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面阵对称翻转变换用于F-P微小角度测量系统 被引量:1
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作者 吴晨光 沈小燕 周世南 《中国测试》 北大核心 2025年第1期111-118,共8页
法布里珀罗(F-P)标准具应用于位移和角度测量时,其干涉成像同心圆环圆心坐标的准确计算对测量结果具有关键影响。针对面阵CCD传感器上干涉成像同心圆环在移动时存在的误差,利用干涉成像同心圆环有效信息,提出一种面阵像元正反细分的对... 法布里珀罗(F-P)标准具应用于位移和角度测量时,其干涉成像同心圆环圆心坐标的准确计算对测量结果具有关键影响。针对面阵CCD传感器上干涉成像同心圆环在移动时存在的误差,利用干涉成像同心圆环有效信息,提出一种面阵像元正反细分的对称翻转算法,在理论分析的基础上进行算法和实验验证。将该算法应用于F-P微小角度测量系统并进行比对实验研究。实验结果表明该算法可将圆心坐标标准差减小至0.0028个像素单位;在±150″测量范围内,F-P微小角度测量系统的测量值与ELCOMAT HR自准直仪两者的示值误差不大于0.38″,经拟合修正后两者示值误差不大于0.06″,测量准确度得到有效提高。 展开更多
关键词 F-P标准具 对称翻转变换 像元平滑细分 圆心坐标计算 微小角度测量
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微小角度测量装置不确定度分析及实验研究 被引量:2
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作者 李蕾 沈小燕 +1 位作者 张旭洋 刘畅 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2024年第6期1-6,15,共7页
为了准确获得基于法布里-珀罗(F-P)标准具的微小角度测量装置的测量精度,采用测量不确定度评定指南法(GUM)和蒙特卡洛法(MCM)分别进行角度测量不确定度研究。建立了GUM不确定度评定模型和MCM不确定度评定数学模型,采用正反转测角差法调... 为了准确获得基于法布里-珀罗(F-P)标准具的微小角度测量装置的测量精度,采用测量不确定度评定指南法(GUM)和蒙特卡洛法(MCM)分别进行角度测量不确定度研究。建立了GUM不确定度评定模型和MCM不确定度评定数学模型,采用正反转测角差法调整反射镜初始位置,完成了150″的角度测量重复性实验,获得了不同评定方法下的测量不确定度。评定结果显示,在150″测量范围内,GUM不确定度评定结果为0.0375″,MCM不确定度评定结果为0.0400″,在给定的0.0005″允差范围内,GUM未通过MCM验证,在当前及类似应用场景下应当采用MCM进行不确定度评定。通过正态概率图法对被测角度进行正态分布检验,2种评定方法测量不确定度结果不一致是由被测角度的分布函数偏离正态分布引起的。 展开更多
关键词 微小角度测量 测量不确定度 测量不确定度评定指南法 蒙特卡洛法 法布里-珀罗标准具
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基于DVD光学头的二维微小角度测量研究 被引量:4
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作者 韩彬 黄强先 +2 位作者 伍婷婷 李瑞君 陈丽娟 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2015年第12期107-109,共3页
为了实现精密平台二维角度的在线检测,提出了一种基于DVD光学头的二维微小角度测量的方法。利用DVD光学头进行角度测量,是基于激光自准直原理,以四象限光电探测器作为检测元件,以固定在被测物上的反射镜作为被测元件进行测量的一种角度... 为了实现精密平台二维角度的在线检测,提出了一种基于DVD光学头的二维微小角度测量的方法。利用DVD光学头进行角度测量,是基于激光自准直原理,以四象限光电探测器作为检测元件,以固定在被测物上的反射镜作为被测元件进行测量的一种角度测量方法。搭建了基于英国RPI精密转台的实验系统,对测量方法进行了实验测试。结果表明:基于DVD光学读取头设计的二维角度测量装置测量范围为±110″,平均分辨率达到0.2″。该测量方法稳定、可行,且测量装置具有结构紧凑、成本低等特点。 展开更多
关键词 光学头 二维角度 微小角度测量 自准直原理
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基于法布里−珀罗标准具的微小角度测量及不确定度评定方法 被引量:5
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作者 刘源 沈小燕 +4 位作者 周世南 郭旭波 禹静 李东升 蓝旭辉 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第7期161-172,共12页
研究了一种基于法布里−珀罗标准具多光束干涉成像的微小角度测量方法。通过计算同心干涉圆环圆心位置变化量(圆心位移量)和成像物镜焦距,实现反射镜微小偏转角度的测量。采用相对测量原理,构建了基于圆心位移量不确定度分量和成像物镜... 研究了一种基于法布里−珀罗标准具多光束干涉成像的微小角度测量方法。通过计算同心干涉圆环圆心位置变化量(圆心位移量)和成像物镜焦距,实现反射镜微小偏转角度的测量。采用相对测量原理,构建了基于圆心位移量不确定度分量和成像物镜焦距不确定度分量的微小角度测量不确定度评定模型。选取2 mm间隔的F-P标准具进行微小角度的测量实验研究,并进行了数据处理。实验结果表明,在600″微小角度测量范围内,测量不确定度不大于0.132″;在40″微小角度测量范围内,测量不确定度不大于0.045″。该方法可为具有自校准特性的、更高准确度的微小角度测量的实现提供参考。 展开更多
关键词 微小角度测量 法布里−珀罗标准具 高准确度 不确定度评定 测量方法
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基于CCD的微小角度测量方法 被引量:4
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作者 李亮 孙华燕 《四川兵工学报》 CAS 2012年第10期97-99,共3页
针对光电转台转动静态参数的测试问题,提出一种应用激光器、CCD等器件的微小角度测量方法。通过CCD获取光电转台转动前后反射激光束在CCD靶面上的光斑位置,应用图像灰度级加权质心法提取光斑图像光心位置变化,最终通过数据统计算出微小... 针对光电转台转动静态参数的测试问题,提出一种应用激光器、CCD等器件的微小角度测量方法。通过CCD获取光电转台转动前后反射激光束在CCD靶面上的光斑位置,应用图像灰度级加权质心法提取光斑图像光心位置变化,最终通过数据统计算出微小角度值。实验结果证明,提出的微小角度测量方法具有结构简单、对准要求低、操作简单等特点,最小测角分辨率可达2.96μrad(0.6″)。 展开更多
关键词 微小角度测量 质心法 灰度级加权
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F-P标准具多光束干涉成像实现微小角度自校准测量 被引量:10
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作者 周世南 沈小燕 +1 位作者 李东升 吴晨光 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期275-284,共10页
利用干涉级次小数部分计算得到成像物镜相对焦距值,结合微小角度引起的相对位移值,实现微小角度测量的自校准。仿真计算了小数重合法的算法误差及温湿度误差,并实现了F-P间隔计算结果的修正,设计了可自校准的微小角度测量实验装置,通过... 利用干涉级次小数部分计算得到成像物镜相对焦距值,结合微小角度引起的相对位移值,实现微小角度测量的自校准。仿真计算了小数重合法的算法误差及温湿度误差,并实现了F-P间隔计算结果的修正,设计了可自校准的微小角度测量实验装置,通过测量实验得到了间隔修正前后成像物镜焦距值及微小角度测量结果。实验结果表明:在当前实验条件下,经修正后的焦距测量相对扩展不确定度从0.014减小到0.007,600″测量范围内的角度测量不确定度从0.132″减小到0.084″,微小角度测量的准确度得到有效提升。 展开更多
关键词 微小角度测量 自校准 F-P标准具 小数重合法 不确定度
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精密光电小角度测量技术研究 被引量:9
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作者 劳达宝 王国名 +3 位作者 崔成君 李维 何洋 周维虎 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第9期106-113,共8页
提出一种能够实现目标微小角度精密测量和空间精密角度定位的新型光电测量系统。首先建立了基于动态光学理论的光电小角度测量模型和空间基准传递模型,阐述了系统测量原理;然后基于测量模型和误差来源进行总体的方案设计,提出以降低误... 提出一种能够实现目标微小角度精密测量和空间精密角度定位的新型光电测量系统。首先建立了基于动态光学理论的光电小角度测量模型和空间基准传递模型,阐述了系统测量原理;然后基于测量模型和误差来源进行总体的方案设计,提出以降低误差为目的的系统方案设计,并且使用最小二乘法进行角度误差补偿;最后进行了系统小角度测量精度和空间定位角度精度测试。最终实验结果表明,小角度测试误差±0.6″,空间角度基准传递(横竖轴)误差≤1″,可以满足通常条件下的使用要求。 展开更多
关键词 微小角度测量 动态光学理论 误差补偿
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SAW陀螺效应声光衍射角度及其微小变化的CCD检测系统(英文) 被引量:2
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作者 刘骏跃 陈明 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期800-804,共5页
声表面波(SAW)陀螺效应表现为SAW介质旋转角速度Ω对SAW波速的调制作用,以及对布拉格衍射角的调制作用.因此,通过测量声光布拉格衍射光的偏转角度,可以反推被测SAW介质的旋转角速度Ω.理论计算表明布拉格衍射角及其变化十分微小(弧分、... 声表面波(SAW)陀螺效应表现为SAW介质旋转角速度Ω对SAW波速的调制作用,以及对布拉格衍射角的调制作用.因此,通过测量声光布拉格衍射光的偏转角度,可以反推被测SAW介质的旋转角速度Ω.理论计算表明布拉格衍射角及其变化十分微小(弧分、秒数量级),所以能否在实践中成功地检测受Ω调制的布拉格衍射角,关系到SAW陀螺效应声光探测和检测方案的成败.在扼要说明了Ω调制布拉格衍射角的物理原理后,初步设计了布拉格衍射角的CCD测量系统并讨论了影响其测角精度的若干关键技术. 展开更多
关键词 SAW陀螺效应 布拉格衍射 微小角度测量 CCD 分辨率
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前镜参考型非定域干涉测角系统研究
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作者 方振远 张宝武 +3 位作者 朱玲 许子杰 孙怡 罗贤欢 《现代电子技术》 北大核心 2025年第16期75-80,共6页
非定域干涉测角系统利用其产生的同心干涉圆环圆心侧移量来描述被测角度的变化。针对该技术中圆心侧移方向与被测角偏转方向的关系、系统有效测量量程大小、仪器分辨率高低等方面的问题,以前镜参考型结构系统为对象,采用虚拟仿真和实体... 非定域干涉测角系统利用其产生的同心干涉圆环圆心侧移量来描述被测角度的变化。针对该技术中圆心侧移方向与被测角偏转方向的关系、系统有效测量量程大小、仪器分辨率高低等方面的问题,以前镜参考型结构系统为对象,采用虚拟仿真和实体实验相结合的方式进行深入探究。首先建立了前镜参考型测角系统中干涉同心圆环的圆心侧移与被测角偏转之间的理论关系,其次构建了Zemax虚拟仿真模型进行仿真验证,最终搭建实体仪器进行测试。实验结果表明:前镜参考型非定域干涉测角系统的干涉圆心侧移方向与被测角度偏转方向相同;在既定参数条件下,系统最大有效量程为900 mm,分辨率随测量量程的增大而逐渐降低,最小量程时最高分辨率为0.024 6″。该前镜参考型非定域干涉测角系统具有测量精度高、应用场景广、可根据测量任务灵活地调整分辨率和测量范围等优点,可以胜任小角度及直线度测量。 展开更多
关键词 非定域干涉 Tolansky干涉 微小角度测量 激光干涉技术 干涉测角系统 光学仿真
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