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基于微带环缝谐振器的小功率微波等离子体源
被引量：
2
1
作者
廖斌
张少君
+1 位作者
赵娜
朱守正
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期372-376,共5页
介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45 GHz小功率微波等离子体源,根据微带环缝谐振器的奇模等效电路,通过S参数与微波等离子体阻抗之间的关系,研究小功率微波等离子体源的阻抗匹配及其在不同气体条件下的放电规律.研究表明,在低气压(空气...
介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45 GHz小功率微波等离子体源,根据微带环缝谐振器的奇模等效电路,通过S参数与微波等离子体阻抗之间的关系,研究小功率微波等离子体源的阻抗匹配及其在不同气体条件下的放电规律.研究表明,在低气压(空气)和常压(氩气)条件下,输入功率不超过1 W,都能使气体放电并激励起稳定的微波等离子体;当微波等离子体激励以后,小功率微波等离子体源的谐振频率和S参数发生变化.这些为小功率电容耦合微波等离子体源的小型化研究提供了理论基础.
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关键词
微带环缝谐振器
小功率微波等离子体源
阻抗匹配
气体放电
S参数
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职称材料
基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模与仿真
被引量：
4
2
作者
廖斌
张少君
朱守正
《电子与信息学报》
EI
CSCD
北大核心
2007年第10期2512-2516,共5页
该文介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模方法。根据半波长终端开路谐振器的特性,通过选择合适的缝隙宽度和偏转角度、介质基片的介电常数等,使微带环缝谐振器的品质因数最大,同时与馈电端良好匹配。研究...
该文介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模方法。根据半波长终端开路谐振器的特性,通过选择合适的缝隙宽度和偏转角度、介质基片的介电常数等,使微带环缝谐振器的品质因数最大,同时与馈电端良好匹配。研究表明,实验结果与仿真结果基本吻合,这为小功率微型微波等离子体源的进一步研究提供了理论基础。
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关键词
微波等离子体源
微带环缝谐振器
品质因数
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职称材料
题名
基于微带环缝谐振器的小功率微波等离子体源
被引量：
2
1
作者
廖斌
张少君
赵娜
朱守正
机构
华东师范大学电子工程系
出处
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期372-376,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(60471015)
文摘
介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45 GHz小功率微波等离子体源,根据微带环缝谐振器的奇模等效电路,通过S参数与微波等离子体阻抗之间的关系,研究小功率微波等离子体源的阻抗匹配及其在不同气体条件下的放电规律.研究表明,在低气压(空气)和常压(氩气)条件下,输入功率不超过1 W,都能使气体放电并激励起稳定的微波等离子体;当微波等离子体激励以后,小功率微波等离子体源的谐振频率和S参数发生变化.这些为小功率电容耦合微波等离子体源的小型化研究提供了理论基础.
关键词
微带环缝谐振器
小功率微波等离子体源
阻抗匹配
气体放电
S参数
Keywords
microstrip split-ring resonator
low power microwave plasma source
impedance matching
gasdischarge
S parameter
分类号
TN99 [电子电信—信号与信息处理]
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职称材料
题名
基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模与仿真
被引量：
4
2
作者
廖斌
张少君
朱守正
机构
华东师范大学信息学院电子系
出处
《电子与信息学报》
EI
CSCD
北大核心
2007年第10期2512-2516,共5页
基金
国家自然科学基金(60471015)资助课题
文摘
该文介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模方法。根据半波长终端开路谐振器的特性,通过选择合适的缝隙宽度和偏转角度、介质基片的介电常数等,使微带环缝谐振器的品质因数最大,同时与馈电端良好匹配。研究表明,实验结果与仿真结果基本吻合,这为小功率微型微波等离子体源的进一步研究提供了理论基础。
关键词
微波等离子体源
微带环缝谐振器
品质因数
Keywords
Microwave plasma source
Microstrip split-ring resonator
Quality factor
分类号
TN015 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
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出处
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1
基于微带环缝谐振器的小功率微波等离子体源
廖斌
张少君
赵娜
朱守正
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
2
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职称材料
2
基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模与仿真
廖斌
张少君
朱守正
《电子与信息学报》
EI
CSCD
北大核心
2007
4
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