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压电微位移器在超微定位系统中的应用 被引量:12
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作者 王建林 刘文晖 +1 位作者 胡晓东 胡小唐 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1997年第2期95-97,共3页
介绍了压电微位移器在超微定位系统中的应用,给出了一种二维超微定位机构及其控制系统。实验结果:定位系统行程10 μm,定位精度10 nm,定位分辨力2 nm。
关键词 压电位移器 微定位系统 压电陶瓷
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大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计 被引量:5
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作者 糜小涛 于宏柱 +3 位作者 高键翔 于海利 张善文 齐向东 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期473-480,共8页
针对衍射光栅刻划机开环控制的定位精度不能满足指标要求的问题,在刻划机已有的状态和结构下,设计了微定位系统的控制器。首先,介绍了衍射光栅刻划机,分析了微定位系统及其定位精度指标。然后,运用系统辨识的方法,设计了微定位系统的扫... 针对衍射光栅刻划机开环控制的定位精度不能满足指标要求的问题,在刻划机已有的状态和结构下,设计了微定位系统的控制器。首先,介绍了衍射光栅刻划机,分析了微定位系统及其定位精度指标。然后,运用系统辨识的方法,设计了微定位系统的扫频实验,建立其数学模型。接着,提出了在已有数学模型的基础上,运用实际测量数据和MATLAB/Simulink软件仿真试凑来设计控制器的方法,并设计了满足精度指标要求的控制器。最后,将设计的控制器应用于微定位系统并进行模拟刻划实验,实验结果可知:所设计的微定位系统控制器定位精度基本满足指标要求,其中峰-峰值小于40 nm,RSM值总体略大于2.8 nm。 展开更多
关键词 微定位系统 控制器设计 数学模型 定位精度
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三维一体化超微定位系统性能的研究 被引量:4
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作者 胡晓东 胡小唐 杨勇 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第11期1201-1203,共3页
提出一种以双柔性平行4 杆结构和柔性8 杆对称联动结构为导向机构、压电陶瓷为驱动器的三维一体化超微定位机构。针对高精度定位的需要,设计了数字闭环控制系统,引入数字PID模糊控制器以提高系统的定位性能。
关键词 三维一体化 微定位系统 定位 压电陶瓷
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光学显微定位系统定位精度分析
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作者 陈雄 邹湘军 +1 位作者 樊科 卢俊 《计算机应用》 CSCD 北大核心 2019年第4期1157-1161,共5页
为了提高光学显微定位系统对细胞微生物识别定位的精度:一方面,必须改进手眼标定方法;另一方面,需要提高全局图像识别的准确性,因此,提出一种两步法对系统进行手眼标定。首先,通过标定固定靶标来确定系统原点,并得到视觉模块相对于系统... 为了提高光学显微定位系统对细胞微生物识别定位的精度:一方面,必须改进手眼标定方法;另一方面,需要提高全局图像识别的准确性,因此,提出一种两步法对系统进行手眼标定。首先,通过标定固定靶标来确定系统原点,并得到视觉模块相对于系统原点的转换关系;然后,根据每次拍照的起始点位置、拍照的数量和移动的步长求解出全局图像相对于系统原点的转换关系;最后,为了进一步提高全局转换关系的准确度,提出一种基于傅里叶变换的误差矫正方法,利用傅里叶变换求解出视觉模块在移动过程中的误差,并加入系统进行补偿。实验结果表明,误差补偿之后,系统X轴方向的误差均值从10.23μm降为-0.002μm,Y轴方向的误差均值从6.9μm降为-0.50μm,显微定位系统的平均定位精度达到了99%以上。结果表明,所提方法可很好地用于光学显微定位系统对细胞微生物进行高精度的自动化抓取。 展开更多
关键词 微定位系统 手眼标定 误差矫正 傅里叶变换
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压电微定位系统自适应鲁棒有限时间跟踪控制 被引量:12
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作者 康升征 吴洪涛 +2 位作者 杨小龙 李耀 程世利 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第8期403-410,共8页
针对压电微定位系统中存在外界扰动、迟滞等时变不确定、非线性因素影响其定位精度的问题,提出了一种基于函数逼近的自适应鲁棒有限时间控制策略。通过引入具有连续、非奇异,且有限时间收敛特性的终端滑模面,设计了满足压电微定位系统... 针对压电微定位系统中存在外界扰动、迟滞等时变不确定、非线性因素影响其定位精度的问题,提出了一种基于函数逼近的自适应鲁棒有限时间控制策略。通过引入具有连续、非奇异,且有限时间收敛特性的终端滑模面,设计了满足压电微定位系统的轨迹跟踪控制律。为了克服该控制器依赖于系统不确定量的边界信息,采用傅里叶级数进行动态逼近,并针对其逼近误差,利用模糊逻辑系统实现在线补偿。最后,应用Lyapunov函数获得傅里叶系数及模糊调节参数的自适应律,并证明了该控制器的有限时间稳定性。仿真分析与实验结果验证了控制策略的鲁棒性与有效性。 展开更多
关键词 压电微定位系统 自适应控制 终端滑模 模糊逻辑系统 函数逼近
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平面光栅刻划机微定位系统压电校正技术
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作者 杨春吉 李文昊 +3 位作者 于宏柱 姚雪峰 张博 于硕 《光学精密工程》 2025年第14期2220-2230,共11页
针对平面光栅刻划机在刻划过程中因压电陶瓷驱动器的迟滞非线性特性引发的微定位精度下降问题,提出一种基于分段Prandtl-Ishlinski(i PI)模型的复合控制误差补偿方法,提升光栅刻划的分度定位精度与稳定性。设计一套光栅分度微定位误差... 针对平面光栅刻划机在刻划过程中因压电陶瓷驱动器的迟滞非线性特性引发的微定位精度下降问题,提出一种基于分段Prandtl-Ishlinski(i PI)模型的复合控制误差补偿方法,提升光栅刻划的分度定位精度与稳定性。设计一套光栅分度微定位误差监测及校正系统,通过构建分段PI模型描述其非线性行为,利用最小二乘法辨识压电陶瓷驱动器的迟滞特性,并将逆模型作为前馈补偿环节,结合闭环反馈控制形成复合控制策略,实现动态误差校正。实验数据表明,相较于未加PI逆模型前馈补偿前,光栅的刻线定位误差由±20 nm降至±10 nm以内。保障刻槽一致性,适用光栅刻划分度定位误差校正,为高密度光栅的制备提供了可靠技术支撑。未来研究将重点开展智能算法融合优化,用于进一步提升定位精度,以及探索该技术在曲面光栅以及变栅距刻划的拓展应用。 展开更多
关键词 光栅刻划机 微定位系统 定位精度 P-I模型 压电
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压电陶瓷精密控制系统的自适应模糊控制器研究 被引量:5
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作者 刘建秀 张杨 张段芹 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2015年第5期806-809,817,共5页
针对压电陶瓷等非线性系统,建立压电陶瓷微精密位移系统模型,并将模糊控制器替换传统的比例、积分和微分(PID)控制器,实现对PID参数的在线自整定。对模糊控制器的控制变量及论域等级等进行了研究及制定,并对其进行MATLAB仿真。实验结果... 针对压电陶瓷等非线性系统,建立压电陶瓷微精密位移系统模型,并将模糊控制器替换传统的比例、积分和微分(PID)控制器,实现对PID参数的在线自整定。对模糊控制器的控制变量及论域等级等进行了研究及制定,并对其进行MATLAB仿真。实验结果表明,模糊逻辑控制器比传统PID控制器的响应速度快,超调量小,且控制策略简单易行。 展开更多
关键词 压电陶瓷 模糊控制 微定位系统 仿真模型 位移驱动器
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A data-driven early micro-leakage detection and localization approach of hydraulic systems 被引量:1
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作者 CAI Bao-ping YANG Chao +5 位作者 LIU Yong-hong KONG Xiang-di GAO Chun-tan TANG An-bang LIU Zeng-kai JI Ren-jie 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第5期1390-1401,共12页
Leakage is one of the most important reasons for failure of hydraulic systems.The accurate positioning of leakage is of great significance to ensure the safe and reliable operation of hydraulic systems.For early stage... Leakage is one of the most important reasons for failure of hydraulic systems.The accurate positioning of leakage is of great significance to ensure the safe and reliable operation of hydraulic systems.For early stage of leakage,the pressure of the hydraulic circuit does not change obviously and therefore cannot be monitored by pressure sensors.Meanwhile,the pressure of the hydraulic circuit changes frequently due to the influence of load and state of the switch,which further reduces the accuracy of leakage localization.In the work,a novel Bayesian networks(BNs)-based data-driven early leakage localization approach for multi-valve systems is proposed.Wavelet transform is used for signal noise reduction and BNs-based leak localization model is used to identify the location of leakage.A normalization model is developed to improve the robustness of the leakage localization model.A hydraulic system with eight valves is used to demonstrate the application of the proposed early micro-leakage detection and localization approach. 展开更多
关键词 micro-leakage localization normalization model hydraulic system Bayesian networks
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