期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
微孔气流加压对ITO玻璃激光刻蚀平面度的影响
被引量：
2
1
作者
陈绒
陈钊杰
谢晋
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第13期1564-1571,共8页
针对ITO玻璃表面线路激光刻蚀中因定位问题玻璃工件产生的微变形,采用微孔陶瓷对工件进行微气流阵列加压,确保高精度的激光刻蚀加工。分析不同加工工艺下的微气流压力分布,探究气流压力和刻蚀间隙对ITO玻璃刻蚀表面平面度的作用机制。...
针对ITO玻璃表面线路激光刻蚀中因定位问题玻璃工件产生的微变形,采用微孔陶瓷对工件进行微气流阵列加压,确保高精度的激光刻蚀加工。分析不同加工工艺下的微气流压力分布,探究气流压力和刻蚀间隙对ITO玻璃刻蚀表面平面度的作用机制。结果表明:经微孔气流加压后,工件在气体流动的区域受到正压力,加工区域的压力分布较为均匀。由此可知,工件表面受到均布气压有利于刻蚀表面的定位,但过大的压力会导致工件微变形。实验结果显示:在合适的压力下,微孔气流加压可使得平面度低至8μm,当压力在0.16-0.2 kPa,刻蚀间隙在1.8-1.9 mm时,工件表面压力为13.2-14.4 Pa,此时平面度最好,微米尺度的刻蚀线路清晰,不产生破损。最后,对微孔气流加压的ITO玻璃进行激光刻蚀加工,可得到8μm以及25μm的表面微细线路,解决了通常无微孔气流加压的刻蚀工艺导致局部断点或变形线路引起产品短路或开路等问题。
展开更多
关键词
激光刻蚀
微孔气流
ITO玻璃
刻蚀工艺
高精密加工
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
微孔气流加压对ITO玻璃激光刻蚀平面度的影响
被引量：
2
1
作者
陈绒
陈钊杰
谢晋
机构
广东科技学院
华南理工大学机械与汽车工程学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第13期1564-1571,共8页
基金
2020年度基本科研业务费项目-自然科学类培育项目
广东省教育厅普通高校认定类科研项目(No.2020KQNCX103)
+1 种基金
国家自然科学基金资助项目(No.51975219)
广东省国际科技合作项目(No.2020A0505100003)。
文摘
针对ITO玻璃表面线路激光刻蚀中因定位问题玻璃工件产生的微变形,采用微孔陶瓷对工件进行微气流阵列加压,确保高精度的激光刻蚀加工。分析不同加工工艺下的微气流压力分布,探究气流压力和刻蚀间隙对ITO玻璃刻蚀表面平面度的作用机制。结果表明:经微孔气流加压后,工件在气体流动的区域受到正压力,加工区域的压力分布较为均匀。由此可知,工件表面受到均布气压有利于刻蚀表面的定位,但过大的压力会导致工件微变形。实验结果显示:在合适的压力下,微孔气流加压可使得平面度低至8μm,当压力在0.16-0.2 kPa,刻蚀间隙在1.8-1.9 mm时,工件表面压力为13.2-14.4 Pa,此时平面度最好,微米尺度的刻蚀线路清晰,不产生破损。最后,对微孔气流加压的ITO玻璃进行激光刻蚀加工,可得到8μm以及25μm的表面微细线路,解决了通常无微孔气流加压的刻蚀工艺导致局部断点或变形线路引起产品短路或开路等问题。
关键词
激光刻蚀
微孔气流
ITO玻璃
刻蚀工艺
高精密加工
Keywords
laser etching
microporous airflow
ITO glass
etching process
high precision machining
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微孔气流加压对ITO玻璃激光刻蚀平面度的影响
陈绒
陈钊杰
谢晋
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
