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基于MEMS技术的微型流量传感器的研究进展 被引量:27
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作者 彭杰纲 周兆英 叶雄英 《力学进展》 EI CSCD 北大核心 2005年第3期361-376,共16页
流量测量是工业生产和科研工作的重要的检测参数.近年来,随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展,传统的工业和流体力学研究的流量传感器向高集成度,微型化,高精度,高可靠性方向发展,同时生命科学的发展大大促进了用于微流体... 流量测量是工业生产和科研工作的重要的检测参数.近年来,随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展,传统的工业和流体力学研究的流量传感器向高集成度,微型化,高精度,高可靠性方向发展,同时生命科学的发展大大促进了用于微流体,生物学、医学、卫生、食物等学科研究新型微型流量传感器的研究开发,微型流量传感器已成为MEMS的重要研究方向.本文对基于MEMS技术的流量传感器技术的原理、分类作了简要介绍,归纳和评述了各种基于MEMS技术的流量传感器(热式型,差压型,升力型,流体振动型,科里奥利型及仿生型微型流量传感器等)的生产工艺和应用特点,并对基于MEMS技术的微型流量传感器的校正方法做了总结归纳.介绍了国内在微型流量传感器方面的研制工作.最后总结归纳出基于MEMS技术的流量传感器发展不同阶段并阐述了各个阶段的发展特点,并对基于MEMS技术的流量传感器新的发展趋势进行了展望. 展开更多
关键词 微型流量传感器 MEMS 最新进展 MEMS技术 微电子机械系统 科研工作 工业生产 传感器技术 微流体 检测参数
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微型流量传感器呼吸监测及信号处理系统
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作者 李兴 梁家昌 H.ThermanHenderson 《天津师大学报(自然科学版)》 2000年第2期40-44,共5页
用一种深掺杂硅材料制成的微型流量传感器来测量呼吸气流的流量 ,并用信号处理电路对微型流量传感器的输出进行鉴别 ,就可以监视呼吸系统状态的微小变化 .传感器偏置电压的变化对系统的稳定性有重要的影响 .通常 ,温度和环境的变化会使... 用一种深掺杂硅材料制成的微型流量传感器来测量呼吸气流的流量 ,并用信号处理电路对微型流量传感器的输出进行鉴别 ,就可以监视呼吸系统状态的微小变化 .传感器偏置电压的变化对系统的稳定性有重要的影响 .通常 ,温度和环境的变化会使某些被认为是常量的参量发生意外的变化 .信号处理系统部分论述了使用自动补偿系统来消除上述变化的影响 ,并给出了实用电子设备中 ,消除各种干扰因素的一些方法 . 展开更多
关键词 呼吸监测 深掺杂 微型流量传感器 信号处理系统
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基于恒加热功率的热损失型微型流量传感器 被引量:1
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作者 冷寒冰 袁伟 +1 位作者 崔建国 崔祺铭 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2018年第12期14-18,24,共6页
相比于传统的流量传感器,微型流量传感器具有体积小、功耗低、对微小流量测量灵敏度高等特点。文中依据传热学原理设计并研制了一种基于恒加热功率的热损失型微型流量传感器系统,用于微流体的流量测量。文中利用数字光刻投影系统(DLPS)... 相比于传统的流量传感器,微型流量传感器具有体积小、功耗低、对微小流量测量灵敏度高等特点。文中依据传热学原理设计并研制了一种基于恒加热功率的热损失型微型流量传感器系统,用于微流体的流量测量。文中利用数字光刻投影系统(DLPS)加工制作了加热电极和流路通道的模板,选择ITO导电玻璃制作薄膜加热电极和流路基底,使用聚二甲基硅氧烷(PDMS)制作微型流路的通道,同时借助氧等离子体激活实现ITO导电玻璃与PDMS流路通道的不可逆封装键合。该微型流量传感器系统利用STC12C5A系列单片机对硬件电路进行控制及流量测量结果显示,并借助数字注射泵对流量传感器系统进行了测试和验证。该微型流量传感器可实现10~120μL/min的较精确测量。 展开更多
关键词 微型流量传感器 ITO导电玻璃 聚二甲基硅氧烷 数字光刻投影系统
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基于恒温差的热式空气流量计 被引量:9
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作者 汪余景 翟军勇 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2017年第6期41-43,共3页
文中提出了一种基于恒温差的热式空气流量计的设计方法。该流量计采用微型流量传感器、集成测速铂电阻和测温铂电阻,能够有效补偿环境温度对空气流量的影响。采用多项式最小二乘法,建立空气流量与传感器输出电压之间的数学模型,通过单... 文中提出了一种基于恒温差的热式空气流量计的设计方法。该流量计采用微型流量传感器、集成测速铂电阻和测温铂电阻,能够有效补偿环境温度对空气流量的影响。采用多项式最小二乘法,建立空气流量与传感器输出电压之间的数学模型,通过单片机处理,输出标准的4~20 m A电流信号。实验数据结果表明,该流量计具有响应速度快、测量范围大、测量精度高和重复性好等优点。 展开更多
关键词 空气流量 微型流量传感器 环境温度补偿 多项式
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