微米纳米技术及微型机电系统 被引量：28

1

作者 周兆英 叶雄英 +1 位作者 崔天宏 张联 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1998年第1期1-7,共7页

微型机电系统和微型制造技术是一个新兴的技术领域。本文论述微米纳米制造技术的发展过程，微细加工的进展，微型机电系统的概念、主要研究课题，以及它的应用领域。

关键词 微型机电系统 微米 纳米制造 综述

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微型机电系统 被引量：36

2

作者 周兆英 王晓浩 +3 位作者 叶雄英 王伯雄 李莎 刘卫丹 《中国机械工程》 CAS CSCD 北大核心 2000年第1期163-168,7,共6页

分析了微型机电系统的特点、主要科学技术问题、应用和市场。预计到 2 0 0 3年微小系统的市场约为 40 0亿美元 ,是商用航空业的一半。简介了我国的研究情况。国际上微型机电系统技术刚走向全面发展 。

关键词 微型机电系统 微传感器 微执行器 微米/纳米技术

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微型机电系统的进展 被引量：11

3

作者 周兆英 叶雄英 +1 位作者 胡敏 尤政 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期20-25,30,共7页

微型机电系统技术是一个新兴的技术领域．本文论述其多学科交叉的性质、研究领域、相关设计理论研究、开放的工艺基地、特种精密加工、产业化问题和发展ＭＥＭＳ的问题。

关键词 微型机电系统技术 纳米技术 微系统 执行器 精密加工 微细加工 微型机械 微细电火花加工 产业化 微传感器

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微型机电系统在医疗中的应用 被引量：10

4

作者 汤扬华 叶雄英 周兆英 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期226-231,共6页

微型机电系统是一个新兴的技术领域，其主要优点是体积小、重量轻、能耗少、响应快、大批量、成本低等，有广泛的应用前景。在概述微型机电系统的基础上，介绍了用于医疗的微型机电系统，包括微型传感器、微流量系统、微仪器，以及其它M... 微型机电系统是一个新兴的技术领域，其主要优点是体积小、重量轻、能耗少、响应快、大批量、成本低等，有广泛的应用前景。在概述微型机电系统的基础上，介绍了用于医疗的微型机电系统，包括微型传感器、微流量系统、微仪器，以及其它MEMS系统。最后简介了国内在这方面的发展状况。 展开更多

关键词 微型机电系统 微型传感器 微流量系统 微型仪器 医疗仪器

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微型机电系统的建模与仿真研究 被引量：9

5

作者 霍德鸿 梁迎春 程凯 《机械设计》 CSCD 北大核心 2002年第10期1-4,共4页

概述了开展微型机电系统 (MEMS)建模与仿真研究的意义和必要性。提出了MEMS建模与仿真技术的特点 :( 1)多物理场耦合 ;( 2 )材料特性的变化 ;( 3 )依赖快速有效的算法 ;( 4 )原子尺度仿真。分别从器件级仿真、过程仿真和系统级仿真三个... 概述了开展微型机电系统 (MEMS)建模与仿真研究的意义和必要性。提出了MEMS建模与仿真技术的特点 :( 1)多物理场耦合 ;( 2 )材料特性的变化 ;( 3 )依赖快速有效的算法 ;( 4 )原子尺度仿真。分别从器件级仿真、过程仿真和系统级仿真三个层次说明了MEMS仿真的方法。最后结合MEMS建模与仿真技术的发展现状 ,指出了该领域今后的发展趋势。 展开更多

关键词 微型机电系统 建模 仿真

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微型机电系统的计算机辅助设计系统简介 被引量：3

6

作者 朱俊华 周兆英 叶雄英 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2000年第1期1-3,7,共4页

虽然微型机电系统的制造通常使用基于集成电路工艺的平面制造技术,但由于MEMS器件的三维特性,使它与IC的制造有很大不同。而且,它涉及复杂的多能量域问题,给设计分析带来了较大难度。为加快MEMS的设计过程,需要有相应的计算机辅助设计系... 虽然微型机电系统的制造通常使用基于集成电路工艺的平面制造技术,但由于MEMS器件的三维特性,使它与IC的制造有很大不同。而且,它涉及复杂的多能量域问题,给设计分析带来了较大难度。为加快MEMS的设计过程,需要有相应的计算机辅助设计系统(MEMSCAD)。 展开更多

关键词 MEMS CAD 仿真 建模 微型机电系统

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微型机电系统在化学分析中的应用 被引量：1

7

作者 孙彦平 孟晓雄 《现代化工》 CAS CSCD 1997年第7期39-40,共2页

微型机电系统在化学分析中的应用孙彦平（北方工业大学，北京１０００４１）孟晓雄（航天总公司７０７所，北京１０００１３）１ＭＥＭＳ的特点微型机电系统（ＭｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃＭｅｃｈｉｎｅＳｙｓｔｅｍ，ＭＥＭＳ），... 微型机电系统在化学分析中的应用孙彦平（北方工业大学，北京１０００４１）孟晓雄（航天总公司７０７所，北京１０００１３）１ＭＥＭＳ的特点微型机电系统（ＭｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃＭｅｃｈｉｎｅＳｙｓｔｅｍ，ＭＥＭＳ），简称为“微机械”。它是采用半导体加... 展开更多

关键词 微型机电系统 化学分析 机电系统 机电一体化

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三级建模微型机电系统多学科优化设计法

8

作者 欧彦江 殷国富 +1 位作者 周长春 刘丽 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2009年第1期53-57,共5页

针对微型机电系统(MEMS)设计所存在的多学科交叉、周期长等问题,以自顶向下的三级建模法为基础,结合多学科优化设计法,提出了基于三级建模的微型机电系统多学科优化设计法。该方法既保持了三级建模法设计效率高的优点,又能够很好地解决M... 针对微型机电系统(MEMS)设计所存在的多学科交叉、周期长等问题,以自顶向下的三级建模法为基础,结合多学科优化设计法,提出了基于三级建模的微型机电系统多学科优化设计法。该方法既保持了三级建模法设计效率高的优点,又能够很好地解决MEMS设计中多学科耦合的问题,比较适合复杂MEMS的设计任务,可以进一步提高设计效率。该方法在微加速度计设计中的应用,证明了该方法在MEMS设计中的有效性。 展开更多

关键词 微型机电系统(MEMS) 建模 多学科优化设计

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微型热光电系统多孔介质燃烧器的数学模拟 被引量：2

9

作者 卫尧 匡龙 +3 位作者 薛宏 吴建 褚玉林 罗建斌 《河南科技大学学报（自然科学版）》 CAS 2005年第4期30-32,43,共4页

针对微型热光电(TPV)系统多孔介质燃烧器进行了数学模拟,探讨了有关多孔介质的质量守恒方程、动量方程、能量方程、组分方程和状态方程等基本控制方程,由数值计算得到了多孔介质燃烧器壁面的温度分布,并与实验数据进行比较。

关键词 微型机电动力系统 微型热光电 多孔介质

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特种微型机械加工技术 被引量：10

10

作者 李勇 郭旻 周兆英 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2000年第3期287-291,共5页

综述微型机电系统／微型机械的三维形状加工及极限尺寸加工的研究开发现状。相对硅微细加工和ＬＩＧＡ工艺，不采用掩膜版的特种微细加工技术，如微细激光成型、微细电火花加工以及微细机械加工等近年来取得较大进展，在三维微小机械结... 综述微型机电系统／微型机械的三维形状加工及极限尺寸加工的研究开发现状。相对硅微细加工和ＬＩＧＡ工艺，不采用掩膜版的特种微细加工技术，如微细激光成型、微细电火花加工以及微细机械加工等近年来取得较大进展，在三维微小机械结构成型上有独到优势；同时扫描隧道显微加工技术的开发将微型机械向极限尺寸领域推进。微型机电系统／微型机械的长足发展有赖于融合已有先进技术和交叉学科思想的微型机械加工技术的进一步研究开发。 展开更多

关键词 微型机电系统 微型机械 微细加工 微细激光成型

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微机电系统(MEMS)纳米摩擦学研究进展 被引量：6

11

作者 王庆良 葛世荣 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期88-91,94,共5页

随着微型机电系统(MEMS)的快速发展,MEMS摩擦学已成为当前纳米摩擦学研究中最活跃的前沿领域之 一。微观尺寸上的摩擦磨损和润滑对整个MEMS系统的性能、稳定性和寿命起着决定作用,因此研究MEMS的微观摩 擦学性能至关重要。本文对近年国... 随着微型机电系统(MEMS)的快速发展,MEMS摩擦学已成为当前纳米摩擦学研究中最活跃的前沿领域之 一。微观尺寸上的摩擦磨损和润滑对整个MEMS系统的性能、稳定性和寿命起着决定作用,因此研究MEMS的微观摩 擦学性能至关重要。本文对近年国内外MEMS摩擦学研究的新进展作了综述,介绍了MEMS系统的纳米摩擦学特性, 讨论了包括环境条件、材料处理、表面改性、分子超薄膜润滑等在解决MEMS摩擦和润滑问题上的研究状况,提出了 当前相关研究的几个重要问题。 展开更多

关键词 微型机电系统 纳米摩擦学 固体薄膜 超薄膜润滑 研究进展

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英飞凌推出用于消费类电子产品全自动生产流程的微型硅基麦克风

12

《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第12期961-961,共1页

在2006慕尼黑国际电子元器件和组件贸易博览会上，英飞凌科技股份公司展出了适用于普通消费通信设备和计算机通讯设备的“微型”硅基麦克风。该新型麦克风大约只有普通麦克风的一半大小，但其功耗仅为普通麦克风的三分之一。新型麦克风... 在2006慕尼黑国际电子元器件和组件贸易博览会上，英飞凌科技股份公司展出了适用于普通消费通信设备和计算机通讯设备的“微型”硅基麦克风。该新型麦克风大约只有普通麦克风的一半大小，但其功耗仅为普通麦克风的三分之一。新型麦克风采用硅基MEMS（微型机电系统）工艺，具有与普通麦克风相同的声学和电学性能， 展开更多

关键词 消费类电子产品 微型机电系统 麦克风 硅基 生产流程 全自动 电子元器件 通讯设备

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微流量系统的基础技术研究 被引量：21

13

作者 周兆英 叶雄英 +6 位作者 李勇 杨岳 熊沈蜀 王晓浩 张文栋 才海男 龚秋莲 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第9期991-993,共3页

介绍了国家自然科学基金重点资助项目“微型机械制造基础理论及基础技术研究”中“微小型泵的基础技术”及其后续工作的研究成果，并结合微流量系统研究分析了当前微型机电系统发展的几个特点。微型机电系统的重要基础课题的研究突破为... 介绍了国家自然科学基金重点资助项目“微型机械制造基础理论及基础技术研究”中“微小型泵的基础技术”及其后续工作的研究成果，并结合微流量系统研究分析了当前微型机电系统发展的几个特点。微型机电系统的重要基础课题的研究突破为其发展和应用打下基础。国际上微型光机电系统技术刚走向全面发展，正是我国发展该领域的好时机。 展开更多

关键词 微型机电系统 微流量系统 微型泵 尺寸效应

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压电式微小驱动器的发展及应用 被引量：34

14

作者 鄂世举 吴博达 杨志刚 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2002年第6期447-451,共5页

压电材料的技术进步使压电元件已成为一种新式的驱动元件,受到越来越多的关注。压电驱动器具有很高的位移分辨率以及抗干扰能力,并且控制方法简单,非常适用于微位移驱动,目前已被广泛地应用于国防、生物医学、光电子等诸多领域。该文介... 压电材料的技术进步使压电元件已成为一种新式的驱动元件,受到越来越多的关注。压电驱动器具有很高的位移分辨率以及抗干扰能力,并且控制方法简单,非常适用于微位移驱动,目前已被广泛地应用于国防、生物医学、光电子等诸多领域。该文介绍了压电驱动器、微型机电系统的概念,并对国内外微机械中压电驱动器的发展及应用近况进行了较详细、全面的介绍,同时对比了国内外在本领域的发展现状及差距。 展开更多

关键词 压电式 微小驱动器 微型机电系统 压电材料 发展现状

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支持 MEMS 的 CAD/CAE 系统结构研究 被引量：6

15

作者 康建初 尹宝林 高鹏 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第4期475-478,共4页

ＣＡＤ／ＣＡＥ技术在ＭＥＭＳ（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ）研究过程中具有非常重要的作用．本文首先介绍了用于ＭＥＭＳ的ＣＡＤ／ＣＡＥ技术特点，然后研究了ＭＥＭＳＣＡＤ／ＣＡＥ系统结构，给... ＣＡＤ／ＣＡＥ技术在ＭＥＭＳ（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ）研究过程中具有非常重要的作用．本文首先介绍了用于ＭＥＭＳ的ＣＡＤ／ＣＡＥ技术特点，然后研究了ＭＥＭＳＣＡＤ／ＣＡＥ系统结构，给出了软件支持工具结构框图，指明了解决其中关键技术的途径．ＣＡＤ／ＣＡＥ技术的应用，将提高微型机电系统的设计质量，缩短研制周期，使之及早走向工业化． 展开更多

关键词 软件工具 微型机电系统 CAD CAE

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电泳芯片无接触电导检测器的理论研究 被引量：6

16

作者 李霞 温志渝 温中泉 《色谱》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期469-471,共3页

目前电泳芯片大多数采用的是光学检测的方法,这为电泳芯片的微型化、一体化集成带来了一定的难度。为此,设计了一种新的电泳芯片高频无接触电导检测器,并对这种新型的检测器进行了理论研究和分析,建立了高频电导检测器等效电路模型,对... 目前电泳芯片大多数采用的是光学检测的方法,这为电泳芯片的微型化、一体化集成带来了一定的难度。为此,设计了一种新的电泳芯片高频无接触电导检测器,并对这种新型的检测器进行了理论研究和分析,建立了高频电导检测器等效电路模型,对高频电导检测器的结构进行了设计;综合考虑区带展宽等因素,确定了检测器的结构尺寸。该检测器具有应用范围广、结构简单、易于一体化集成的特点。 展开更多

关键词 毛细管电泳 微型机电系统 无接触电导检测

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静电硅微多折叠梁谐振器设计和试验研究 被引量：1

17

作者 赵江铭 杨杰伟 +2 位作者 孙俊杰 吴晓铃 陈晓阳 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第14期1669-1673,共5页

建立了静电硅微多折叠梁谐振器的横向振动模型,得到了多折叠梁的变形方程和该类谐振器谐振频率的解析表达式。用标准体硅微工艺设计加工出两类共4种该类谐振器,通过试验测定其谐振频率,并用ANSYS软件进行了模态分析。结果表明,该类谐振... 建立了静电硅微多折叠梁谐振器的横向振动模型,得到了多折叠梁的变形方程和该类谐振器谐振频率的解析表达式。用标准体硅微工艺设计加工出两类共4种该类谐振器,通过试验测定其谐振频率,并用ANSYS软件进行了模态分析。结果表明,该类谐振器谐振频率的理论计算值和ANSYS模拟值与实测值间的相对误差均小于2%,验证了该理论模型的正确性。采用多折叠梁谐振器可以实现低频下大振幅的电能-微机械能的转换。 展开更多

关键词 微型机电系统 静电硅微多折叠梁谐振器 横向振动模型 试验研究 谐振频率

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MEMS低功耗催化甲烷传感器脉冲供电研究 被引量：3

18

作者 沈国杰 《工矿自动化》 北大核心 2018年第7期27-31,共5页

针对传统催化甲烷传感器功耗高的问题,在分析微型机电系统(MEMS)低功耗催化甲烷元件性能的基础上,提出脉冲供电工作方式。通过输出稳定性测试和灵敏度测试确定脉冲供电具体占空比,并对恒压供电和脉冲供电下元件的线性特性、零点温度特... 针对传统催化甲烷传感器功耗高的问题,在分析微型机电系统(MEMS)低功耗催化甲烷元件性能的基础上,提出脉冲供电工作方式。通过输出稳定性测试和灵敏度测试确定脉冲供电具体占空比,并对恒压供电和脉冲供电下元件的线性特性、零点温度特性、灵敏度特性、零点漂移及灵敏度漂移进行了测试。结果表明,脉冲供电工作方式不仅可极大地降低MEMS催化甲烷传感器的功耗,而且在零点漂移和灵敏度方面拥有更加优异的性能。 展开更多

关键词 甲烷传感器 微型机电系统 脉冲供电 载体催化 MEMS催化元件 低功耗

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燃料电池的微尺度测试技术 被引量：1

19

作者 裴媛 郭航 +1 位作者 叶芳 马重芳 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期87-92,共6页

随着燃料电池体积的微小化,传统的测试技术已经不再适合微型燃料电池某些参数的测试。在这种情况下,基于微机电系统的微尺度测试技术被逐步引入燃料电池的测试中。本文对燃料电池的温度、湿度及燃料浓度等参数的微小型测试技术进行了回... 随着燃料电池体积的微小化,传统的测试技术已经不再适合微型燃料电池某些参数的测试。在这种情况下,基于微机电系统的微尺度测试技术被逐步引入燃料电池的测试中。本文对燃料电池的温度、湿度及燃料浓度等参数的微小型测试技术进行了回顾,同时也对引入显微镜等设备的微型燃料电池可视化系统进行了讨论。最后对燃料电池的微尺度测试技术发展前景进行了分析。 展开更多

关键词 燃料电池 微型机电系统 测试 电化学

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全柔性机构与MEMS 被引量：80

20

作者 于靖军 宗光华 毕树生 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第1期1-5,共5页

柔性机构是一种新型机构。首先描述了柔性机构和全柔性机构的概念及特点 ,论述了它们与MEMS之间的关系。然后详细介绍了全柔性机构在 MEMS领域内包括微装配、微操作等应用背景下的状况及前景。最后就对全柔性机构研究中的几个关键技术... 柔性机构是一种新型机构。首先描述了柔性机构和全柔性机构的概念及特点 ,论述了它们与MEMS之间的关系。然后详细介绍了全柔性机构在 MEMS领域内包括微装配、微操作等应用背景下的状况及前景。最后就对全柔性机构研究中的几个关键技术问题如机构的分析、设计及加工 ,柔性铰链的选择与设计 ,驱动器的选择及设计等进行了探讨。 展开更多

关键词 柔性机构 全柔性机构 柔性铰链 微型机电系统 MEMS

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