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题名光的干涉与衍射
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出处
《中国光学》
EI
CAS
2003年第1期9-11,共3页
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文摘
0436 1 200301 00538相位256×256衍射微透镜的设计与制作=Design andfabrication of 25×256 diffractive microlens arrav with 8phases[刊,中]/程志军(华中科技大学光电子工程系.湖北,武汉(430074)),黄光…//光电子技术与信息.-2002,15(1).-32-35介绍了衍射微透镜阵列的设计原理与制作工艺方法。
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关键词
衍射微透镜阵列
衍射光学
光电子技术
光子学
微型激光干涉仪
束匀滑
设计与制作
数值计算
数值模拟
叠栅条纹
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分类号
O436.1
[机械工程—光学工程]
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题名无阿贝误差计量型原子力显微镜
被引量：8
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作者
赵克功
H.J.Buechner
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机构
中国计量科学研究院
伊尔门脑技术大学
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出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2002年第2期87-89,共3页
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基金
国家自然科学基金 (5 0 0 5 113 0 90 5 )
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文摘
中国计量科学研究院与德国联邦物理技术研究院、德国伊尔门脑技术大学和耶那蔡司厂合作 ,于 1997年研制成功计量型原子力显微镜。限于当时的技术水平 ,它还存在有不可忽略的阿贝误差 ,特别是在x与y方向的阿贝误差可达 2～ 3nm。所以 ,在其测量空间范围内 ,两点间的测量不确定度为 :U =5nm +2× 10 - 4L(L为两点间的距离 )。本文报导 1999年以来在原基础上所作的改进 ,消除了 3个坐标方向上的阿贝误差 ,将测量不确定度提高到 :U =2nm +1× 10 - 4L。
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关键词
计量型原子力显微镜
阿贝误差
微型光纤传导平面激光干涉仪
测量不确定度
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Keywords
Metrological atomic force microscope
Abbe offset
Miniature laser inteferometer with plan mirrors and optical fibre transforming laser beam
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分类号
TH742.9
[机械工程—光学工程]
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