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FIB/SEM双束系统样品旋转器研制
1
作者
郭海林
王大森
+3 位作者
王伟
黄思玲
夏超翔
赵仕燕
《实验室研究与探索》
CAS
北大核心
2024年第12期39-42,63,共5页
针对聚焦离子束/扫描电子显微镜双束系统中样品工作台无法实现回转微小特征结构的定位、成像和多自由度加工等难题,研制真空环境下基于步进电动机驱动的高精度样品旋转器。采用NX10.0计算机辅助设计软件建立样品旋转器三维数字模型;开...
针对聚焦离子束/扫描电子显微镜双束系统中样品工作台无法实现回转微小特征结构的定位、成像和多自由度加工等难题,研制真空环境下基于步进电动机驱动的高精度样品旋转器。采用NX10.0计算机辅助设计软件建立样品旋转器三维数字模型;开展运动部件的运动模拟仿真,避免了工作时出现运动干涉情况;采用ANSYS有限元软件对其关键部组件的静动态特性进行仿真分析和优化,保证了该部件的工作精度和工作强度的要求,样品旋转器的最大转速为30 r/min,角度分辨率达到了0.0014°。所研制的样品旋转器具有精度高、操作简单等特点,为聚焦离子束加工下一代高精度三维微纳光子集成器件提供了参考。
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关键词
FIB/SEM双束系统
微小特征结构
样品旋转器
有限元分析
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职称材料
题名
FIB/SEM双束系统样品旋转器研制
1
作者
郭海林
王大森
王伟
黄思玲
夏超翔
赵仕燕
机构
中国兵器科学研究院宁波分院
南京理工大学机械工程学院
浙江大学光电科学与工程学院极端光学技术与仪器全国重点实验室
出处
《实验室研究与探索》
CAS
北大核心
2024年第12期39-42,63,共5页
基金
国家基础加强计划技术领域基金项目(2022-JCJQ-JJ-0139)。
文摘
针对聚焦离子束/扫描电子显微镜双束系统中样品工作台无法实现回转微小特征结构的定位、成像和多自由度加工等难题,研制真空环境下基于步进电动机驱动的高精度样品旋转器。采用NX10.0计算机辅助设计软件建立样品旋转器三维数字模型;开展运动部件的运动模拟仿真,避免了工作时出现运动干涉情况;采用ANSYS有限元软件对其关键部组件的静动态特性进行仿真分析和优化,保证了该部件的工作精度和工作强度的要求,样品旋转器的最大转速为30 r/min,角度分辨率达到了0.0014°。所研制的样品旋转器具有精度高、操作简单等特点,为聚焦离子束加工下一代高精度三维微纳光子集成器件提供了参考。
关键词
FIB/SEM双束系统
微小特征结构
样品旋转器
有限元分析
Keywords
FIB/SEM double beam system
micro feature structure
sample rotator
finite element analysis
分类号
TH122 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
FIB/SEM双束系统样品旋转器研制
郭海林
王大森
王伟
黄思玲
夏超翔
赵仕燕
《实验室研究与探索》
CAS
北大核心
2024
0
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