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MEMS微型热敏传感器数值模拟
被引量：
4
1
作者
王竹萍
丁英涛
刘汝卿
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第12期1435-1438,共4页
借助计算流体动力学软件Fluent,采用有限体积法、非定常N-S方程、Realizable k-ε湍流模型及无滑移壁面边界条件对微电子机械系统(MEMS)微型热敏传感器进行三维数值模拟.全面地分析了传感器绝缘层材料、空腔内介质材料以及结构尺寸参数...
借助计算流体动力学软件Fluent,采用有限体积法、非定常N-S方程、Realizable k-ε湍流模型及无滑移壁面边界条件对微电子机械系统(MEMS)微型热敏传感器进行三维数值模拟.全面地分析了传感器绝缘层材料、空腔内介质材料以及结构尺寸参数对其灵敏度的影响情况,探讨了提高传感器灵敏度的方法.同时,设计了一款高灵敏度的MEMS微型热敏传感器.数值模拟结果发现,采用具有较低热导率的结构材料及工作气体,隔热效果最佳;合理优化传感器尺寸参数有助于获得较高的灵敏度.该结果对微型热敏传感器的优化设计和实际加工、制造提供了依据.
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关键词
微电子机械系统(MEMS)
微型热敏传感器
灵敏度
三维数值模拟
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职称材料
题名
MEMS微型热敏传感器数值模拟
被引量：
4
1
作者
王竹萍
丁英涛
刘汝卿
机构
北京理工大学信息与电子学院
出处
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第12期1435-1438,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60843005)
北京理工大学基础研究基金资助项目(20070142018)
文摘
借助计算流体动力学软件Fluent,采用有限体积法、非定常N-S方程、Realizable k-ε湍流模型及无滑移壁面边界条件对微电子机械系统(MEMS)微型热敏传感器进行三维数值模拟.全面地分析了传感器绝缘层材料、空腔内介质材料以及结构尺寸参数对其灵敏度的影响情况,探讨了提高传感器灵敏度的方法.同时,设计了一款高灵敏度的MEMS微型热敏传感器.数值模拟结果发现,采用具有较低热导率的结构材料及工作气体,隔热效果最佳;合理优化传感器尺寸参数有助于获得较高的灵敏度.该结果对微型热敏传感器的优化设计和实际加工、制造提供了依据.
关键词
微电子机械系统(MEMS)
微型热敏传感器
灵敏度
三维数值模拟
Keywords
micro-electro-mechanical systems（MEMS） micro thermal sensor sensitivity three-dimension numerical simulation
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MEMS微型热敏传感器数值模拟
王竹萍
丁英涛
刘汝卿
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
4
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