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MEMS微型线圈及其在磁敏传感器中的应用
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作者 杨真 陈靖元 +4 位作者 张朕泽 祝梦娇 黄家宝 孙学成 雷冲 《微纳电子技术》 2025年第3期99-120,共22页
微电子机械系统(MEMS)微型线圈是磁敏传感器的重要元件,在磁传感技术领域发挥着重要作用。MEMS微型线圈在磁传感器中具有微小化、高集成度、高灵敏度、低功耗和低成本等优点,有助于提升磁传感器的性能。综述了MEMS微型线圈的优势、结构... 微电子机械系统(MEMS)微型线圈是磁敏传感器的重要元件,在磁传感技术领域发挥着重要作用。MEMS微型线圈在磁传感器中具有微小化、高集成度、高灵敏度、低功耗和低成本等优点,有助于提升磁传感器的性能。综述了MEMS微型线圈的优势、结构类型、传统制备工艺、新兴制备技术以及在磁敏传感器中的应用。重点介绍了MEMS微型线圈在巨磁阻抗效应传感器和磁通门传感器中的应用研究进展,并简述了其在其他磁传感领域的作用。最后对MEMS线圈的发展和应用前景进行了展望,为其设计和具体应用提供思路。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 微型线圈 磁敏传感器 巨磁阻抗传感器 磁通门传感器
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基于微型线圈传感器的车辆通过检测系统研究
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作者 姚尚明 童亮 杜迪 《北京信息科技大学学报(自然科学版)》 2016年第4期13-16,共4页
车辆通过检测是停车场和道路交通管理和控制的基础。基于微型线圈传感器的工作原理,对车辆通过检测系统的基本组成和传感器信号处理电路进行了相关的设计,同时结合车辆进入和离开时传感器输出波形特点,提出了车辆通过检测的算法实现方法... 车辆通过检测是停车场和道路交通管理和控制的基础。基于微型线圈传感器的工作原理,对车辆通过检测系统的基本组成和传感器信号处理电路进行了相关的设计,同时结合车辆进入和离开时传感器输出波形特点,提出了车辆通过检测的算法实现方法,并通过实验对方法进行了验证,结果证明了系统的有效性。 展开更多
关键词 车辆检测 微型线圈传感器 多谐振荡电路 信号处理电路
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微型核磁共振芯片平面微型线圈设计与信噪比分析 被引量:1
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作者 吴卫平 陆荣生 倪中华 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期1208-1212,共5页
设计一种可用于微型核磁共振芯片的平面微型线圈,在主磁场为0.7 T条件下,选取平面微型线圈的深宽比为1,以平面微型线圈宽度2倍趋肤深度为界,基于核磁共振信噪比数学理论模型,分析亚毫米直径平面微型线圈各个几何参数与信噪比的关系.分... 设计一种可用于微型核磁共振芯片的平面微型线圈,在主磁场为0.7 T条件下,选取平面微型线圈的深宽比为1,以平面微型线圈宽度2倍趋肤深度为界,基于核磁共振信噪比数学理论模型,分析亚毫米直径平面微型线圈各个几何参数与信噪比的关系.分析结果表明:缩小平面微型线圈直径会提高信噪比;在不严重降低射频场均匀性的情况下,样品应尽可能地靠近平面微型线圈;平面微型线圈匝间距离与平面微型线圈宽度相等和平面微型线圈宽度为2倍趋肤深度时,信噪比均较高.最后确定平面微型线圈的几何参数:线圈半径为120μm,线圈宽度为24μm,匝间间距为24μm,匝数为3. 展开更多
关键词 微型核磁共振芯片 平面微型线圈 信噪比 趋肤深度
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微型感应线圈车辆检测器的稳定性研究 被引量:1
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作者 丁茹 林凌 +1 位作者 韩晓斌 李刚 《天津工业大学学报》 CAS 2006年第4期63-66,共4页
基于稳定性是衡量车辆检测器性能的关键指标之一,通过对稳定性影响因素的分析及相应实验,对微型感应线圈车辆检测器的稳定性进行了研究.结果表明:在一定时间内,在低频下频率稳定性更好;频率随时间的波动较大,随着观测时间长,频率总... 基于稳定性是衡量车辆检测器性能的关键指标之一,通过对稳定性影响因素的分析及相应实验,对微型感应线圈车辆检测器的稳定性进行了研究.结果表明:在一定时间内,在低频下频率稳定性更好;频率随时间的波动较大,随着观测时间长,频率总体表现出减小的趋势.文中在此基础上给出了提高检测器稳定性的处理方法. 展开更多
关键词 车辆检测器 微型感应线圈 稳定性
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交流电阻焊动态功率因数的实时解析算法 被引量:2
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作者 贡亮 刘成良 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期884-888,共5页
基于对交流电阻焊焊接变压器初级回路电压、电流信号的建模分析,提出电流过零导数比法测量电阻焊动态功率因数.采用微型Rogowski线圈直接检测电流过零导数,并在以DSP为核心的点焊质量实时监控系统中实现了动态功率因数的实时计算.电流... 基于对交流电阻焊焊接变压器初级回路电压、电流信号的建模分析,提出电流过零导数比法测量电阻焊动态功率因数.采用微型Rogowski线圈直接检测电流过零导数,并在以DSP为核心的点焊质量实时监控系统中实现了动态功率因数的实时计算.电流导数信号实时检测技术和数学模型的简洁解析表达形式同时保证了该算法良好的实时性.试验结果证明,该算法是有效的. 展开更多
关键词 电阻焊 动态功率因数 过零导数比法 微型Rogowski线圈
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