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静电力平衡式微型硅加速度计方案分析
被引量：
6
1
作者
郭秀中
陈家斌
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
1995年第3期38-43,54,共7页
静电力平衡式微型硅加速度计是一种新型加速度计。本文对这种加速度计的３种典型方案进行了分析，导出静电力（力矩）、静电力平衡回路刚度（角刚度）及加速度测量范围的表达式。有关结果可为这种加速度计参数设计提供理论依据。
关键词
微型硅加速度计
静电力平衡回路
刚度
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职称材料
微米／纳米技术在微惯性器件中的应用
2
作者
陈锦杜
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第S1期153-156,共4页
微型硅加速度计采用挠性结构、电容传感器和电容静电力矩器。挠性接头厚度和电容极板间隙均在微米量级。而电极表面绝缘层厚度应在纳米量级。它的结构设计和制作工艺紧密依靠细微加工技术。从需要出发，合理设计，采用新技术新工艺，发...
微型硅加速度计采用挠性结构、电容传感器和电容静电力矩器。挠性接头厚度和电容极板间隙均在微米量级。而电极表面绝缘层厚度应在纳米量级。它的结构设计和制作工艺紧密依靠细微加工技术。从需要出发，合理设计，采用新技术新工艺，发展微型惯性器件。
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关键词
微型硅加速度计
纳米技术
微型
惯性器件
电容传感器
差动电容
力矩器
摆片
电容器极板
静电力
挠性结构
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职称材料
题名
静电力平衡式微型硅加速度计方案分析
被引量：
6
1
作者
郭秀中
陈家斌
机构
南京航空航天大学
出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
1995年第3期38-43,54,共7页
文摘
静电力平衡式微型硅加速度计是一种新型加速度计。本文对这种加速度计的３种典型方案进行了分析，导出静电力（力矩）、静电力平衡回路刚度（角刚度）及加速度测量范围的表达式。有关结果可为这种加速度计参数设计提供理论依据。
关键词
微型硅加速度计
静电力平衡回路
刚度
Keywords
micro Silicon accelerometer
electrostatically force-balance circuit
stiffness
分类号
TH823.4 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
微米／纳米技术在微惯性器件中的应用
2
作者
陈锦杜
机构
航天工业总公司十六研究所
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第S1期153-156,共4页
文摘
微型硅加速度计采用挠性结构、电容传感器和电容静电力矩器。挠性接头厚度和电容极板间隙均在微米量级。而电极表面绝缘层厚度应在纳米量级。它的结构设计和制作工艺紧密依靠细微加工技术。从需要出发，合理设计，采用新技术新工艺，发展微型惯性器件。
关键词
微型硅加速度计
纳米技术
微型
惯性器件
电容传感器
差动电容
力矩器
摆片
电容器极板
静电力
挠性结构
分类号
TB4 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
静电力平衡式微型硅加速度计方案分析
郭秀中
陈家斌
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
1995
6
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职称材料
2
微米／纳米技术在微惯性器件中的应用
陈锦杜
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996
0
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