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毫牛级微弱力测量的研究进展
1
作者
鲜欣妍
李佳慧
+4 位作者
汪永其
朱周洪
周俊
赵天琦
沈常宇
《传感技术学报》
北大核心
2025年第2期191-201,共11页
毫牛级微弱力检测在人工智能、航空航天等领域的应用广泛。毫牛级微弱力的测量大多都是将微弱力转化为其他物理量的变化来实现的,据此可分类为:位移式测量和应变式测量。其中位移式测量包括天平结构、扭摆结构、摆锤结构和悬臂梁结构;...
毫牛级微弱力检测在人工智能、航空航天等领域的应用广泛。毫牛级微弱力的测量大多都是将微弱力转化为其他物理量的变化来实现的,据此可分类为:位移式测量和应变式测量。其中位移式测量包括天平结构、扭摆结构、摆锤结构和悬臂梁结构;应变式测量包括基于电阻应变片、光纤和压电式的微弱力测量。着重介绍了上述测量方式主要模型的检测原理、经典结构以及研究进展;分析和比较了目前几种方法测量毫牛级微弱力的适用性以及不足,对未来微弱力测量的研究方向进行了展望。
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关键词
微弱力测量
毫牛级
力
位移式
应变式
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职称材料
基于环境扫描电镜的联合成像表征操纵及微加工设备功能群
被引量：
5
2
作者
敖卓
陈佩佩
+5 位作者
殷伯华
谢家仪
孙全梅
齐若梅
韩立
韩东
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2015年第1期48-54,共7页
环境扫描电子显微镜是在扫描电子显微镜基础上引入可以进行在含水条件下观察非导电性样本的相关技术,因此其极为适合生物样本的观察。基于环境扫描电子显微镜平台,本课题组发展了一整套集形貌观察、物性测量、三维微操控和电子束微加工...
环境扫描电子显微镜是在扫描电子显微镜基础上引入可以进行在含水条件下观察非导电性样本的相关技术,因此其极为适合生物样本的观察。基于环境扫描电子显微镜平台,本课题组发展了一整套集形貌观察、物性测量、三维微操控和电子束微加工为一体的设备功能群,集经典生物医学研究方法:表征、解剖、取样、标记,延伸入微、纳米介观层次,为更加深入研究生物医学问题提供实用的工具。本文对此进行了详细地说明和介绍,并举例说明其在医学、材料、微弱力测量和微加工等方面的应用。
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关键词
环境扫描电子显微镜
低真空模式
微操纵
微弱力测量
电子束曝光
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职称材料
题名
毫牛级微弱力测量的研究进展
1
作者
鲜欣妍
李佳慧
汪永其
朱周洪
周俊
赵天琦
沈常宇
机构
中国计量大学光学与电子科技学院
出处
《传感技术学报》
北大核心
2025年第2期191-201,共11页
基金
国家重点研发项目(2021YFF0600203)
国家自然科学基金项目(12274386)
浙江省重点研发项目(2021C01179)。
文摘
毫牛级微弱力检测在人工智能、航空航天等领域的应用广泛。毫牛级微弱力的测量大多都是将微弱力转化为其他物理量的变化来实现的,据此可分类为:位移式测量和应变式测量。其中位移式测量包括天平结构、扭摆结构、摆锤结构和悬臂梁结构;应变式测量包括基于电阻应变片、光纤和压电式的微弱力测量。着重介绍了上述测量方式主要模型的检测原理、经典结构以及研究进展;分析和比较了目前几种方法测量毫牛级微弱力的适用性以及不足,对未来微弱力测量的研究方向进行了展望。
关键词
微弱力测量
毫牛级
力
位移式
应变式
Keywords
weak force measurement
millinewton force
displacement type
strain type
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH823 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
基于环境扫描电镜的联合成像表征操纵及微加工设备功能群
被引量：
5
2
作者
敖卓
陈佩佩
殷伯华
谢家仪
孙全梅
齐若梅
韩立
韩东
机构
国家纳米科学中心
中国科学院电工研究所
卫生部北京医院
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2015年第1期48-54,共7页
基金
中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目(No.Y2332911ZX)
中国科学院科研装备研制和改造项目(Nos.Y2005024
YZ201201)
文摘
环境扫描电子显微镜是在扫描电子显微镜基础上引入可以进行在含水条件下观察非导电性样本的相关技术,因此其极为适合生物样本的观察。基于环境扫描电子显微镜平台,本课题组发展了一整套集形貌观察、物性测量、三维微操控和电子束微加工为一体的设备功能群,集经典生物医学研究方法:表征、解剖、取样、标记,延伸入微、纳米介观层次,为更加深入研究生物医学问题提供实用的工具。本文对此进行了详细地说明和介绍,并举例说明其在医学、材料、微弱力测量和微加工等方面的应用。
关键词
环境扫描电子显微镜
低真空模式
微操纵
微弱力测量
电子束曝光
Keywords
ESEM
low vacuum mode
micro manipulation
micro force measurement
electron beam lithography
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
Q336 [生物学—遗传学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
毫牛级微弱力测量的研究进展
鲜欣妍
李佳慧
汪永其
朱周洪
周俊
赵天琦
沈常宇
《传感技术学报》
北大核心
2025
0
在线阅读
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职称材料
2
基于环境扫描电镜的联合成像表征操纵及微加工设备功能群
敖卓
陈佩佩
殷伯华
谢家仪
孙全梅
齐若梅
韩立
韩东
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2015
5
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职称材料
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