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微机械陀螺仪的微结构分析与设计
被引量:
4
1
作者
贾建援
王志荣
冯小平
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第5期512-515,共4页
针对基于微米技术的微机械陀螺检测功能微弱的现象 ,本文建立了振动轮式微机械陀螺仪的机电系统动力学模型。经对某微陀螺结构的仿真计算发现 ,哥氏阻尼力随激励哥氏力增大而增大 ,造成电容检测信号极为微弱 ,无论激励的幅度和频率如何...
针对基于微米技术的微机械陀螺检测功能微弱的现象 ,本文建立了振动轮式微机械陀螺仪的机电系统动力学模型。经对某微陀螺结构的仿真计算发现 ,哥氏阻尼力随激励哥氏力增大而增大 ,造成电容检测信号极为微弱 ,无论激励的幅度和频率如何。为此 ,本文给出了一种新型振动轮式微陀螺结构 ,可减小哥氏阻尼力 ,相对增大了激励哥氏力。这种新型结构显著增强了电容检测信号 ,而且具有双轴微陀螺功能、对耦合线加速度不敏感等特点。
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关键词
微
机械陀螺仪
微
电子机械系统
微惯量测量组合
机电系统动力学
微
结构设计
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职称材料
题名
微机械陀螺仪的微结构分析与设计
被引量:
4
1
作者
贾建援
王志荣
冯小平
机构
西安电子科技大学机电工程学院
西安电子科技大学电子工程学院
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第5期512-515,共4页
文摘
针对基于微米技术的微机械陀螺检测功能微弱的现象 ,本文建立了振动轮式微机械陀螺仪的机电系统动力学模型。经对某微陀螺结构的仿真计算发现 ,哥氏阻尼力随激励哥氏力增大而增大 ,造成电容检测信号极为微弱 ,无论激励的幅度和频率如何。为此 ,本文给出了一种新型振动轮式微陀螺结构 ,可减小哥氏阻尼力 ,相对增大了激励哥氏力。这种新型结构显著增强了电容检测信号 ,而且具有双轴微陀螺功能、对耦合线加速度不敏感等特点。
关键词
微
机械陀螺仪
微
电子机械系统
微惯量测量组合
机电系统动力学
微
结构设计
Keywords
Microgyroscope Microelectromechanical system (MEMS) Micro inertia measure unit (MIMU) Electromechanical system dynamics Micro structure design
分类号
V241.5 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
微机械陀螺仪的微结构分析与设计
贾建援
王志荣
冯小平
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
4
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