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不同激发频率下小型感应耦合等离子体特性研究
被引量：
1
1
作者
高璇
辛煜
+1 位作者
黄晓江
宁兆元
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第5期504-508,共5页
等离子体小型化后往往会产生一些独特的等离子体性质。本文采用朗谬尔探针和高分辨率发射光谱技术对不同激发频率下产生的小型感应耦合等离子体进行了测量,选用的三种频率为13.56MHz,27.12MHz和40.68MHz。朗谬尔探针的实验结果表明,随...
等离子体小型化后往往会产生一些独特的等离子体性质。本文采用朗谬尔探针和高分辨率发射光谱技术对不同激发频率下产生的小型感应耦合等离子体进行了测量,选用的三种频率为13.56MHz,27.12MHz和40.68MHz。朗谬尔探针的实验结果表明,随着射频输入功率的增加以及激发频率的上升均会导致等离子体功率吸收的增强,从而导致了离子密度增大和电子温度下降。利用了气体追踪法测量感应放电中的气体温度,可以发现,由于电子诱导加热的作用,气体温度随气压和输入功率的增加而增加,射频频率的提高也有助于等离子体气体温度的上升。
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关键词
微感应耦合等离子体
朗谬尔探针
发射光谱
离子
密度
电子温度
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职称材料
题名
不同激发频率下小型感应耦合等离子体特性研究
被引量：
1
1
作者
高璇
辛煜
黄晓江
宁兆元
机构
苏州大学物理科学与技术学院
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第5期504-508,共5页
基金
国家自然科学基金项目资助(No.10775103)
文摘
等离子体小型化后往往会产生一些独特的等离子体性质。本文采用朗谬尔探针和高分辨率发射光谱技术对不同激发频率下产生的小型感应耦合等离子体进行了测量,选用的三种频率为13.56MHz,27.12MHz和40.68MHz。朗谬尔探针的实验结果表明,随着射频输入功率的增加以及激发频率的上升均会导致等离子体功率吸收的增强,从而导致了离子密度增大和电子温度下降。利用了气体追踪法测量感应放电中的气体温度,可以发现,由于电子诱导加热的作用,气体温度随气压和输入功率的增加而增加,射频频率的提高也有助于等离子体气体温度的上升。
关键词
微感应耦合等离子体
朗谬尔探针
发射光谱
离子
密度
电子温度
Keywords
Miniaturizde inductively coupled plasma, Langmuir Probe, Optical emission spectroscopy, Ion density, Electron temperature
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
不同激发频率下小型感应耦合等离子体特性研究
高璇
辛煜
黄晓江
宁兆元
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
1
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