共3页; 文中介绍一种用半导体激光器构建小型迈克尔逊干涉仪实现对微振动量精确测量的方法，实验证明，这种方法完全可以实现。用这种方法构建的微振动传感器体积小、质量轻。; 关键词半导体激光器干涉仪微振动传感器测量微振动; 在线阅读下载PDF 职称材料

气体对磁流体动力学传感器影响机理的探讨被引量：3: 7; 作者夏赣民李醒飞刘帆《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第4期238-248,共11页; 由于气体和导电流体性质上的差异,导电流体中气体的存在将对磁流体动力学(MHD)传感器的输出特性产生影响。基于电磁感应理论和两相流理论,文章推导并建立了导电流体中含气体的MHD传感器VOF模型。通过ANSYS Fluent对含气体的MHD传感器输... 展开更多; 关键词 MHD微角振动传感器导电流体气液两相流偏心分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种卫星微角振动高精度测量方法被引量：3: 8; 作者吴文韬李醒飞 +1 位作者刘帆徐冲柯《航天器工程》 CSCD 北大核心 2020年第1期16-22,共7页; 卫星微振动引发的结构微角振动限制了高精度卫星指向精度和姿态控制稳定性,因此有必要对其进行在轨测量。为准确测量卫星结构微角振动,文章在对比不同的测量方法后,提出了一种基于磁流体动力学(Magnetohydrodynamics,MHD)微角振动传感... 展开更多; 关键词卫星结构微角振动磁流体动力学微角振动传感器高精度测量振动特性; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于Allan方差解耦自适应滤波的MHD/MEMS信号融合方法被引量：12: 9; 作者李醒飞韩佳辰刘帆《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2020年第2期237-241,共5页; 为满足卫星平台对宽频带角速率测量需求,补偿磁流体动力学(MHD)微角振动传感器低频误差,提出了一种基于Allan方差的解耦自适应Kalman滤波方法,实现了MHD微角振动传感器与MEMS陀螺仪的组合测量。该方法使用Allan方差计算量测噪声的方差,... 展开更多; 关键词 MHD微角振动传感器信号融合自适应Kalman ALLAN方差; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于小波和支持向量机的光纤微振动传感器模式识别被引量：9: 1; 作者李彦梁正桃李立京林文台姜漫; 机构北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第2期43-45,49,共4页; 文摘为实现对双M-Z型光纤传感器的振动信号进行识别,提出一种基于小波能熵和支持向量机(SVM)的光纤传感信号模式识别方法。该方法对小波分解得到的各频段系数求解其能量信息熵,归一化后得到特征向量。其作为SVM的输入,通过选用合适的核函数和多类的分类方法,对SVM多类分类器进行建模。在多种振动信号的条件下,用测试样本对SVM分类器模型进行测试,测试结果表明:该方法对双M-Z型光纤微振动传感器的振动信号的分类达到了较高的识别率。; 关键词光纤微振动传感器模式识别小波能熵支持向量机; Keywords fiber-optic micro vibration sensor mode recognition wavelet energy entropy（WEE） SVM; 分类号 TN919 [电子电信—通信与信息系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名体硅工艺微振动传感器的研制被引量：1: 2; 作者霍明学曲凤秋王喜莲刘晓为陈强陈伟平张宏华; 机构哈尔滨工业大学中心; 出处《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第8期1092-1094,共3页; 文摘体硅工艺微振动传感器与表面工艺微振动传感器相比,具有灵敏度高、噪声低等优点.本文研制的体硅工艺微振动传感器,其敏感单元为叉指电极结构,弹性梁采用新颖的多级折梁结构.利用硅深槽刻蚀技术(ICP)制作微振动传感器,ICP的最大刻蚀深度可达400μm,最小线条宽度小于1μm.传感器的灵敏度可达56 8fF/g,测量范围-5g～5g,抗过载能力高于1000g,共振频率为2 5kHz.; 关键词体硅工艺微振动传感器多级折梁 ICP 硅深槽刻蚀技术机械灵敏度; Keywords Inductively coupled plasma Micromachining Plasma etching Sensitivity analysis Vibration measurement; 分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于多谐差相信号的MHD微角振动传感器频率特性测试法: 3; 作者朱占霞李醒飞刘帆夏赣民李嘉峰李建翔宋林珂闫慧敏; 机构天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室; 出处《传感技术学报》北大核心 2025年第4期571-578,共8页; 基金国家自然科学基金国家重大科研仪器研制项目(61427810) 深海技术科学太湖实验室“揭榜挂帅”项目(2022JBGS03001)。; 文摘频率特性是衡量MHD微角振动传感器动态性能的重要指标,该指标的准确评估对传感器研制与改进具有重要意义。针对传统的正弦扫频法测试MHD微角振动传感器频率特性效率低的问题,研究了基于多谐差相信号的最小二乘频率特性测试法。通过仿真和对比实验,验证该方法的测试效果。实验结果表明,该方法的标度因数的相对误差小于±1.5%,其变异系数不超过1%,相位差的绝对误差不超过±0.50°,其变异系数不超过8%,非线性误差小于±2%;测试结果与正弦扫频法的测试结果相比,测试时间缩短了94.74%。基于多谐差相信号的最小二乘频率特性测试法可代替基于单频正弦信号的正弦扫频法,用于快速准确测试MHD微角振动传感器的频率特性。; 关键词 MHD微角振动传感器频率特性测试多谐差相信号最小二乘; Keywords MHD micro-angular vibration sensor frequency characteristic test SPHS least square; 分类号 TH73 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光纤读出的微光机电振动传感器被引量：1: 4; 作者肖文李瑞刘德文伊小素; 机构北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院; 出处《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1358-1361,共4页; 文摘针对采用半导体工艺加工的微机械结构对振动进行测量的问题,提出了基微光机电系统(MOEMS)结构并采用光纤读出的振动传感器的设计方案,分析了该传感器的基本测量原理并推导了数学模型.该传感器采用单光纤的读出方式,利用固定于探测器敏感头前端的微结构感受待测物体的振动,通过测量由微结构振动引起的反射光强度的变化,实现对振动的测量.单光纤结构的使用和微结构参数的合理设计,使得该系统与传统的光纤读出系统相比,具有灵敏度高、尺寸小、易于同光纤匹配的特点.应用该系统对压电陶瓷的振动情况进行测量,可探测到0.18 nm的位移.; 关键词微光机电系统(MOEMS) 微振动传感器反射光强; Keywords micro-optic-electro-mechanical system （MOEMS） vibration sensor reflective intensity; 分类号 TP212.14 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名磁流体动力学微角振动传感器自动标定系统设计被引量：2: 5; 作者侯小婷李醒飞刘帆; 机构天津大学; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2021年第9期6-10,共5页; 文摘基于磁流体动力学(magnetohydrodynamics,MHD)微角振动传感器研制过程中,需要对其频响特性及输出线性度等指标进行测试,这便需要宽频带(3 Hz~1 kHz)内的恒定角速率激励装置及高精度角振动检测装置。基于105-AVT角振动台和XL-80激光干涉仪搭建了适用于MHD微角振动传感器的自动标定系统,鉴于105-AVT角振动台无法提供恒定角速率激励,建立了角振动台输入电压与输出角速度间的对应关系,并将其移植到LabVIEW软件中,实现了105-AVT角振动台的恒定角速率激励。利用激光干涉仪XL-80输出信号作为测量角速度基准,对MHD微角振动传感器特性进行了实验测试。结果表明,可实现带宽高于1 kHz,0.004~0.12 rad/s的恒定角速率激励,实现自动标定。; 关键词 MHD微角振动传感器标定系统 105-AVT角振动台激光干涉仪; Keywords MHD micro-angle vibration sensor calibration system 105-AVT angle vibration bench laser interferometer; 分类号 TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名半导体激光干涉仪在微振动测量中的应用被引量：7: 6; 作者钱瑞海孟迎军; 机构南京理工大学光电子技术教研室; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 1999年第2期37-39,共3页; 文摘文中介绍一种用半导体激光器构建小型迈克尔逊干涉仪实现对微振动量精确测量的方法，实验证明，这种方法完全可以实现。用这种方法构建的微振动传感器体积小、质量轻。; 关键词半导体激光器干涉仪微振动传感器测量微振动; Keywords Semiconductor laser\ \ Interferometer\ \ Micro vibration sensor; 分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程] TH825 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名气体对磁流体动力学传感器影响机理的探讨被引量：3: 7; 作者夏赣民李醒飞刘帆; 机构天津大学精密测量技术与仪器国家重点实验室; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第4期238-248,共11页; 基金国家自然科学基金(62203322,61733012)项目资助。; 文摘由于气体和导电流体性质上的差异,导电流体中气体的存在将对磁流体动力学(MHD)传感器的输出特性产生影响。基于电磁感应理论和两相流理论,文章推导并建立了导电流体中含气体的MHD传感器VOF模型。通过ANSYS Fluent对含气体的MHD传感器输出特性进行仿真分析,同时搭建试验平台对不同气体含量MHD传感器进行试验验证。结果表明,导电流体中的气泡在低频时容易被拉伸撕裂成小气泡并随着角振动分散,同时使得流体环流场和电场产生偏移和畸变,角振动频率越低,此现象越明显;当导电流体中不含气体时角振动频率和幅值、重力加速度及偏心等外部因素对MHD传感器的输出特性无影响;当导电流体中含有气体时,MHD传感器的输出特性畸变等随气体含量、重力加速度和偏心的增大而增大,随角振动频率和幅值的增大而减小。文章研究成果能够为MHD传感器导电流体灌装工艺控制提供指导,有助于MHD传感器精度和稳定性的提升。; 关键词 MHD微角振动传感器导电流体气液两相流偏心分析; Keywords MHD micro-angular vibration sensor conductive fluid gas-liquid two-phase flow eccentricity analysis; 分类号 TH89 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种卫星微角振动高精度测量方法被引量：3: 8; 作者吴文韬李醒飞刘帆徐冲柯; 机构天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室; 出处《航天器工程》 CSCD 北大核心 2020年第1期16-22,共7页; 基金国家自然科学基金国家重大科研仪器研制项目(61427810) 国家自然科学基金重点项目(61733012); 文摘卫星微振动引发的结构微角振动限制了高精度卫星指向精度和姿态控制稳定性,因此有必要对其进行在轨测量。为准确测量卫星结构微角振动,文章在对比不同的测量方法后,提出了一种基于磁流体动力学(Magnetohydrodynamics,MHD)微角振动传感器的卫星结构微角振动高精度测量方法,并针对由动量轮引起的有效载荷微角振动的特性,进行了仿真和试验验证。试验结果表明,其测量精度满足现阶段卫星控制的要求。此方法能为卫星扰动源的定位及卫星的主动减振反馈提供依据。; 关键词卫星结构微角振动磁流体动力学微角振动传感器高精度测量振动特性; Keywords satellite structure micro-angular vibration Magnetohydrodynamics micro-angular vibration sensor high-precision measurement vibration characteristic; 分类号 V441 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于Allan方差解耦自适应滤波的MHD/MEMS信号融合方法被引量：12: 9; 作者李醒飞韩佳辰刘帆; 机构天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室; 出处《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2020年第2期237-241,共5页; 基金国家自然科学基金(61427810)。; 文摘为满足卫星平台对宽频带角速率测量需求,补偿磁流体动力学(MHD)微角振动传感器低频误差,提出了一种基于Allan方差的解耦自适应Kalman滤波方法,实现了MHD微角振动传感器与MEMS陀螺仪的组合测量。该方法使用Allan方差计算量测噪声的方差,克服了标准Kalman滤波对模型参数精确性要求较高的缺点,同时避免了自适应Kalman噪声参数耦合易滤波发散的问题。实验证明解耦自适应Kalman对单频和混频信号均实现较好融合效果,均方误差降低至融合前的30%,信噪比改善超过10 dB。融合后的输出信号满足卫星千赫兹带宽的测量需求,可用于惯性测量单元中。; 关键词 MHD微角振动传感器信号融合自适应Kalman ALLAN方差; Keywords MHD angular rate sensor sensor fusion adaptive Kalman Allan variance; 分类号 V241.5 [航空宇航科学与技术—飞行器设计] V448.2 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于小波和支持向量机的光纤微振动传感器模式识别	李彦梁正桃李立京林文台姜漫	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2013	9	在线阅读下载PDF 职称材料
2	体硅工艺微振动传感器的研制	霍明学曲凤秋王喜莲刘晓为陈强陈伟平张宏华	《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2004	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于多谐差相信号的MHD微角振动传感器频率特性测试法	朱占霞李醒飞刘帆夏赣民李嘉峰李建翔宋林珂闫慧敏	《传感技术学报》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	光纤读出的微光机电振动传感器	肖文李瑞刘德文伊小素	《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2006	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	磁流体动力学微角振动传感器自动标定系统设计	侯小婷李醒飞刘帆	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2021	2	在线阅读下载PDF 职称材料
6	半导体激光干涉仪在微振动测量中的应用	钱瑞海孟迎军	《红外与激光工程》 EI CSCD	1999	7	在线阅读下载PDF 职称材料
7	气体对磁流体动力学传感器影响机理的探讨	夏赣民李醒飞刘帆	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2023	3	在线阅读下载PDF 职称材料
8	一种卫星微角振动高精度测量方法	吴文韬李醒飞刘帆徐冲柯	《航天器工程》 CSCD 北大核心	2020	3	在线阅读下载PDF 职称材料
9	基于Allan方差解耦自适应滤波的MHD/MEMS信号融合方法	李醒飞韩佳辰刘帆	《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心	2020	12	在线阅读下载PDF 职称材料