-
题名一种谐振式微加速度计的设计
被引量：6
- 1
-
-
作者
郑晓虎
-
机构
淮阴工学院机械系
-
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2006年第3期294-296,共3页
-
基金
国防基础研究重点基金资助项目(J1500E002)
-
文摘
提出一种基于谐振原理、电容检测的微型加速度计。通过外加加速度使质量块经杠杆将力放大施加到谐振器上,改变谐振梁上的轴向应力,从而改变谐振梁的振动频率。研究表明这种加速度计的测量范围达66 g。同时采用有限元法进行了仿真模拟,结果显示传感器灵敏度约18 Hz/g,工作模态固有频率为625.981 kHz。
-
关键词
微型电子机械系统(MEMS)
谐振
加速度计
仿真模拟
-
Keywords
MEMS
resonance
accelerometer
numerical simulation
-
分类号
TH824.4
[机械工程—精密仪器及机械]
-
-
题名一种新型电容微加速度计的设计与仿真
被引量：1
- 2
-
-
作者
郑晓虎
朱荻
-
机构
南京航空航天大学机电学院
-
出处
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2006年第3期281-283,共3页
-
基金
国防基础研究基金重点项目(J1500E002)资助
-
文摘
提出一种带有杠杆机构的电容检测微型加速度计。通过外来加速度使质量块经杠杆将力放大施加到弹性梁上产生位移、改变检测电容间距得到与加速度成比例的电压信号,从而测出加速度大小。研究表明:这种加速度计的灵敏度可明显提高。同时采用有限元方法进行了仿真模拟,结果显示系统测量范围可达100 g、工作模态固有频率为209036 Hz。
-
关键词
微型电子机械系统
电容检测
加速度计
仿真模拟
-
Keywords
MEMS（ micro-electro-mechanical system）
capacitance
accelerometer
simulation
-
分类号
TN40
[电子电信—微电子学与固体电子学]
-
-
题名硅表面自组装膜的构建及其摩擦学性能研究进展
被引量：1
- 3
-
-
作者
潘鹤
滕淑华
丁翠翠
-
机构
中国矿业大学材料科学与工程学院
-
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第15期27-31,共5页
-
基金
国家重点基础研究发展计划(973)项目(2007CB607605)
中央高校基本科研业务费专项资金(2011QNA06)
-
文摘
总结了目前在单晶硅表面构建的几类典型的分子自组装膜,并着重介绍了近十几年里各类自组装膜在摩擦学性能研究方面所取得的进展。单层膜能够有效降低硅基底的摩擦系数,但是其承载能力和抗磨损性能较差,其中较为典型的是OTS(十八烷基三氯硅烷)自组装膜;有机双层膜和多层膜的出现,一定程度上改善了单层膜的承载能力和耐磨性,但膜的有序性和稳定性还有待于进一步的提高;近年来,有机/无机复合膜的研究为改善硅表面的摩擦学性能提供了一条新的途径,有望成为今后该领域研究的一个重要方向。
-
关键词
单晶硅
自组装膜
摩擦学性能
微型电子机械系统
-
Keywords
single-crystal silicon, self-assembled film, tribological properties, microelectromechanical systems
-
分类号
O7
[理学—晶体学]
-
-
题名改变二十一世纪的MEMS技术
- 4
-
-
-
出处
《中国乡镇企业信息》
1997年第7期43-44,共2页
-
文摘
在离世界闻名的圣安得里斯大断层仅5千米之遥的美国施乐公司的研究中心,摆放着一个极小但意义重大的模型。这个模型上布满着由电线相互连接的无数个微型婴儿奶嘴形状的传感器。将来。
-
关键词
微型电子机械系统
传感器
施乐公司
技术
九十年代
计算机
模型
八十年代
微型芯片
立体交叉
-
分类号
TH762.2
[机械工程—精密仪器及机械]
-
