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题名电容式多晶硅微声传感器的模拟与设计
被引量：1
- 1
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作者
霍明学
刘晓为
张铁良
兰慕杰
王东旺
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机构
哈尔滨工业大学中心
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2004年第1期31-34,共4页
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文摘
设计了一种以多晶硅薄膜作为振动膜片的电容式硅微声传感器。通过有限元法(FEM)对传感器建模,并对其进行静力、模态和谐响应分析。模拟分析结果表明此传感器机械灵敏度可达1.81×10-7m/Pa,其频带宽度接近10kHz。
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关键词
多晶硅薄膜
微声传感器
有限元
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Keywords
polysilicon
micro-acoustic sensor
FEM
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分类号
TN602
[电子电信—电路与系统]
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题名微声传感器在低空飞行器信号采集系统中的应用
被引量：1
- 2
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作者
张朝前
娄文忠
乔杰
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机构
北京理工大学机电工程学院
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05B期2276-2278,2282,共4页
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基金
国防科工委基金资助(03320060259)
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文摘
提出了一种基于微声传感器阵列的低空飞行器信号采集方案.为满足无人值守,不间断、长时间工作的要求,采用集成化的设计思想设计了体积小、低功耗的声信号采集电路,并在此基础上提出了一种能满足恶劣环境使用要求的微声传感器封装方法,设计了微型防护咪头.进行了机场实地采集试验,该声信号采集系统在机场进行了实地数据采集实验,并使用MATLAB软件将采集到的数据进行了分析对比,结果表明本文设计的微声传感器在低空飞行器信号采集系统中的应用效果良好.
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关键词
微声传感器
声信号采集系统
传声器阵列
防护咪头
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Keywords
microphone
sound collection
system
array of microphone
protection-mantle
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TP274.2
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名微声矢量传感器在管道巡检装置定位中的应用
- 3
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作者
宋小鹏
刘宏
张国军
薛晨阳
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机构
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
中北大学电子测试技术重点实验室
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2013年第8期139-141,145,共4页
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基金
国家自然科学基金委青年科学基金资助项目(51205374)
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文摘
地面标记器是管道内在线检测系统的重要组成部分,应用该系统可以实现对管道缺陷的精确定位。当管道内检测装置运行过程中被卡堵后对其准确定位是管道内检测的重要保证。基于此,创新性地将微声矢量传感器应用于地面标记系统。首先,针对应用的土壤环境进行分析,结合声波在土壤中衰减快的传播特性,对微声矢量传感器的结构进行了优化设计,提出了橘瓣式封装结构,传感器的灵敏度达到60 mV/gn。由于管线走向由管道桩可以事先确定,因此,实现对声源目标的定向结合管线走向便可对卡堵后发声的内检测装置进行定位。模拟实验表明:微矢量声传感器对声源目标定向平均误差小于5°。
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关键词
微声矢量传感器
声学原理
地面标记系统
定位
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Keywords
micro acoustic vector sensor
acoustic principle
ground marker system
localization
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分类号
TE89
[石油与天然气工程—油气储运工程]
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题名声表面波微力传感器信号处理电路的设计与仿真
被引量：5
- 4
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作者
李济同
李媛媛
卢文科
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机构
上海工程技术大学电子电气工程学院
东华大学信息科学与技术学院
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第7期1054-1060,共7页
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基金
具有非线性输入环节系统的自适应递归输出反馈控制研究项目(61703269)
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文摘
随着声表面波微力传感的应用领域不断扩展,其测量性能的要求随之提高。针对高频信号稳定性、噪声干扰抑制以及测量灵敏度方面的问题,基于反馈原理设计声表面波振荡电路;针对高频信号难以测量的问题,采用混频检测法实现高频-中频信号的转化;针对混频后高频谐波分量干扰问题,基于Ⅱ型切比雪夫滤波器设计具有平稳增益、衰减带下降快的低通滤波电路;并搭建整形电路以供处理器对敏感参数进行识别。仿真分析表明,该研究优化了声表面波微力传感器的测量性能,对其应用领域的拓展具有一定的意义。
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关键词
声表面波微力传感器
测量性能
反馈原理
混频检测
切比雪夫滤波器
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Keywords
SAW micro-force sensor
measurement performance
feedback principle
mixed-frequency detection
chebyshev filter
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分类号
TP212.6
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名硅微声压传感器
被引量：1
- 5
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作者
蔡公和
刘忠玉
蔡丽梅
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机构
东北传感技术研究所
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1998年第2期56-62,共7页
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文摘
随着传感器技术和硅微机械加工技术的发展,唤起了对制造微小型麦克风、拾音器等微声压传感器的兴趣．人们将这些技术和古典的转换原理结合起来,研究了基于电压、压阻。
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关键词
硅微声压传感器
压阻式
传感器
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分类号
TP212.02
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名基于SAW微力传感器的GRNN拟合研究
被引量：1
- 6
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作者
季雪咪
李媛媛
李济同
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机构
上海工程技术大学电子电气工程学院
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
2019年第12期14-17,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61803254)
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文摘
针对传统方法拟合声表面波(SAW)微力传感器输入-输出曲线的算法为最小二乘法,但无法进行全局搜索,易获得局部最优解的不足,基于SAW微力传感器实测数据,采用广义回归神经网络(GRNN)进行曲线拟合。选取以铌酸锂为压电基底的SAW微力传感器,对其施加微压并通过网络分析仪测量输出频率数据,依据GRNN和最小二乘法基本原理采用MATLAB R2016b分别对频率-压力数据进行拟合并对比。仿真结果表明:与最小二乘法相比,GRNN误差明显减小,约一个数量级,能有效提高拟合精度。
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关键词
广义回归神经网络
最小二乘法
声表面波微力传感器
曲线拟合
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Keywords
general regression neural networks(GRNN)
least square method
surface acoustic wave(SAW) micro force sensor
curve fitting
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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