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微型机械技术和应用前景
被引量：
8
1
作者
潘洋宇
李迎
王拴虎
《兵工自动化》
2003年第5期12-14,共3页
微型机械具有体形超小,受热胀、噪声和挠曲等影响甚微,高速工作稳定,能耗低,惯性小,谐振频率高,响应时间短,无延迟,节约材料、成本低等特点,可用蚀刻工艺制作,适宜大批量生产。已列入国家863计划并发展到微米级。以单晶硅侵蚀技术为基...
微型机械具有体形超小,受热胀、噪声和挠曲等影响甚微,高速工作稳定,能耗低,惯性小,谐振频率高,响应时间短,无延迟,节约材料、成本低等特点,可用蚀刻工艺制作,适宜大批量生产。已列入国家863计划并发展到微米级。以单晶硅侵蚀技术为基础的硅整体微机械加工,和以多晶硅剥落技术的表面微机械加工,是典型的微型机械技术。克服离心力、微细噪声等是应注重解决的问题。
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关键词
微型机械技术
加工
技术
应用前景
发展现状
蚀刻工艺
半导体
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职称材料
日本的微型机械研究开发
被引量：
2
2
作者
周兆英
李勇
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第S1期85-91,共7页
日本是推进微型机械研究最为积极的国家之一，并试图在这一新的研究领域确立其领先地位。本文介绍财团法人微型机械中心，丰田中央研究所、日立机械研究所、ＮＴＴ境界领域研究所等民间企业研究机构以及东京大学生产技术研究所、东北大...
日本是推进微型机械研究最为积极的国家之一，并试图在这一新的研究领域确立其领先地位。本文介绍财团法人微型机械中心，丰田中央研究所、日立机械研究所、ＮＴＴ境界领域研究所等民间企业研究机构以及东京大学生产技术研究所、东北大学工学部等从事微型机械研究的现状。
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关键词
微型机
械
研究开发
微致动器
研究机构
微电子机
械
系统
日本
微细加工
技术
微型机械技术
微细电火花加工
研究室
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职称材料
微机械技术发展现状
被引量：
6
3
作者
才海男
马秀兰
+2 位作者
李鹏生
浦昭邦
周兆英
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第6期57-61,56,共6页
介绍了微／纳米技术和微型机械技术这一新兴学科的重要意义、主要技术内容和当前国内外研究发展现状。
关键词
微型机械技术
微电机
微传感器
微执行器
在线阅读
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职称材料
名词解释
4
《制造技术与机床》
北大核心
2015年第8期167-167,共1页
微型机械加工技术微型机械加工技术是指制作微机械或微型装置的微细加工技术。微细加工的出现和发展是最早是与大规模集成电路密切相关的，集成电路要求在微小面积的半导体材料上能容纳更多的电子元件，以形成功能复杂而完善的电路，电...
微型机械加工技术微型机械加工技术是指制作微机械或微型装置的微细加工技术。微细加工的出现和发展是最早是与大规模集成电路密切相关的，集成电路要求在微小面积的半导体材料上能容纳更多的电子元件，以形成功能复杂而完善的电路，电路微细图案中的最小线条宽度是提高集成电路集成度的关键技术和标志，微细加工对微电子工业而言就是一种加工尺度从微米到纳米量级的制造微小尺寸元器件或薄膜图形的先进制造技术。
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关键词
名词解释
大规模集成电路
微型机
械
加工
技术
微细加工
技术
先进制造
技术
半导体材料
电路集成度
微电子工业
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职称材料
题名
微型机械技术和应用前景
被引量：
8
1
作者
潘洋宇
李迎
王拴虎
机构
南京理工大学
出处
《兵工自动化》
2003年第5期12-14,共3页
文摘
微型机械具有体形超小,受热胀、噪声和挠曲等影响甚微,高速工作稳定,能耗低,惯性小,谐振频率高,响应时间短,无延迟,节约材料、成本低等特点,可用蚀刻工艺制作,适宜大批量生产。已列入国家863计划并发展到微米级。以单晶硅侵蚀技术为基础的硅整体微机械加工,和以多晶硅剥落技术的表面微机械加工,是典型的微型机械技术。克服离心力、微细噪声等是应注重解决的问题。
关键词
微型机械技术
加工
技术
应用前景
发展现状
蚀刻工艺
半导体
Keywords
Micro mechanism
Manufacturing technology
Applied prospects
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
日本的微型机械研究开发
被引量：
2
2
作者
周兆英
李勇
机构
清华大学
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第S1期85-91,共7页
基金
国家自然科学重点基金
文摘
日本是推进微型机械研究最为积极的国家之一，并试图在这一新的研究领域确立其领先地位。本文介绍财团法人微型机械中心，丰田中央研究所、日立机械研究所、ＮＴＴ境界领域研究所等民间企业研究机构以及东京大学生产技术研究所、东北大学工学部等从事微型机械研究的现状。
关键词
微型机
械
研究开发
微致动器
研究机构
微电子机
械
系统
日本
微细加工
技术
微型机械技术
微细电火花加工
研究室
分类号
TH701 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
微机械技术发展现状
被引量：
6
3
作者
才海男
马秀兰
李鹏生
浦昭邦
周兆英
机构
清华大学精密仪器系
哈尔滨工业大学精密仪器系
出处
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第6期57-61,56,共6页
文摘
介绍了微／纳米技术和微型机械技术这一新兴学科的重要意义、主要技术内容和当前国内外研究发展现状。
关键词
微型机械技术
微电机
微传感器
微执行器
Keywords
Micro mechanical techniques
micro motor
micro sensors and actuators
military application
分类号
TH－39 [机械工程]
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职称材料
题名
名词解释
4
出处
《制造技术与机床》
北大核心
2015年第8期167-167,共1页
文摘
微型机械加工技术微型机械加工技术是指制作微机械或微型装置的微细加工技术。微细加工的出现和发展是最早是与大规模集成电路密切相关的，集成电路要求在微小面积的半导体材料上能容纳更多的电子元件，以形成功能复杂而完善的电路，电路微细图案中的最小线条宽度是提高集成电路集成度的关键技术和标志，微细加工对微电子工业而言就是一种加工尺度从微米到纳米量级的制造微小尺寸元器件或薄膜图形的先进制造技术。
关键词
名词解释
大规模集成电路
微型机
械
加工
技术
微细加工
技术
先进制造
技术
半导体材料
电路集成度
微电子工业
分类号
TN47 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微型机械技术和应用前景
潘洋宇
李迎
王拴虎
《兵工自动化》
2003
8
在线阅读
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职称材料
2
日本的微型机械研究开发
周兆英
李勇
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
微机械技术发展现状
才海男
马秀兰
李鹏生
浦昭邦
周兆英
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
名词解释
《制造技术与机床》
北大核心
2015
0
在线阅读
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职称材料
已选择
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