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扫描近场光学显微镜有源光纤探针研究
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作者 明海 张国平 +3 位作者 陈晓刚 杨宝 谢建平 吴云霞 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第S2期112-112,共1页
扫描近场光学显微镜有源光纤探针研究明海张国平陈晓刚杨宝谢建平吴云霞(中国科技大学物理系合肥230026)扫描近场光学显微镜(SNOM)是通过光探头探测样品表面倏逝波的超高频信息,可以获得纳米量级的空间分辨率。通常的S... 扫描近场光学显微镜有源光纤探针研究明海张国平陈晓刚杨宝谢建平吴云霞(中国科技大学物理系合肥230026)扫描近场光学显微镜(SNOM)是通过光探头探测样品表面倏逝波的超高频信息,可以获得纳米量级的空间分辨率。通常的SNOM光纤探针只作为传输和探测光场... 展开更多
关键词 扫描近场光学显微镜 有源光纤 光纤探针 光纤激光器 上转换 国家自然科学基金 放大的自发辐射 光纤波分复用器 微型机械加工 中国科技大学
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名词解释
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《制造技术与机床》 北大核心 2015年第8期167-167,共1页
微型机械加工技术微型机械加工技术是指制作微机械或微型装置的微细加工技术。微细加工的出现和发展是最早是与大规模集成电路密切相关的,集成电路要求在微小面积的半导体材料上能容纳更多的电子元件,以形成功能复杂而完善的电路,电... 微型机械加工技术微型机械加工技术是指制作微机械或微型装置的微细加工技术。微细加工的出现和发展是最早是与大规模集成电路密切相关的,集成电路要求在微小面积的半导体材料上能容纳更多的电子元件,以形成功能复杂而完善的电路,电路微细图案中的最小线条宽度是提高集成电路集成度的关键技术和标志,微细加工对微电子工业而言就是一种加工尺度从微米到纳米量级的制造微小尺寸元器件或薄膜图形的先进制造技术。 展开更多
关键词 名词解释 大规模集成电路 微型机械加工技术 微细加工技术 先进制造技术 半导体材料 电路集成度 微电子工业
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